Nga whaainga Sputterhe rauemi hei whakatakoto i nga kiriata angiangi ki runga i nga tïpako i te wa e mahia ana te kohu kohu tinana (PVD). Ka pupuhihia te rauemi i whäia e te katote-kaha nui, ka puta nga ngota mai i te mata i whäia. Ko enei ngota kua mapuhia ka tukuna ki runga i te tïpako, ka hanga he kiriata angiangi. Kei te whakamahia nga whaainga pupuhi i roto i te hangahanga o nga semiconductors, nga pūtau solar me etahi atu taputapu hiko. I te nuinga o te wa ka mahia mai i nga konganuku, i nga koranu, i nga huinga ranei ka tohua i runga i nga ahuatanga e hiahiatia ana o te kiriata kua tohua.

Ko te tukanga sputtering ka pangia e te maha o nga tawhā, tae atu ki:

1. Te kaha o te pupuhi: Ko te nui o te mana e whakamahia ana i te wa o te mahi pupuhi ka pa ki te kaha o nga katote pupuhi, na reira ka pa ki te tere o te pupuhi.

2. Te pehanga hau pupuhi: Ko te pehanga o te hau pupuhi i roto i te ruma ka pa ki te whakawhiti tere o nga katote pupuhi, na reira ka pa ki te tere o te pupuhi me te mahi kiriata.

3. Ko nga ahuatanga o te whaainga: Ko nga ahuatanga o te tinana me te matū o te whaainga pupuhi, penei i te hanganga, te pakeke, te rewa, me etahi atu, ka pa ki te tukanga pupuhi me te mahi o te kiriata kua tohua.

4. Ko te tawhiti i waenga i te whainga me te tïpako: Ko te tawhiti i waenga i te whängai pupuhi me te tïpako ka pa ki te hikoi me te kaha o nga ngota karekau, na reira ka pa ki te reiti waipara me te riterite o te kiriata.

5. Kiato mana: Ko te kaha o te kaha e whakamahia ana ki te mata o te whaainga ka pa ki te tere o te pupuhi me te kaha o te tukanga pupuhi.

Ma te ata whakahaere me te arotau i enei tawhā, ka taea te whakarite i te tukanga sputtering ki te whakatutuki i nga ahuatanga kiriata me nga reiti waipara.