Постои сериозен воздушен јонски зрак во цврст материјал, јонски зрак до цврст материјал атоми или молекули во цврст материјал површина, овој феномен се нарекува јонски зрак прскање; и кога цврстиот материјал, површината на цврстиот материјал отскокнува назад, или од цврст материјал на овие појави се нарекува расејување; постои уште еден феномен е дека по јонски зрак на цврст материјал од цврст материјал и намалување на отпорот полека надолу, и на крајот да остане во цврсти материјали, овој феномен се нарекува јонска имплантација.
Техника за имплантација на јони:
Тоа е еден вид технологија за модификација на површината на материјалот која брзо се развива и широко се користи во светот во последните 30 години. Основниот принцип е да се користи енергијата на јонскиот зрак што спаѓа во редот на 100keV материјал до јонски зрак и материјалите на атомите или молекулите ќе бидат низа физички и хемиски интеракции, падот на јонската енергија постепено, последната станица во материјалот и да предизвика промена на структурата и својствата на составот на површината на материјалот. Со цел да се оптимизираат површинските својства на материјалите или да се добијат некои нови својства. Новата технологија поради своите уникатни предности, е во допинг полупроводнички материјал, метал, керамика, полимер, површината модификација е широко користен, има постигнато големи економски и социјални придобивки.
Имплантацијата на јони како важна допинг технологија во микро електронската технологија игра клучна улога во оптимизирањето на површинските својства на материјалите. Технологијата за имплантација на јони е многу висока температурна изведба и отпорност на хемиска отпорност на корозија на материјалот. Затоа, главните делови на комората за јонизација се направени од волфрам, молибден или графитни материјали. Gemei години на индустриско истражување и производство со јонска имплантација на волфрам молибден материјал, процесот на производство има стабилно и богато искуство.
Топли производи за имплантација на јони
