Висока чистота јонска имплантација на волфрамово влакно
Волфрамската жица за имплантација на јони е клучна компонента што се користи во машините за имплантација на јони, главно во процесите на производство на полупроводници. Овој тип на волфрамска жица игра важна улога во полупроводничката опрема, а нејзиниот квалитет и перформанси директно влијаат на ефикасноста на линиите за процесирање ИЦ. Машината за имплантација на јони е клучна опрема во процесот на производство на VLSI (Интегрирано коло во многу големи размери), а улогата на волфрамската жица како извор на јони не може да се игнорира. ,
| Димензии | Како вашите цртежи |
| Место на потекло | Луојанг, Хенан |
| Име на брендот | FGD |
| Апликација | полупроводник |
| Површина | Црна кожа, алкално перење, автомобилски сјај, полиран |
| Чистота | 99,95% |
| Материјал | W1 |
| Густина | 19,3 g/cm3 |
| Стандарди за извршување | GB/T 4181-2017 |
| Точка на топење | 3400 ℃ |
| Содржина на нечистотија | 0,005% |
| Главни компоненти | W＞99,95% |
| Содржина на нечистотија≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Нашата фабрика се наоѓа во градот Луојанг, провинцијата Хенан. Луојанг е производствена област за рудници за волфрам и молибден, така што имаме апсолутни предности во квалитетот и цената;
2. Нашата компанија располага со технички персонал со над 15 години искуство, а ние обезбедуваме насочени решенија и предлози за потребите на секој клиент.
3. Сите наши производи подлежат на строга проверка на квалитетот пред да бидат извезени.
4. Ако добиете неисправна стока, можете да не контактирате за враќање на парите.
1. Избор на суровини
(Изберете висококвалитетни суровини од волфрам за да ја осигурате чистотата и механичките својства на финалниот производ. )
2. Топење и прочистување
(Избраните суровини од волфрам се топат во контролирана средина за да се отстранат нечистотиите и да се постигне саканата чистота.)
3. Цртеж на жица
(Прочистениот волфрамски материјал се истиснува или се влече низ низа матрици за да се постигне потребниот дијаметар на жица и механички својства.)
4.Anealing
(Извлечената волфрамска жица е закована за да се елиминира внатрешниот стрес и да се подобри нејзината еластичност и перформансите на обработка)
5. Процес на имплантација на јони
Во овој конкретен случај, самата волфрамова нишка може да биде подложена на процес на имплантација на јони, во кој јоните се инјектираат во површината на волфрамовото влакно за да ги променат неговите својства за да ги подобрат перформансите на јонскиот имплант.)
Во процесот на производство на полупроводнички чипови, машината за имплантација на јони е една од клучните опрема што се користи за пренос на дијаграмот на колото на чипот од маската на силиконската обланда и за постигнување на целната функција на чипот. Овој процес вклучува чекори како што се хемиско механичко полирање, таложење на тенок филм, фотолитографија, офорт и имплантација на јони, меѓу кои имплантација на јони е едно од важните средства за подобрување на перформансите на силиконските наполитанки. Примената на машините за имплантација на јони ефективно го контролира времето и трошоците за производство на чипови, а истовремено ги подобрува перформансите и доверливоста на чиповите. ,
Да, волфрамските нишки се подложни на контаминација за време на процесот на имплантација на јони. Контаминација може да настане поради различни фактори, како што се резидуални гасови, честички или нечистотии присутни во комората за имплантација на јони. Овие загадувачи може да се залепат на површината на волфрамовото влакно, што влијае на неговата чистота и потенцијално влијае на изведбата на процесот на имплантација на јони. Затоа, одржувањето на чиста и контролирана средина во комората за имплантација на јони е од клучно значење за да се минимизира ризикот од контаминација и да се обезбеди интегритет на волфрамовото влакно. Редовните процедури за чистење и одржување, исто така, можат да помогнат во ублажување на потенцијалот за контаминација за време на имплантација на јони.
Волфрамовата жица е позната по високата точка на топење и одличните механички својства, што ја прават отпорна на деформација при нормални услови на имплантација на јони. Сепак, топлината што се создава при високоенергетско јонско бомбардирање и имплантација на јони може да предизвика изобличување со текот на времето, особено ако параметрите на процесот не се внимателно контролирани.
Фактори како што се интензитетот и времетраењето на јонскиот зрак и нивото на температурата и напрегањето што ги доживува волфрамовата жица, сите можат да придонесат за потенцијалот за деформација. Дополнително, сите нечистотии или дефекти во волфрамската жица ќе ја влошат подложноста на деформација.
За да се намали ризикот од деформација, параметрите на процесот мора внимателно да се следат и контролираат, мора да се обезбеди чистотата и квалитетот на влакното од волфрам и да се применат соодветни протоколи за одржување и инспекција за опремата за имплантација на јони. Редовното проценување на состојбата и перформансите на волфрамовата жица може да помогне да се идентификуваат какви било знаци на изобличување и да се преземат корективни мерки по потреба.
