Filamen tungsten implantasi Ion ketulenan tinggi

Penerangan ringkas:

Filamen tungsten implantasi ion ketulenan tinggi ialah filamen yang digunakan dalam peralatan implantasi ion. Ia direka bentuk untuk menahan keadaan keras proses implantasi ion, di mana ion dipercepatkan dan disuntik ke dalam bahan sasaran.


Butiran Produk

Tag Produk

Penerangan Produk

Kawat tungsten implantasi ion ialah komponen utama yang digunakan dalam mesin implantasi ion, terutamanya dalam proses pembuatan semikonduktor. Kawat tungsten jenis ini memainkan peranan penting dalam peralatan semikonduktor, dan kualiti serta prestasinya secara langsung mempengaruhi kecekapan talian proses IC. Mesin implantasi ion ialah peralatan utama dalam proses pembuatan VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), dan peranan wayar tungsten sebagai sumber ion tidak boleh diabaikan. ‌

Spesifikasi Produk

Dimensi Sebagai lukisan anda
Tempat Asal Luoyang, Henan
Nama Jenama FGD
Permohonan semikonduktor
Permukaan Kulit hitam, basuh alkali, kilauan kereta, digilap
Kesucian 99.95%
bahan W1
Ketumpatan 19.3g/cm3
Piawaian pelaksanaan GB/T 4181-2017
Takat lebur 3400 ℃
kandungan kekotoran 0.005%
Implantasi ion filamen tungsten

Komposisi Kimia

Komponen utama

W>99.95%

Kandungan kekotoran≤

Pb

0.0005

Fe

0.0020

S

0.0050

P

0.0005

C

0.01

Cr

0.0010

Al

0.0015

Cu

0.0015

K

0.0080

N

0.003

Sn

0.0015

Si

0.0020

Ca

0.0015

Na

0.0020

O

0.008

Ti

0.0010

Mg

0.0010

Kadar Penyejatan Logam Refraktori

Tekanan Wap Logam Refraktori

Kenapa Pilih Kami

1. Kilang kami terletak di Bandar Luoyang, Wilayah Henan. Luoyang adalah kawasan pengeluaran untuk lombong tungsten dan molibdenum, jadi kami mempunyai kelebihan mutlak dalam kualiti dan harga;

2. Syarikat kami mempunyai kakitangan teknikal dengan lebih 15 tahun pengalaman, dan kami menyediakan penyelesaian dan cadangan yang disasarkan untuk setiap keperluan pelanggan.

3. Semua produk kami menjalani pemeriksaan kualiti yang ketat sebelum dieksport.

4. Jika anda menerima barangan yang rosak, anda boleh menghubungi kami untuk bayaran balik.

Implantasi ion filamen tungsten (2)

Aliran Pengeluaran

1.Pemilihan bahan mentah

(Pilih bahan mentah tungsten berkualiti tinggi untuk memastikan ketulenan dan sifat mekanikal produk akhir. ‌)

2. Pencairan dan Pemurnian

(Bahan mentah tungsten terpilih dicairkan dalam persekitaran terkawal untuk menghilangkan kekotoran dan mencapai ketulenan yang diingini.)

3. Lukisan wayar

(Bahan tungsten tulen disemperit atau ditarik melalui satu siri die untuk mencapai diameter wayar dan sifat mekanikal yang diperlukan.)

4. Penyepuhlindapan

(Dawai tungsten yang dilukis disepuhlindapkan untuk menghapuskan tekanan dalaman dan meningkatkan kemuluran dan prestasi pemprosesannya)

5. Proses Implantasi Ion

Dalam kes khusus ini, filamen tungsten itu sendiri mungkin menjalani proses implantasi ion, di mana ion disuntik ke dalam permukaan filamen tungsten untuk menukar sifatnya untuk meningkatkan prestasi dalam implanter ion.)

Aplikasi

Dalam proses pengeluaran cip semikonduktor, mesin implantasi ion adalah salah satu peralatan utama yang digunakan untuk memindahkan gambar rajah litar cip dari topeng ke wafer silikon dan mencapai fungsi cip sasaran. Proses ini termasuk langkah-langkah seperti penggilap mekanikal kimia, pemendapan filem nipis, fotolitografi, etsa, dan implantasi ion, antaranya implantasi ion merupakan salah satu cara penting untuk meningkatkan prestasi wafer silikon. Penggunaan mesin implantasi ion secara berkesan mengawal masa dan kos pengeluaran cip, sambil meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan cip. ‌

Implantasi ion filamen tungsten (3)

Sijil

Testimoni

水印1
水印2

Rajah Penghantaran

1
2
3
Implantasi ion filamen tungsten (4)

Soalan Lazim

Adakah wayar tungsten akan tercemar semasa implantasi ion?

Ya, filamen tungsten mudah terdedah kepada pencemaran semasa proses implantasi ion. Pencemaran boleh berlaku disebabkan oleh pelbagai faktor, seperti sisa gas, zarah, atau kekotoran yang terdapat dalam kebuk implantasi ion. Bahan cemar ini boleh melekat pada permukaan filamen tungsten, menjejaskan ketulenannya dan berpotensi menjejaskan prestasi proses implantasi ion. Oleh itu, mengekalkan persekitaran yang bersih dan terkawal dalam kebuk implantasi ion adalah penting untuk meminimumkan risiko pencemaran dan memastikan integriti filamen tungsten. Prosedur pembersihan dan penyelenggaraan yang kerap juga boleh membantu mengurangkan potensi pencemaran semasa implantasi ion.

Adakah wayar tungsten akan berubah bentuk semasa implantasi ion?

Kawat tungsten terkenal dengan takat leburnya yang tinggi dan sifat mekanikal yang sangat baik, yang menjadikannya tahan terhadap ubah bentuk di bawah keadaan implantasi ion biasa. Walau bagaimanapun, haba yang dijana semasa pengeboman ion bertenaga tinggi dan implantasi ion boleh menyebabkan herotan dari semasa ke semasa, terutamanya jika parameter proses tidak dikawal dengan teliti.

Faktor-faktor seperti keamatan dan tempoh rasuk ion dan suhu dan tahap tegasan yang dialami oleh wayar tungsten semuanya boleh menyumbang kepada potensi ubah bentuk. Selain itu, sebarang kekotoran atau kecacatan pada wayar tungsten akan memburukkan lagi kerentanan kepada ubah bentuk.

Untuk mengurangkan risiko ubah bentuk, parameter proses mesti dipantau dan dikawal dengan teliti, ketulenan dan kualiti filamen tungsten mesti dipastikan, dan protokol penyelenggaraan dan pemeriksaan yang sesuai mesti dilaksanakan untuk peralatan implantasi ion. Menilai keadaan dan prestasi wayar tungsten secara kerap boleh membantu mengenal pasti sebarang tanda herotan dan mengambil tindakan pembetulan seperti yang diperlukan.


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Tulis mesej anda di sini dan hantarkan kepada kami