Хатуу материал руу ноцтой агаарын ионы цацраг байдаг, ионы цацраг нь хатуу материалын атомууд эсвэл молекулууд нь хатуу материалын гадаргуу руу шилжиж, энэ үзэгдлийг ионы цацраг цацах гэж нэрлэдэг; мөн хатуу материал, хатуу материалын гадаргуу буцаж, эсвэл хатуу материалаас гарч эдгээр үзэгдлүүд рүү үсрэх үед тархалт гэж нэрлэдэг; Өөр нэг үзэгдэл бол ионы цацрагийг хатуу материалаар хатуу материалаар дамжуулж, эсэргүүцлийг аажмаар бууруулж, эцэст нь хатуу материалд үлдэхийг ион суулгах гэж нэрлэдэг.
Ион суулгах техник:
Сүүлийн 30 жилийн хугацаанд дэлхий дахинд хурдацтай хөгжиж өргөн хэрэглэгдэж байгаа материалын гадаргууг өөрчлөх нэг төрлийн технологи юм. Үндсэн зарчим нь ионы цацрагийн энергийг 100кВ-ын дарааллаар ион цацрагт ашиглах явдал бөгөөд атом эсвэл молекулуудын материалууд нь физик, химийн харилцан үйлчлэлийн цуваа, туссан ионы энерги аажмаар алдагдах, хамгийн сүүлийн зогсоол юм. материал, бүтэц, шинж чанар нь материалын гадаргуугийн найрлага, өөрчлөлтийг үүсгэдэг. Материалын гадаргуугийн шинж чанарыг оновчтой болгох, эсвэл зарим шинэ шинж чанарыг олж авахын тулд. Шинэ технологи нь өвөрмөц давуу талтай тул хагас дамжуулагч материал, металл, керамик, полимер, гадаргуугийн өөрчлөлтийг өргөнөөр ашиглаж, эдийн засаг, нийгмийн асар их үр өгөөжийг авчирсан.
Микро электрон технологийн чухал допингийн технологи болох ион суулгац нь материалын гадаргуугийн шинж чанарыг оновчтой болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Ион суулгах технологи нь маш өндөр температурын гүйцэтгэл, материалын химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй. Тиймээс иончлолын камерын үндсэн хэсгүүд нь вольфрам, молибден эсвэл бал чулуу материалаар хийгдсэн байдаг. Гянт болд молибдений материалыг ион суулгах замаар олон жилийн үйлдвэрлэлийн судалгаа, үйлдвэрлэлийн үйл явц нь тогтвортой, баялаг туршлагатай.
Ион суулгацын халуун бүтээгдэхүүн
