Filament tat-tungstenu ta 'l-impjantazzjoni ta' Ion ta 'purità għolja
Wajer tat-tungstenu tal-impjantazzjoni tal-joni huwa komponent ewlieni użat f'magni tal-impjantazzjoni tal-joni, prinċipalment fil-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi. Dan it-tip ta 'wajer tat-tungstenu għandu rwol importanti fit-tagħmir tas-semikondutturi, u l-kwalità u l-prestazzjoni tiegħu jaffettwaw direttament l-effiċjenza tal-linji tal-proċess IC. Il-magna tal-impjantazzjoni tal-jone hija tagħmir ewlieni fil-proċess tal-manifattura ta 'VLSI (Ċirkwit Integrat ta' Skala Kbira ħafna), u r-rwol tal-wajer tat-tungstenu bħala sors tal-jone ma jistax jiġi injorat.
| Dimensjonijiet | Bħala tpinġijiet tiegħek |
| Post ta' Oriġini | Luoyang, Henan |
| Isem tad-Ditta | FGD |
| Applikazzjoni | semikondutturi |
| Wiċċ | Ġilda sewda, ħasil alkali, shine tal-karozzi, illustrat |
| Purità | 99.95% |
| Materjal | W1 |
| Densità | 19.3g/ċm3 |
| Standards ta' eżekuzzjoni | GB/T 4181-2017 |
| Punt tat-tidwib | 3400℃ |
| Kontenut ta' impurità | 0.005% |
| Komponenti ewlenin | W＞99.95% |
| Impurità content≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Il-fabbrika tagħna tinsab fil-Belt ta 'Luoyang, Provinċja ta' Henan. Luoyang hija żona ta 'produzzjoni għall-minjieri tat-tungstenu u tal-molibdenu, għalhekk għandna vantaġġi assoluti fil-kwalità u l-prezz;
2. Il-kumpanija tagħna għandha persunal tekniku b'aktar minn 15-il sena esperjenza, u nipprovdu soluzzjonijiet u suġġerimenti mmirati għall-ħtiġijiet ta 'kull klijent.
3. Il-prodotti kollha tagħna jgħaddu minn spezzjoni ta 'kwalità stretta qabel ma jiġu esportati.
4. Jekk tirċievi oġġetti difettużi, tista 'tikkuntattjana għal rifużjoni.
1.Għażla tal-materja prima
(Agħżel materja prima tat-tungstenu ta 'kwalità għolja biex tiżgura l-purità u l-proprjetajiet mekkaniċi tal-prodott finali. )
2. Tidwib u Purifikazzjoni
(Il-materja prima tat-tungstenu magħżula hija mdewba f'ambjent ikkontrollat biex tneħħi l-impuritajiet u tinkiseb il-purità mixtieqa.)
3. Tpinġija tal-wajer
(Il-materjal tat-tungstenu purifikat huwa estruż jew miġbud permezz ta 'serje ta' dies biex jinkiseb id-dijametru tal-wajer meħtieġ u l-proprjetajiet mekkaniċi.)
4.Ttemprar
(Il-wajer tat-tungstenu miġbud huwa ittemprat biex jelimina l-istress intern u jtejjeb id-duttilità tiegħu u l-prestazzjoni tal-ipproċessar )
5. Proċess ta 'Implantazzjoni tal-Ion
F'dan il-każ partikolari, il-filament tat-tungstenu innifsu jista 'jgħaddi minn proċess ta' impjantazzjoni tal-joni, li fih il-joni jiġu injettati fil-wiċċ tal-filament tat-tungstenu biex ibiddlu l-proprjetajiet tiegħu biex itejbu l-prestazzjoni fl-impjantatur tal-jone.)
Fil-proċess tal-produzzjoni taċ-ċippa tas-semikondutturi, il-magna tal-impjantazzjoni tal-jone hija waħda mit-tagħmir ewlieni użat biex tittrasferixxi d-dijagramma taċ-ċirkwit taċ-ċippa mill-maskra għall-wejfer tas-silikon u tikseb il-funzjoni taċ-ċippa fil-mira. Dan il-proċess jinkludi passi bħall-illustrar mekkaniku kimiku, depożizzjoni ta 'film irqiq, fotolitografija, inċiżjoni u impjantazzjoni tal-joni, fosthom l-impjantazzjoni tal-joni hija waħda mill-mezzi importanti biex tittejjeb il-prestazzjoni tal-wejfers tas-silikon. L-applikazzjoni ta 'magni ta' impjantazzjoni tal-jone tikkontrolla b'mod effettiv il-ħin u l-ispiża tal-produzzjoni taċ-ċippa, filwaqt li ttejjeb il-prestazzjoni u l-affidabbiltà taċ-ċipep.
Iva, il-filamenti tat-tungstenu huma suxxettibbli għall-kontaminazzjoni matul il-proċess ta 'impjantazzjoni tal-jone. Il-kontaminazzjoni tista 'sseħħ minħabba varjetà ta' fatturi, bħal gassijiet residwi, partiċelli, jew impuritajiet preżenti fil-kamra tal-impjantazzjoni tal-joni. Dawn il-kontaminanti jistgħu jaderixxu mal-wiċċ tal-filament tat-tungstenu, li jaffettwaw il-purità tiegħu u potenzjalment jaffettwaw il-prestazzjoni tal-proċess tal-impjantazzjoni tal-jone. Għalhekk, iż-żamma ta 'ambjent nadif u kkontrollat fi ħdan il-kamra tal-impjantazzjoni tal-joni hija kritika biex jitnaqqas ir-riskju ta' kontaminazzjoni u tiġi żgurata l-integrità tal-filament tat-tungstenu. Proċeduri regolari ta 'tindif u manutenzjoni jistgħu wkoll jgħinu biex itaffu l-potenzjal ta' kontaminazzjoni waqt l-impjantazzjoni tal-joni.
Wajer tat-tungstenu huwa magħruf għall-punt tat-tidwib għoli tiegħu u l-proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti, li jagħmluha reżistenti għad-deformazzjoni taħt kundizzjonijiet normali ta 'impjantazzjoni tal-joni. Madankollu, is-sħana ġġenerata waqt il-bumbardament tal-jone ta 'enerġija għolja u l-impjantazzjoni tal-joni tista' tikkawża distorsjoni maż-żmien, speċjalment jekk il-parametri tal-proċess ma jkunux ikkontrollati bir-reqqa.
Fatturi bħall-intensità u t-tul tar-raġġ tal-jone u t-temperatura u l-livelli tal-istress esperjenzati mill-wajer tat-tungstenu kollha jistgħu jikkontribwixxu għall-potenzjal għad-deformazzjoni. Barra minn hekk, kwalunkwe impuritajiet jew difetti fil-wajer tat-tungstenu se jaggravaw is-suxxettibilità għad-deformazzjoni.
Biex jitnaqqas ir-riskju ta 'deformazzjoni, il-parametri tal-proċess għandhom jiġu mmonitorjati u kkontrollati bir-reqqa, għandhom jiġu żgurati l-purità u l-kwalità tal-filament tat-tungstenu, u għandhom jiġu implimentati protokolli xierqa ta' manutenzjoni u spezzjoni għat-tagħmir tal-impjantazzjoni tal-jone. Il-valutazzjoni regolari tal-kundizzjoni u l-prestazzjoni tal-wajer tat-tungstenu tista 'tgħin biex tidentifika kwalunkwe sinjal ta' distorsjoni u tieħu azzjoni korrettiva kif meħtieġ.
