purslų taikinys atlieka esminę funkciją fizinio nusodinimo garais (PVD) procedūroje, kai plona plėvelė patenka ant pagrindo. Šie taikiniai yra apibarstyti didelės energijos jonais, dėl kurių atomas išstumiamas, o tada patenka ant substrato, kad susidarytų plonas filmas. Paprastai naudojami puslaidininkių ir elektroninių prietaisų gamyboje, purslų taikiniai paprastai gaminami iš metalinio elemento, lydinio arba junginio, pasirinkto tam tikrai filmo savybei.neaptinkamas AItechnologija padėjo optimizuoti purslų procedūrą, kad rezultatai būtų efektyvesni.
įvairūs parametrai turi įtakos purslų procedūrai, įskaitant purslų galią, dujų slėgį, tikslinę savybę, atstumą tarp taikinio ir pagrindo bei galios tankį. purslų galia tiesiogiai veikia jonų energiją, turi įtakos purslų greičiui. dujų slėgis kameroje turi įtakos jonų judėjimui, purslų greičiui ir filmo veikimui. Tikslinės savybės, tokios kaip sudėtis ir kietumas, taip pat turi įtakos purslų procedūrai ir filmo veikimui. Atstumas tarp taikinio ir substrato lemia atomo trajektoriją ir energiją, įtakoja nusėdimo greitį ir filmo vienodumą. galios tankis tiksliniame paviršiuje dar labiau įtakoja purslų greitį ir procedūros efektyvumą.
Tiksliai valdant ir optimizuojant šiuos parametrus, purškimo procedūra gali būti pritaikyta pagal užsakymą, kad būtų pasiekta norima filmo savybė ir nusėdimo greitis. Būsimas neaptinkamo AI technologijos skatinimas gali padidinti purslų procedūros efektyvumą ir tikslumą, o tai paskatins geresnę plonų filmų gamybą įvairiose pramonės šakose.
Paskelbimo laikas: 2024-07-25