थुंकण्याच्या प्रक्रियेत स्पटरिंग रेट वाढवण्याचे अनेक मार्ग आहेत:

1. पॉवर आणि प्रेशर ऑप्टिमायझेशन: स्पटरिंग सिस्टममध्ये पॉवर आणि प्रेशर पॅरामीटर्स समायोजित केल्याने स्पटरिंग रेटवर परिणाम होऊ शकतो.शक्ती वाढवणे आणि दबाव परिस्थिती अनुकूल करणे थुंकण्याचे प्रमाण वाढवू शकते, ज्यामुळे पातळ फिल्म जलद जमा होते.

2. टार्गेट मटेरियल आणि भूमिती: ऑप्टिमाइझ केलेल्या मटेरियल कंपोझिशन आणि भूमितीसह स्पटरिंग टार्गेट्स वापरल्याने स्पटरिंग रेट सुधारू शकतो.उच्च-गुणवत्तेचे, चांगल्या प्रकारे डिझाइन केलेले स्पटरिंग लक्ष्य थुंकण्याची कार्यक्षमता वाढवू शकतात आणि उच्च जमा होण्याचे दर वाढवू शकतात.

3. लक्ष्य पृष्ठभाग तयार करणे: स्पटरिंग लक्ष्य पृष्ठभागाची योग्य साफसफाई आणि कंडिशनिंग स्पटरिंग दर वाढण्यास योगदान देऊ शकते.लक्ष्य पृष्ठभाग दूषित आणि ऑक्साइडपासून मुक्त असल्याची खात्री केल्याने थुंकण्याची कार्यक्षमता सुधारू शकते.

4. सब्सट्रेट तापमान: सब्सट्रेट तापमान नियंत्रित केल्याने थुंकण्याच्या दरावर परिणाम होऊ शकतो.काही प्रकरणांमध्ये, एका विशिष्ट मर्यादेत सब्सट्रेट तापमान वाढवण्यामुळे थुंकण्याचे प्रमाण वाढू शकते आणि फिल्मची गुणवत्ता सुधारू शकते.

5. गॅस फ्लो आणि कंपोझिशन: स्पटरिंग चेंबरमधील गॅस फ्लो आणि कंपोझिशन ऑप्टिमाइझ केल्याने स्पटरिंग रेटवर परिणाम होऊ शकतो.गॅस प्रवाह दर समायोजित करणे आणि योग्य स्पटरिंग गॅस मिश्रणाचा वापर केल्याने स्पटरिंग प्रक्रियेची कार्यक्षमता वाढू शकते.

या घटकांचा काळजीपूर्वक विचार करून आणि स्पटरिंग प्रक्रियेच्या पॅरामीटर्सला अनुकूल करून, स्पटरिंग रेट वाढवणे आणि स्पटरिंग ऍप्लिकेशन्समध्ये पातळ फिल्म डिपॉझिशनची एकूण कार्यक्षमता सुधारणे शक्य आहे.