Ir nopietns gaisa jonu stars nonāk cietā materiālā, jonu stars cietā materiāla atomos vai molekulās nonāk cietā materiāla virsmā, šo parādību sauc par jonu staru izsmidzināšanu; un, kad cietais materiāls, cietā materiāla virsma atlēca atpakaļ vai no cietā materiāla šīm parādībām tiek saukta par izkliedi; Ir vēl viena parādība ir tāda, ka pēc tam, kad jonu staru kūlis uz cieto materiālu ar cietu materiālu samazina pretestību lēnām uz leju, un galu galā paliek cietos materiālos, šo parādību sauc par jonu implantāciju.
Jonu implantācijas tehnika:
Tā ir materiāla virsmas modifikācijas tehnoloģija, kas strauji attīstījusies un pasaulē plaši izmantota pēdējo 30 gadu laikā. Pamatprincips ir izmantot jonu stara enerģiju, kas krīt 100 keV materiālā uz jonu staru, un atomu vai molekulu materiāli būs virkne fizikālu un ķīmisku mijiedarbību, krītošie jonu enerģijas zudumi pakāpeniski, pēdējā pietura materiāls, un izraisīt materiāla virsmas sastāva struktūras un īpašību izmaiņas. Lai optimizētu materiālu virsmas īpašības vai iegūtu kādas jaunas īpašības. Jaunā tehnoloģija savu unikālo priekšrocību dēļ ir bijusi leģēta pusvadītāju materiāla, metāla, keramikas, polimēru, virsmas modifikācijas plaši izmantota, ir sasniegusi lielus ekonomiskos un sociālos ieguvumus.
Jonu implantācijai kā svarīgai dopinga tehnoloģijai mikroelektroniskajā tehnoloģijā ir galvenā loma materiālu virsmas īpašību optimizēšanā. Jonu implantācijas tehnoloģija ir ļoti augstas temperatūras veiktspēja un materiāla izturība pret ķīmisko koroziju. Tāpēc jonizācijas kameras galvenās daļas ir izgatavotas no volframa, molibdēna vai grafīta materiāliem. Gemei gadu rūpnieciskā izpēte un ražošana, implantējot volframa molibdēna materiālu, ražošanas procesam ir stabila un bagāta pieredze.
Karsti produkti jonu implantācijai
