မြင့်မားသော သန့်စင်မှုရှိသော Ion implantation tungsten filament
Ion implantation tungsten wire သည် အဓိကအားဖြင့် semiconductor ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် Ion implantation machines များတွင် အသုံးပြုသော အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤအဖြိုက်နက်ဝိုင်ယာအမျိုးအစားသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး ၎င်း၏အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်သည် IC လုပ်ငန်းစဉ်လိုင်းများ၏ ထိရောက်မှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းစက်သည် VLSI (အလွန်ကြီးမားသောစကေးပေါင်းစည်းထားသောပတ်လမ်း) ၏ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အဓိကစက်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အိုင်းယွန်းရင်းမြစ်တစ်ခုအနေဖြင့် တန်စတင်ဝါယာကြိုး၏အခန်းကဏ္ဍကို လျစ်လျူမရှုနိုင်ပါ။ ့
| အတိုင်းအတာများ | မင်းရဲ့ပုံတွေအတိုင်းပဲ။ |
| မူလနေရာ | Luoyang, Henan |
| ကုန်အမှတ်တံဆိပ်အမည် | FGD |
| လျှောက်လွှာ | တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း |
| အပေါ်ယံ | အနက်ရောင်အသားအရည်, အယ်လကာလီဆေး, ကားတောက်ပြောင်, ပွတ် |
| သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း။ | 99.95% |
| ပစ္စည်း | W1 |
| သိပ်သည်းမှု | 19.3g/cm3 |
| စီရင်ထုံးစံများ | GB/T 4181-2017 |
| အရည်ပျော်မှတ် | 3400 ℃ |
| အညစ်အကြေးအကြောင်းအရာ | 0.005% |
| အဓိကအစိတ်အပိုင်းများ | W＞99.95% |
| အညစ်အကြေးပါဝင်မှု≤ | |
| Pb | ၀.၀၀၀၅ |
| Fe | ၀.၀၀၂၀ |
| S | 0.0050 |
| P | ၀.၀၀၀၅ |
| C | ၀.၀၁ |
| Cr | ၀.၀၀၁၀ |
| Al | ၀.၀၀၁၅ |
| Cu | ၀.၀၀၁၅ |
| K | 0.0080 |
| N | ၀.၀၀၃ |
| Sn | ၀.၀၀၁၅ |
| Si | ၀.၀၀၂၀ |
| Ca | ၀.၀၀၁၅ |
| Na | ၀.၀၀၂၀ |
| O | ၀.၀၀၈ |
| Ti | ၀.၀၀၁၀ |
| Mg | ၀.၀၀၁၀ |
1. ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံသည် Henan ပြည်နယ်၊ Luoyang မြို့၌ တည်ရှိသည်။ Luoyang သည် tungsten နှင့် molybdenum သတ္တုတွင်းများအတွက် ထုတ်လုပ်မှုဧရိယာဖြစ်ပြီး၊ ထို့ကြောင့် ကျွန်ုပ်တို့တွင် အရည်အသွေးနှင့် ဈေးနှုန်းတွင် လုံးဝအားသာချက်များရှိသည်။
2. ကျွန်ုပ်တို့၏ ကုမ္ပဏီတွင် အတွေ့အကြုံ 15 နှစ်ကျော်ရှိသော နည်းပညာဆိုင်ရာ ပုဂ္ဂိုလ်များ ရှိပြီး သုံးစွဲသူတစ်ဦးစီ၏ လိုအပ်ချက်များအတွက် ပစ်မှတ်ထားသော ဖြေရှင်းချက်များနှင့် အကြံပြုချက်များကို ပေးဆောင်ပါသည်။
3. ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်အားလုံးသည် တင်ပို့ခြင်းမပြုမီ တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးစစ်ဆေးခြင်းကို ခံရပါသည်။
4. သင်သည် ချို့ယွင်းနေသော ကုန်ပစ္စည်းများကို လက်ခံရရှိပါက ပြန်အမ်းငွေအတွက် ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်နိုင်ပါသည်။
1. ကုန်ကြမ်းရွေးချယ်မှု
(နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်၏ သန့်စင်မှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကို သေချာစေရန် အရည်အသွေးမြင့် တန်စတင်ကုန်ကြမ်းများကို ရွေးချယ်ပါ။)
2. အရည်ပျော်ခြင်းနှင့် သန့်စင်ခြင်း။
(ရွေးချယ်ထားသော တန်စတင်ကုန်ကြမ်းများကို အညစ်အကြေးများကို ဖယ်ရှားပြီး အလိုရှိသော သန့်စင်မှုကို ရရှိစေရန် ထိန်းချုပ်ထားသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အရည်ပျော်သည်။)
3. ဝါယာကြိုးဆွဲ
(သန့်စင်ထားသော တန်စတင်ပစ္စည်းကို လိုအပ်သော ဝါယာကြိုးအချင်းနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများရရှိရန် အသေအစီအစဥ်များမှတဆင့် ထုတ်ယူခြင်း သို့မဟုတ် ဆွဲထုတ်ပါသည်။)
4.Annealing
(ဆွဲထားသော တန်စတင်ဝိုင်ယာသည် အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုကို ဖယ်ရှားရန်နှင့် ၎င်း၏ ductility နှင့် processing စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန် )
5. Ion Implantation လုပ်ငန်းစဉ်
ဤအခြေအနေမျိုးတွင်၊ တန်စတင်ကြိုးသည် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို လုပ်ဆောင်နိုင်သည်၊ ယင်းတွင် အိုင်းယွန်းအိုင်းစတန်ကြိုး၏ မျက်နှာပြင်ထဲသို့ အိုင်းယွန်းထိုးသွင်းခြင်းဖြင့် အိုင်းယွန်း implanter တွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြှင့်တင်ရန် ၎င်း၏ဂုဏ်သတ္တိများကို ပြောင်းလဲစေပါသည်။)
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ချစ်ပ်ပြားထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းစက်သည် မျက်နှာဖုံးမှချပ်စ်ပတ်လမ်းမြေပုံကို ဆီလီကွန်ဝေဖာသို့ လွှဲပြောင်းရန်နှင့် ပစ်မှတ်ချစ်ပ်လုပ်ဆောင်ချက်ကိုရရှိရန် အသုံးပြုသည့် အဓိကကိရိယာများထဲမှတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဓာတုစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပွတ်တိုက်ခြင်း၊ ပါးလွှာသော ဖလင်များ ထုတ်ယူခြင်း၊ ဓါတ်ပုံရိုက်ခြင်း၊ ထွင်းထုခြင်းနှင့် အိုင်းယွန်း စိုက်ခြင်း စသည့် အဆင့်များ ပါ၀င်ပြီး ၎င်းတို့တွင် အိုင်းယွန်း အစားထိုးခြင်းသည် ဆီလီကွန် wafers များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန် အရေးကြီးသော နည်းလမ်းများထဲမှ တစ်ခု ဖြစ်သည်။ အိုင်းယွန်းစိုက်စက်များကို အသုံးချခြင်းသည် ချစ်ပ်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုးတက်စေပြီး ချစ်ပ်ပြားထုတ်လုပ်မှု၏ အချိန်နှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ထိရောက်စွာ ထိန်းချုပ်ပေးပါသည်။ ့
မှန်ပါသည်၊ အိုင်းယွန်း စိုက်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပက်စတန် အမျှင်များသည် ညစ်ညမ်းမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းအခန်းတွင် ကျန်ရှိသောဓာတ်ငွေ့များ၊ အမှုန်အမွှားများ သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများကဲ့သို့သော အကြောင်းရင်းအမျိုးမျိုးကြောင့် ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်ပေါ်နိုင်သည်။ ဤညစ်ညမ်းသောအညစ်အကြေးများသည် tungsten filament ၏မျက်နှာပြင်တွင်တွယ်ကပ်နိုင်ပြီး၎င်း၏သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုကိုထိခိုက်စေပြီး ion implantation process ၏စွမ်းဆောင်ရည်ကိုထိခိုက်စေနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ အိုင်းယွန်း စိုက်ခန်းအတွင်း သန့်ရှင်းပြီး ထိန်းချုပ်ထားသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းခြင်းသည် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချရန်နှင့် တန်စတင်ချည်မျှင်၏ ခိုင်မာမှုကို သေချာစေရန် အရေးကြီးပါသည်။ ပုံမှန်သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများသည် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းစဉ်အတွင်း ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်နိုင်ချေကို လျော့ပါးစေနိုင်သည်။
Tungsten ဝိုင်ယာသည် ၎င်း၏ အရည်ပျော်မှတ် မြင့်မားပြီး ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် လူသိများပြီး ပုံမှန်အိုင်းယွန်း စိုက်သွင်းမှု အခြေအနေများအောက်တွင် ပုံပျက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ သို့ရာတွင်၊ စွမ်းအင်မြင့်အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်းနှင့် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းအတွင်း ထုတ်ပေးသည့်အပူသည် အထူးသဖြင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်များကို ဂရုတစိုက်မထိန်းချုပ်ပါက အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ ပုံပျက်သွားနိုင်သည်။
အိုင်းယွန်းအလင်းတန်း၏ ပြင်းထန်မှုနှင့် ကြာချိန်နှင့် တန်စတင်ဝါယာကြိုးမှ တွေ့ကြုံရသည့် အပူချိန်နှင့် ဖိစီးမှုအဆင့်များကဲ့သို့သော အကြောင်းရင်းများသည် ပုံပျက်ခြင်းဖြစ်နိုင်ချေကို အထောက်အကူဖြစ်စေနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ တန်စတင်ဝိုင်ယာရှိ အညစ်အကြေးများ သို့မဟုတ် ချို့ယွင်းချက်များသည် ပုံပျက်ခြင်းကို ပိုမိုဆိုးရွားစေပါသည်။
ပုံပျက်ခြင်းအန္တရာယ်ကို လျှော့ချရန်၊ လုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်များကို ဂရုတစိုက်စောင့်ကြည့်ပြီး ထိန်းချုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး၊ အဖြိုက်နက်ကြိုး၏ သန့်ရှင်းမှုနှင့် အရည်အသွေးကို သေချာစေရမည်ဖြစ်ပြီး၊ သင့်လျော်သော ထိန်းသိမ်းမှုနှင့် စစ်ဆေးရေးပရိုတိုကောများကို အိုင်းယွန်းစိုက်ကိရိယာအတွက် အကောင်အထည်ဖော်ရမည်ဖြစ်သည်။ အဖြိုက်စတင်ဝါယာကြိုးများ၏ အခြေအနေနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပုံမှန်အကဲဖြတ်ခြင်းသည် ပုံပျက်နေသည့် လက္ခဏာများကို ခွဲခြားသိရှိနိုင်ပြီး လိုအပ်သလို မှန်ကန်သော အရေးယူဆောင်ရွက်မှုများကို လုပ်ဆောင်ရန် ကူညီပေးနိုင်ပါသည်။
