Didelio grynumo jonų implantavimo volframo siūlas
Jonų implantavimo volframo viela yra pagrindinis komponentas, naudojamas jonų implantavimo mašinose, daugiausia puslaidininkių gamybos procesuose. Šio tipo volframo viela vaidina svarbų vaidmenį puslaidininkinėje įrangoje, o jos kokybė ir veikimas tiesiogiai veikia IC proceso linijų efektyvumą. Jonų implantavimo mašina yra pagrindinė VLSI (labai didelio masto integrinio grandyno) gamybos proceso įranga, todėl negalima ignoruoti volframo vielos, kaip jonų šaltinio, vaidmens.
| Matmenys | Kaip tavo piešiniai |
| Kilmės vieta | Luojangas, Henanas |
| Prekės ženklo pavadinimas | FGD |
| Taikymas | puslaidininkis |
| Paviršius | Juoda oda, šarminis plovimas, automobilio blizgesys, poliruotas |
| Grynumas | 99,95 % |
| Medžiaga | W1 |
| Tankis | 19,3g/cm3 |
| Vykdymo standartai | GB/T 4181-2017 |
| Lydymosi temperatūra | 3400 ℃ |
| Priemaišų kiekis | 0,005 % |
| Pagrindiniai komponentai | W＞ 99,95 % |
| Priemaišų kiekis≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Mūsų gamykla yra Luoyang mieste, Henano provincijoje. Luojangas yra volframo ir molibdeno kasyklų gamybos sritis, todėl turime absoliučius kokybės ir kainos pranašumus;
2. Mūsų įmonėje dirba techninis personalas, turintis daugiau nei 15 metų patirtį, o mes pateikiame tikslinius sprendimus ir pasiūlymus pagal kiekvieno kliento poreikius.
3. Prieš eksportuojant visus mūsų gaminius atliekama griežta kokybės patikra.
4. Jei gaunate nekokybiškas prekes, galite susisiekti su mumis dėl pinigų grąžinimo.
1.Žaliavos pasirinkimas
(Pasirinkite aukštos kokybės volframo žaliavas, kad užtikrintumėte galutinio produkto grynumą ir mechanines savybes. )
2. Lydymas ir gryninimas
(Pasirinktos volframo žaliavos išlydomos kontroliuojamoje aplinkoje, kad būtų pašalintos priemaišos ir pasiektas norimas grynumas.)
3. Vielos brėžinys
(Išgryninta volframo medžiaga yra išspaudžiama arba ištraukiama per daugybę štampų, kad būtų pasiektas reikiamas vielos skersmuo ir mechaninės savybės.)
4.Atkaitinimas
(Ištraukta volframo viela atkaitinama, kad būtų pašalintas vidinis įtempis ir pagerintas jos lankstumas bei apdorojimo efektyvumas )
5. Jonų implantacijos procesas
Šiuo konkrečiu atveju pačiame volframo siūlelyje gali būti atliekamas jonų implantavimo procesas, kurio metu jonai įšvirkščiami į volframo siūlelio paviršių, kad pasikeistų jo savybės ir padidėtų jonų implantatoriaus veikimas.)
Puslaidininkinių lustų gamybos procese jonų implantavimo mašina yra viena iš pagrindinių įrenginių, naudojamų lusto grandinės schemai perkelti iš kaukės į silicio plokštelę ir pasiekti tikslinę lusto funkciją. Šis procesas apima tokius veiksmus kaip cheminis mechaninis poliravimas, plonos plėvelės nusodinimas, fotolitografija, ėsdinimas ir jonų implantavimas, tarp kurių jonų implantavimas yra viena iš svarbių priemonių pagerinti silicio plokštelių veikimą. Jonų implantavimo mašinų taikymas efektyviai kontroliuoja lustų gamybos laiką ir sąnaudas, tuo pačiu pagerindamas lustų veikimą ir patikimumą.
Taip, volframo siūlai gali būti užteršti jonų implantavimo proceso metu. Užteršimas gali atsirasti dėl įvairių veiksnių, tokių kaip liekamosios dujos, dalelės ar priemaišos, esančios jonų implantavimo kameroje. Šie teršalai gali prilipti prie volframo gijos paviršiaus, paveikti jo grynumą ir potencialiai paveikti jonų implantavimo proceso veikimą. Todėl norint sumažinti užteršimo riziką ir užtikrinti volframo gijos vientisumą, labai svarbu palaikyti švarią ir kontroliuojamą aplinką jonų implantavimo kameroje. Reguliarios valymo ir priežiūros procedūros taip pat gali padėti sumažinti galimą užteršimą jonų implantavimo metu.
Volframo viela yra žinoma dėl savo aukštos lydymosi temperatūros ir puikių mechaninių savybių, dėl kurių ji yra atspari deformacijai įprastomis jonų implantavimo sąlygomis. Tačiau šiluma, susidaranti didelės energijos jonų bombardavimo ir jonų implantavimo metu, laikui bėgant gali sukelti iškraipymus, ypač jei proceso parametrai nėra kruopščiai kontroliuojami.
Tokie veiksniai kaip jonų pluošto intensyvumas ir trukmė bei temperatūrų ir įtempių lygiai, kuriuos patiria volframo viela, gali turėti įtakos deformacijai. Be to, bet kokios volframo vielos priemaišos ar defektai padidins jautrumą deformacijai.
Siekiant sumažinti deformacijos riziką, proceso parametrai turi būti atidžiai stebimi ir kontroliuojami, turi būti užtikrintas volframo siūlų grynumas ir kokybė, taip pat turi būti įgyvendinti atitinkami jonų implantavimo įrangos priežiūros ir tikrinimo protokolai. Reguliarus volframo vielos būklės ir veikimo įvertinimas gali padėti nustatyti bet kokius iškraipymo požymius ir prireikus imtis taisomųjų veiksmų.
