Te parakore teitei Ion implantation tungsten filament
Ko te waea tungsten whakaurunga katote he waahanga matua e whakamahia ana i roto i nga miihini whakauru katote, te nuinga i roto i nga mahi hangahanga semiconductor. Ko tenei momo waea tungsten he mahi nui ki nga taputapu semiconductor, a, ko te kounga me te mahi ka pa tika ki te pai o nga raina tukanga IC. Ko te miihini whakauru katote he taputapu matua i roto i te mahi hangahanga o VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), me te mahi o te waea tungsten hei puna katote kaore e taea te warewarehia. ;
| Ahu | Ka rite ki o tuhi |
| Te Wahi Taketake | Luoyang, Henan |
| Ingoa Waitohu | FGD |
| Taupānga | hikohiko |
| Mata | He kiri pango, he horoi alkali, he whiti waka, he oro |
| Maamaa | 99.95% |
| Rauemi | W1 |
| Kiato | 19.3g/cm3 |
| Nga paerewa mahi | GB/T 4181-2017 |
| Te rewa | 3400 ℃ |
| ihirangi poke | 0.005% |
| Nga waahanga matua | W＞99.95% |
| Ihirangi poke≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Ko ta matou wheketere kei Luoyang City, Henan Province. Ko Luoyang he waahi whakaputa mo nga maina tungsten me te molybdenum, no reira he tino painga to tatou kounga me te utu;
2. He kaimahi hangarau to taatau kamupene kua neke atu i te 15 tau o te wheako, a ka whakaratohia e matou nga otinga me nga whakaaro mo nga hiahia o ia kaihoko.
3. Ko o tatou hua katoa ka tino tirotirohia te kounga i mua i te kaweake.
4. Mena ka whiwhi koe i nga taonga he, ka taea e koe te whakapiri mai ki a maatau mo te utu.
1.Raw rauemi whiriwhiri
(Tīpakohia nga rauemi mata tungsten kounga teitei hei whakarite i te ma me nga taonga miihini o te hua whakamutunga. )
2. Whakarewa me te Pure
(Ka rewa nga rauemi mata tungsten kua tohua i roto i te taiao whakahaere hei tango i nga poke me te whakatutuki i te ma e hiahiatia ana.)
3. Waea tuhi
(Ko nga mea tungsten kua purea ka kumea, ka kumea ranei i roto i te raupapa o nga mate ki te whakatutuki i te diameter waea me nga taonga miihini.)
4. Whakawhanaunga
(Ko te waea tungsten kua kumea hei whakakore i te ahotea o roto me te whakapai ake i te ngawari me te mahi tukatuka )
5. Tukatuka Whakanoho Katote
I roto i tenei take, ko te kakawaea tungsten ano ka pa ki te tukanga whakauru katote, ka werohia nga katote ki te mata o te katote katote hei whakarereke i ona taonga hei whakarei ake i te mahi i roto i te katote implanter.)
I roto i te tukanga whakaputa maramara semiconductor, ko te miihini whakauru katote tetahi o nga taputapu matua e whakamahia ana ki te whakawhiti i te hoahoa maramara iahiko mai i te kanohi ki te wafer silicon me te whakatutuki i te mahi maramara. Kei roto i tenei mahinga nga hikoinga penei i te whakakoi miihini matū, te whakahekenga kiriata angiangi, te whakaahua whakaahua, te tarai, me te whakauru katote, kei roto ko te whakauru katote tetahi o nga tikanga nui hei whakapai ake i te mahi o nga wafers silicon. Ko te tono o nga miihini whakauru katote e whakahaere pai ana i te waa me te utu o te hanga maramara, me te whakapai ake i te mahi me te pono o nga maramara. ;
Ae, he whakaraerae ki te poke i roto i te tukanga implantation katote kakawaea. Ka puta te poke na te maha o nga mea, penei i te toenga hau, matūriki, poke ranei kei roto i te ruuma whakaurunga katote. Ka taea e enei poke te piri ki te mata o te kakawaea tungsten, ka pa ki tona ma, ka pa ki te mahi o te tukanga whakauru katote. Na reira, ko te pupuri i te taiao ma me te whakahaere i roto i te ruuma whakaurunga katote he mea nui ki te whakaiti i te tupono o te poke me te whakarite i te pono o te tungsten filament. Ka taea hoki e nga tikanga horoi me te tiaki i nga wa katoa te whakaiti i te tupono o te poke i te wa e whakatohia ana te katote.
Ko te waea Tungsten e mohiotia ana mo te teitei o te rewa me nga taonga miihini pai rawa atu, na te mea ka aukati i te whakarereketanga i raro i nga tikanga whakaurunga katote. Heoi, ko te wera i puta i te wa o te pupuhi katote-kaha nui me te whakaurunga katote ka raru pea i roto i te waa, inaa ka kore e ata whakahaerea nga tawhā tukanga.
Ko nga mea penei i te kaha me te roa o te kurupae katote me te pāmahana me te taumahatanga o nga taumata e pa ana ki te waea tungsten ka uru katoa ki te kaha ki te whakarereke. Hei taapiri, ko nga poke me nga hapa kei roto i te waea tungsten ka kaha ake te whakaraeraetanga ki te rerekee.
Hei whakaiti i te tupono o te rerekee, me ata tirotirohia nga tawhā tukanga me te whakahaere, me whakarite te ma me te kounga o te tungsten filament, me nga tikanga tiaki tika me te tirotiro mo nga taputapu whakauru katote. Ko te aromatawai i nga ahuatanga me nga mahi o te waea tungsten ka awhina i te tautuhi i nga tohu o te whanoke me te mahi whakatika ina hiahiatia.
