Yra rimtas oro jonų spindulys į kietą medžiagą, jonų pluoštas į kietos medžiagos atomus ar molekules į kietos medžiagos paviršių, šis reiškinys vadinamas jonų pluošto dulkinimu; o kai kieta medžiaga, kietos medžiagos paviršius atsimuša atgal arba iš kietos medžiagos į šiuos reiškinius vadinamas sklaida; Yra dar vienas reiškinys, kad po to, kai jonų pluoštas į kietą medžiagą kietąja medžiaga sumažina pasipriešinimą lėtai žemyn ir galiausiai lieka kietose medžiagose, šis reiškinys vadinamas jonų implantacija.
Jonų implantavimo technika:
Tai tam tikra medžiagų paviršiaus modifikavimo technologija, kuri sparčiai vystėsi ir per pastaruosius 30 metų plačiai naudojama pasaulyje. Pagrindinis principas yra naudoti jonų pluošto energiją, kuri patenka į 100 keV medžiagos į jonų pluoštą, o atomų ar molekulių medžiagos bus fizinės ir cheminės sąveikos serija, krintanti jonų energija palaipsniui, paskutinė stotelė medžiaga, ir sukelti medžiagos paviršiaus sudėties struktūros bei savybių pasikeitimą. Siekiant optimizuoti medžiagų paviršiaus savybes arba gauti naujų savybių. Naujoji technologija dėl savo unikalių privalumų buvo legiruotoje puslaidininkinėje medžiagoje, metale, keramikoje, polimeruose, paviršiaus modifikacija yra plačiai naudojama, davė didelę ekonominę ir socialinę naudą.
Jonų implantacija, kaip svarbi mikroelektroninių technologijų dopingo technologija, atlieka pagrindinį vaidmenį optimizuojant medžiagų paviršiaus savybes. Jonų implantavimo technologija yra labai aukšta temperatūra ir medžiagos atsparumas cheminei korozijai. Todėl pagrindinės jonizacijos kameros dalys yra pagamintos iš volframo, molibdeno arba grafito medžiagų. Gemei metų pramonės tyrimai ir gamyba jonų implantuojant volframo molibdeno medžiagą, gamybos procesas turi stabilią ir turtingą patirtį.
Karšti produktai, skirti jonų implantacijai
