Өндөр цэвэршилттэй ион суулгац гянт болдын судалтай
Ион суулгацын вольфрамын утас нь ион суулгацын машинд голчлон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст ашиглагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ төрлийн вольфрамын утас нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд түүний чанар, гүйцэтгэл нь IC технологийн шугамын үр ашигт шууд нөлөөлдөг. Ион суулгах машин нь VLSI (Маш том хэмжээний нэгдсэн хэлхээ)-ийн үйлдвэрлэлийн гол төхөөрөмж бөгөөд ионы эх үүсвэр болох вольфрамын утсыг үл тоомсорлож болохгүй. .
| Хэмжээ | Таны зурсан зургууд шиг |
| Гарал үүслийн газар | Лоян, Хэнань |
| Брэнд нэр | FGD |
| Өргөдөл | хагас дамжуулагч |
| Гадаргуу | Хар арьстай, шүлтлэг угаагч, машины гялалзсан, өнгөлсөн |
| Цэвэр байдал | 99.95% |
| Материал | W1 |
| Нягт | 19.3г/см3 |
| Гүйцэтгэлийн стандартууд | GB/T 4181-2017 |
| Хайлах цэг | 3400℃ |
| Бохирдлын агууламж | 0.005% |
| Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд | W＞99.95% |
| Бохирдлын агууламж≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Манай үйлдвэр Хэнань мужийн Луоян хотод байрладаг. Луоян бол вольфрам, молибдений уурхайн үйлдвэрлэлийн бүс тул бид чанар, үнийн хувьд үнэмлэхүй давуу талтай;
2. Манай компани нь 15-аас дээш жилийн туршлагатай техникийн боловсон хүчинтэй бөгөөд хэрэглэгч бүрийн хэрэгцээ шаардлагад нийцсэн зорилтот шийдэл, саналуудыг санал болгодог.
3. Манай бүх бүтээгдэхүүн экспортлохын өмнө чанарын хатуу хяналтанд ордог.
4. Хэрэв танд согогтой бараа ирсэн бол бидэнтэй холбогдож мөнгөө буцааж авах боломжтой.
1.Түүхий эд материалын сонголт
(Эцсийн бүтээгдэхүүний цэвэр байдал, механик шинж чанарыг хангахын тулд өндөр чанарын вольфрамын түүхий эдийг сонго. )
2. Хайлуулах ба цэвэршүүлэх
(Сонгосон вольфрамын түүхий эдийг хяналттай орчинд хайлуулж, хольцыг зайлуулж, хүссэн цэвэр байдалд хүрнэ.)
3. Утасны зураг
(Цэвэршүүлсэн гянт болдын материалыг шаардлагатай утасны диаметр болон механик шинж чанарыг олж авахын тулд хэд хэдэн хэвээр шахаж эсвэл татдаг.)
4. Аннеалинг
(Тассан гянтболдын утсыг дотоод стрессийг арилгах, уян хатан байдал, боловсруулалтын гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд зөөлрүүлдэг)
5. Ион суулгах процесс
Энэ тохиолдолд вольфрамын судал нь өөрөө ион суулгацын процесст орж, ион суулгацын гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд түүний шинж чанарыг өөрчлөхийн тулд гянт болдын судалтай гадаргуу руу ионуудыг шахдаг.)
Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх процесст ион суулгах машин нь чипийн хэлхээний диаграммыг маскаас цахиур хавтан руу шилжүүлэх, зорилтот чипний функцэд хүрэх гол тоног төхөөрөмжийн нэг юм. Энэ үйл явц нь химийн механик өнгөлгөө, нимгэн хальсан тунадас, фотолитографи, сийлбэр, ион суулгах зэрэг үе шатуудыг багтаадаг бөгөөд үүнд ион суулгац нь цахиурын хавтангийн гүйцэтгэлийг сайжруулах нэг чухал хэрэгсэл юм. Ион суулгацын машиныг ашиглах нь чип үйлдвэрлэх цаг, зардлыг үр дүнтэй хянахын зэрэгцээ чипний гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг сайжруулдаг. .
Тиймээ, вольфрамын утаснууд нь ион суулгах явцад бохирдолд өртөмтгий байдаг. Бохирдол нь ион суулгах камерт байгаа үлдэгдэл хий, тоосонцор, хольц зэрэг янз бүрийн хүчин зүйлээс шалтгаалж болно. Эдгээр бохирдуулагч нь вольфрамын судлын гадаргууд наалдаж, түүний цэвэр байдалд нөлөөлж, ион суулгах үйл явцын гүйцэтгэлд нөлөөлж болзошгүй. Тиймээс ион суулгацын камер доторх цэвэр, хяналттай орчинг хадгалах нь бохирдох эрсдэлийг багасгах, вольфрамын судлын бүрэн бүтэн байдлыг хангахад чухал ач холбогдолтой. Тогтмол цэвэрлэгээ, засвар үйлчилгээ хийх нь ион суулгах явцад үүсэх бохирдлыг бууруулахад тусалдаг.
Гянт болд утас нь өндөр хайлах цэг, маш сайн механик шинж чанараараа алдартай бөгөөд энэ нь ион суулгах хэвийн нөхцөлд деформацид тэсвэртэй болгодог. Гэсэн хэдий ч өндөр энергитэй ионы бөмбөгдөлт, ион суулгах явцад үүссэн дулаан нь цаг хугацааны явцад гажуудал үүсгэдэг, ялангуяа үйл явцын параметрүүдийг сайтар хянаж чадахгүй бол.
Ионы цацрагийн эрч хүч, үргэлжлэх хугацаа, вольфрамын утсанд учирч буй температур, стресс зэрэг хүчин зүйлүүд бүгд хэв гажилт үүсэхэд нөлөөлдөг. Нэмж дурдахад, вольфрамын утсан дахь аливаа хольц, согог нь деформацид өртөмтгий байдлыг нэмэгдүүлдэг.
Деформацийн эрсдэлийг бууруулахын тулд үйл явцын параметрүүдийг сайтар хянаж, хянаж, вольфрамын судлын цэвэр байдал, чанарыг баталгаажуулж, ион суулгацын тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ, хяналтын зохих протоколуудыг хэрэгжүүлэх шаардлагатай. Гянтболдын утасны нөхцөл, гүйцэтгэлийг тогтмол үнэлэх нь гажуудлын шинж тэмдгийг олж илрүүлэх, шаардлагатай бол засах арга хэмжээ авахад тусална.
