Augstas tīrības pakāpes titāna izsmidzināšanas mērķis vakuuma pārklājumam
Izsmidzināšanas mērķi ir augstas tīrības pakāpes materiāli, ko izmanto fiziskās tvaiku pārklāšanas (PVD) procesos, īpaši izsmidzināšanas tehnoloģijā. Šos materiālus izmanto, lai veidotu plānas kārtiņas uz pamatnēm dažādās nozarēs, tostarp pusvadītāju ražošanā, optiskajos pārklājumos un elektronisko ierīču plānās kārtiņas uzklāšanā.
Izsmidzināšanas mērķa materiālus var izgatavot no dažādiem elementiem un savienojumiem, tostarp metāliem, sakausējumiem, oksīdiem un nitrīdiem. Izsmidzināšanas mērķa materiāla izvēle ir atkarīga no īpašajām īpašībām, kas nepieciešamas plānslāņa pārklājumam, piemēram, elektrovadītspēja, optiskās īpašības, cietība un ķīmiskā izturība.
Parastie izsmidzināšanas mērķi ir tādi metāli kā titāns, alumīnijs un varš, kā arī savienojumi, piemēram, indija alvas oksīds (ITO) un dažādi metālu oksīdi. Atbilstoša izsmidzināšanas mērķa materiāla izvēle ir ļoti svarīga, lai sasniegtu plānās kārtiņas pārklājumu vēlamās īpašības un veiktspēju.
Izsmidzināšanas mērķi ir dažādu izmēru atkarībā no plānās kārtiņas uzklāšanas procesa un izsmidzināšanas aprīkojuma īpašajām prasībām. Izsmidzināšanas mērķa izmērs var būt no dažiem centimetriem līdz desmitiem centimetru diametrā, un arī biezums var atšķirties.
Izsmidzināšanas mērķa izmēru nosaka tādi faktori kā pārklājamā substrāta izmērs, izsmidzināšanas sistēmas konfigurācija un vēlamais nogulsnēšanās ātrums un vienmērīgums. Turklāt izsmidzināšanas mērķa izmēru var ietekmēt plānās kārtiņas uzklāšanas īpašās prasības, piemēram, pārklājamā platība un vispārējie procesa parametri.
Galu galā izsmidzināšanas mērķa izmērs tiek izvēlēts, lai nodrošinātu efektīvu un vienmērīgu plēves nogulsnēšanos uz pamatnes, kas atbilst plānās kārtiņas pārklāšanas procesa specifiskajām vajadzībām pusvadītāju ražošanā, optiskajos pārklājumos un citos saistītos lietojumos.
Ir vairāki veidi, kā palielināt izsmidzināšanas ātrumu izsmidzināšanas procesā:
1. Jaudas un spiediena optimizācija: jaudas un spiediena parametru pielāgošana izsmidzināšanas sistēmā var ietekmēt izsmidzināšanas ātrumu. Palielinot jaudu un optimizējot spiediena apstākļus, var palielināt izsmidzināšanas ātrumu, kas noved pie ātrākas plānās kārtiņas nogulsnēšanās.
2. Mērķa materiāls un ģeometrija: izsmidzināšanas mērķu izmantošana ar optimizētu materiāla sastāvu un ģeometriju var uzlabot izsmidzināšanas ātrumu. Augstas kvalitātes, labi izstrādāti izsmidzināšanas mērķi var uzlabot izsmidzināšanas efektivitāti un palielināt nogulsnēšanās ātrumu.
3. Mērķa virsmas sagatavošana: Pareiza izsmidzināšanas mērķa virsmas tīrīšana un kondicionēšana var palielināt izsmidzināšanas ātrumu. Pārliecinoties, ka mērķa virsma ir brīva no piesārņotājiem un oksīdiem, var uzlabot izsmidzināšanas efektivitāti.
4. Pamatnes temperatūra: substrāta temperatūras kontrole var ietekmēt izsmidzināšanas ātrumu. Dažos gadījumos substrāta temperatūras paaugstināšana noteiktā diapazonā var palielināt izsmidzināšanas ātrumu un uzlabot plēves kvalitāti.
5. Gāzes plūsma un sastāvs: Gāzes plūsmas un sastāva optimizēšana izsmidzināšanas kamerā var ietekmēt izsmidzināšanas ātrumu. Gāzes plūsmas ātruma regulēšana un atbilstošu izsmidzināšanas gāzu maisījumu izmantošana var uzlabot izsmidzināšanas procesa efektivitāti.
Rūpīgi apsverot šos faktorus un optimizējot izsmidzināšanas procesa parametrus, ir iespējams palielināt izsmidzināšanas ātrumu un uzlabot kopējo plānslāņa nogulsnēšanas efektivitāti izsmidzināšanas lietojumos.
Wechat: 15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
