होय, आयन रोपण प्रक्रियेदरम्यान टंगस्टन फिलामेंट्स दूषित होण्यास संवेदनाक्षम असतात. आयन इम्प्लांटेशन चेंबरमध्ये अवशिष्ट वायू, कण किंवा अशुद्धता यासारख्या विविध घटकांमुळे दूषित होऊ शकते. हे दूषित घटक टंगस्टन फिलामेंटच्या पृष्ठभागावर चिकटून राहू शकतात, ज्यामुळे त्याची शुद्धता प्रभावित होते आणि आयन रोपण प्रक्रियेच्या कार्यक्षमतेवर संभाव्य परिणाम होतो. म्हणून, दूषित होण्याचा धोका कमी करण्यासाठी आणि टंगस्टन फिलामेंटची अखंडता सुनिश्चित करण्यासाठी आयन इम्प्लांटेशन चेंबरमध्ये स्वच्छ आणि नियंत्रित वातावरण राखणे महत्वाचे आहे. नियमित स्वच्छता आणि देखभाल प्रक्रिया आयन रोपण दरम्यान दूषित होण्याची शक्यता कमी करण्यास देखील मदत करू शकतात.

टंगस्टन वायर त्याच्या उच्च वितळण्याच्या बिंदूसाठी आणि उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्मांसाठी ओळखले जाते, जे सामान्य आयन रोपण परिस्थितीत विकृतीला प्रतिरोधक बनवते. तथापि, उच्च-ऊर्जा आयन बॉम्बर्डमेंट आणि आयन इम्प्लांटेशन दरम्यान निर्माण होणारी उष्णता कालांतराने विकृत होऊ शकते, विशेषत: जर प्रक्रिया पॅरामीटर्स काळजीपूर्वक नियंत्रित केली गेली नाहीत.

आयन बीमची तीव्रता आणि कालावधी आणि टंगस्टन वायरने अनुभवलेले तापमान आणि तणाव पातळी यासारखे घटक विकृतीच्या संभाव्यतेस कारणीभूत ठरू शकतात. याव्यतिरिक्त, टंगस्टन वायरमधील कोणतीही अशुद्धता किंवा दोष विकृतीची संवेदनशीलता वाढवतील.

विकृत होण्याचा धोका कमी करण्यासाठी, प्रक्रिया पॅरामीटर्सचे काळजीपूर्वक निरीक्षण आणि नियंत्रण करणे आवश्यक आहे, टंगस्टन फिलामेंटची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करणे आवश्यक आहे आणि आयन रोपण उपकरणासाठी योग्य देखभाल आणि तपासणी प्रोटोकॉल लागू करणे आवश्यक आहे. टंगस्टन वायरच्या स्थितीचे आणि कार्यक्षमतेचे नियमितपणे मूल्यांकन केल्याने विकृतीची कोणतीही चिन्हे ओळखण्यात आणि आवश्यकतेनुसार सुधारात्मक कारवाई करण्यात मदत होऊ शकते.