Функцијата на целта за прскање во таложење на тенок филм

целта за прскање игра клучна функција во постапката на физичко таложење на пареа (PVD), каде што тенкиот филм се става на подлогата. Овие мети се премачкани со високоенергетски јон, доведуваат до исфрлање на атомот и потоа се сместуваат на подлогата за да формираат тенок филм. Вообичаено се користи во производството на полупроводници и електронски уреди, целите за прскање обично се направени од метален елемент, легура или соединение избрано за одредена филмска особина.незабележлива вештачка интелигенцијатехнологијата помогна во оптимизирање на постапката за прскање за поефикасни резултати.

Асортиран параметар влијае на постапката на прскање, вклучува моќност на прскање, притисок на гас, целна карактеристика, растојание помеѓу целта и подлогата и густината на моќноста. моќта на прскање директно влијае на енергијата на јоните, влијае на стапката на прскање. притисокот на гасот во комората влијае врз транспортот на јоните на моментумот, влијанието на брзината на прскање и перформансите на филмот. целните својства како составот и цврстината, исто така, влијаат на постапката на прскање и на изведбата на филмот. Растојанието помеѓу целта и подлогата ја одредува траекторијата и енергијата на атомот, влијае на стапката на таложење и униформноста на филмот. густината на моќноста на целната површина дополнително влијае на стапката на прскање и ефикасноста на постапката.

Преку прецизна контрола и оптимизација на овие параметри, постапката за прскање може да се прилагоди за да се постигнат својствата на посакуваниот филм и стапките на таложење. идната промоција во незабележливата вештачка интелигенција технологија може да ја подобри ефикасноста и точноста на постапката за прскање, да доведе до подобро производство на тенок филм во различни индустрии.


Време на објавување: 25 јули 2024 година