हो, आयन प्रत्यारोपण प्रक्रियाको क्रममा टंगस्टन फिलामेन्टहरू दूषित हुनको लागि संवेदनशील हुन्छन्। आयन प्रत्यारोपण कक्षमा रहेको अवशिष्ट ग्याँसहरू, कणहरू, वा अशुद्धताहरू जस्ता विभिन्न कारकहरूका कारण प्रदूषण हुन सक्छ। यी प्रदूषकहरूले टंगस्टन फिलामेन्टको सतहमा पछ्याउन सक्छ, यसको शुद्धतालाई असर गर्छ र सम्भावित रूपमा आयन प्रत्यारोपण प्रक्रियाको प्रदर्शनलाई असर गर्छ। तसर्थ, आयन इम्प्लान्टेशन चेम्बर भित्र सफा र नियन्त्रित वातावरण कायम राख्नु प्रदूषणको जोखिमलाई कम गर्न र टंगस्टन फिलामेन्टको अखण्डता सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण छ। नियमित सफाई र मर्मत प्रक्रियाहरूले आयन इम्प्लान्टेशनको समयमा प्रदूषणको सम्भावनालाई कम गर्न पनि मद्दत गर्न सक्छ।

टंगस्टन तार यसको उच्च पिघलने बिन्दु र उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरूको लागि परिचित छ, जसले यसलाई सामान्य आयन प्रत्यारोपण अवस्थाहरूमा विरूपण प्रतिरोधी बनाउँदछ। यद्यपि, उच्च-ऊर्जा आयन बमबारी र आयन प्रत्यारोपणको समयमा उत्पन्न हुने तापले समयसँगै विकृति निम्त्याउन सक्छ, विशेष गरी यदि प्रक्रिया प्यारामिटरहरू सावधानीपूर्वक नियन्त्रण गरिएन भने।

आयन बीमको तीव्रता र अवधि र टंगस्टन तारले अनुभव गरेको तापक्रम र तनाव स्तर जस्ता कारकहरूले विकृतिको सम्भावनामा योगदान दिन सक्छन्। थप रूपमा, टंगस्टन तारमा कुनै पनि अशुद्धता वा दोषहरूले विरूपणको लागि संवेदनशीलता बढाउँदछ।

विरूपणको जोखिम कम गर्न, प्रक्रिया प्यारामिटरहरू सावधानीपूर्वक निगरानी र नियन्त्रण गरिनु पर्छ, टंगस्टन फिलामेन्टको शुद्धता र गुणस्तर सुनिश्चित गरिनु पर्छ, र आयन इम्प्लान्टेशन उपकरणको लागि उपयुक्त मर्मत र निरीक्षण प्रोटोकलहरू लागू गरिनु पर्छ। टंगस्टन तारको अवस्था र कार्यसम्पादनको नियमित रूपमा मूल्याङ्कन गर्नाले विकृतिको कुनै पनि संकेत पहिचान गर्न र आवश्यकता अनुसार सुधारात्मक कदम चाल्न मद्दत गर्न सक्छ।