स्पटरिङ प्रक्रियामा स्पटरिङ दर बढाउने धेरै तरिकाहरू छन्:

1. पावर र प्रेसर अप्टिमाइजेसन: स्पटरिङ प्रणालीमा पावर र प्रेसर प्यारामिटरहरू समायोजन गर्नाले स्पटरिङ दरलाई असर गर्न सक्छ। शक्ति बढाउने र दबाब अवस्थाहरू अनुकूलन गर्नाले स्पटरिङ दर बढाउन सक्छ, जसले पातलो फिल्मको छिटो जम्मा गर्न सक्छ।

2. लक्ष्य सामग्री र ज्यामिति: अनुकूलित सामग्री संरचना र ज्यामितिको साथ स्पटरिङ लक्ष्यहरू प्रयोग गर्नाले स्पटरिङ दर सुधार गर्न सक्छ। उच्च गुणस्तर, राम्रोसँग डिजाइन गरिएको स्पटरिङ लक्ष्यहरूले स्पटरिङ दक्षता बढाउन सक्छ र उच्च निक्षेप दरहरूमा नेतृत्व गर्न सक्छ।

3. लक्ष्य सतह तयारी: स्पटरिङ लक्ष्य सतहको उचित सफाई र कन्डिसनिङले स्पटरिङ दरहरू बढाउन योगदान दिन सक्छ। लक्ष्य सतह दूषित पदार्थहरू र अक्साइडहरूबाट मुक्त छ भनी सुनिश्चित गर्नाले स्पटरिंग दक्षता सुधार गर्न सक्छ।

4. सब्सट्रेट तापक्रम: सब्सट्रेट तापक्रम नियन्त्रण गर्नाले स्पटरिङ दरलाई असर गर्न सक्छ। केहि अवस्थाहरूमा, एक निश्चित दायरा भित्र सब्सट्रेटको तापक्रम बढाउँदा स्पटरिङ दरहरू र सुधारिएको फिल्मको गुणस्तर बढाउन सक्छ।

5. ग्यास प्रवाह र संरचना: स्पटरिङ च्याम्बरमा ग्यास प्रवाह र संरचना अनुकूलन गर्नाले स्पटरिङ दरलाई असर गर्न सक्छ। ग्यास प्रवाह दरहरू समायोजन गर्न र उपयुक्त स्पटरिङ ग्यास मिश्रणहरू प्रयोग गर्नाले स्पटरिङ प्रक्रिया दक्षता बढाउन सक्छ।

यी कारकहरूलाई ध्यानपूर्वक विचार गरेर र स्पटरिङ प्रक्रिया प्यारामिटरहरू अनुकूलन गरेर, स्पटरिङ दर बढाउन र स्पटरिङ अनुप्रयोगहरूमा पातलो फिल्म जम्माको समग्र दक्षता सुधार गर्न सम्भव छ।