ຄວາມບໍລິສຸດສູງ Ion implantation filament tungsten
ສາຍ tungsten implantation ion ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງປູກຝັງ ion, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຢູ່ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ປະເພດຂອງສາຍ tungsten ນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ semiconductor, ແລະຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງສາຍຂະບວນການ IC. ເຄື່ອງປູກຝັງໄອອອນແມ່ນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດຂອງ VLSI (ວົງຈອນປະສົມປະສານຂະຫນາດໃຫຍ່ຫຼາຍ), ແລະບົດບາດຂອງສາຍ tungsten ເປັນແຫຼ່ງ ion ບໍ່ສາມາດຖືກລະເລີຍ.
| ຂະໜາດ | ເປັນຮູບແຕ້ມຂອງເຈົ້າ |
| ສະຖານທີ່ຕົ້ນກໍາເນີດ | Luoyang, Henan |
| ຊື່ຍີ່ຫໍ້ | FGD |
| ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ | semiconductor |
| ດ້ານ | ຜິວດໍາ, ລ້າງດ່າງ, ລົດເງົາ, ຂັດ |
| ຄວາມບໍລິສຸດ | 99.95% |
| ວັດສະດຸ | W1 |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 19.3g/ຊມ3 |
| ມາດຕະຖານການປະຕິບັດ | GB/T 4181-2017 |
| ຈຸດລະລາຍ | 3400℃ |
| ເນື້ອໃນ impurity | 0.005% |
| ອົງປະກອບຕົ້ນຕໍ | W＞99.95% |
| ເນື້ອໃນ impurity≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. ໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຕັ້ງຢູ່ໃນເມືອງ Luoyang, ແຂວງ Henan. Luoyang ເປັນພື້ນທີ່ຜະລິດສໍາລັບລະເບີດຝັງດິນ tungsten ແລະ molybdenum, ດັ່ງນັ້ນພວກເຮົາມີຄວາມໄດ້ປຽບຢ່າງແທ້ຈິງໃນຄຸນນະພາບແລະລາຄາ;
2. ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາມີບຸກຄະລາກອນດ້ານວິຊາການທີ່ມີປະສົບການຫຼາຍກວ່າ 15 ປີ, ແລະພວກເຮົາສະຫນອງການແກ້ໄຂເປົ້າຫມາຍແລະຄໍາແນະນໍາສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າແຕ່ລະຄົນ.
3. ຜະລິດຕະພັນທັງຫມົດຂອງພວກເຮົາໄດ້ຮັບການກວດກາຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດກ່ອນທີ່ຈະສົ່ງອອກ.
4. ຖ້າທ່ານໄດ້ຮັບສິນຄ້າທີ່ຜິດປົກກະຕິ, ທ່ານສາມາດຕິດຕໍ່ພວກເຮົາເພື່ອຂໍເງິນຄືນ.
1.ການຄັດເລືອກວັດຖຸດິບ
(ເລືອກວັດຖຸດິບ tungsten ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນສົມບັດກົນຈັກຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. )
2. ການລະລາຍແລະການບໍລິສຸດ
(ວັດຖຸດິບ tungsten ທີ່ເລືອກແມ່ນຖືກລະລາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການຄວບຄຸມເພື່ອກໍາຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອແລະບັນລຸຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຕ້ອງການ.)
3. ການແຕ້ມເສັ້ນ
(ວັດສະດຸ tungsten ບໍລິສຸດແມ່ນ extruded ຫຼືແຕ້ມໂດຍຜ່ານຊຸດຂອງຕາຍເພື່ອບັນລຸເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງສາຍແລະຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ຕ້ອງການ.)
4.Annealing
(ສາຍ tungsten ທີ່ໄດ້ຮັບແມ່ນ annealed ເພື່ອລົບລ້າງຄວາມກົດດັນພາຍໃນແລະປັບປຸງການ ductility ແລະການປຸງແຕ່ງຂອງຕົນ)
5. ຂະບວນການປູກຝັງໄອອອນ
ໃນກໍລະນີນີ້, filament tungsten ຕົວຂອງມັນເອງອາດຈະຜ່ານຂະບວນການປູກຝັງຂອງ ion, ເຊິ່ງ ions ໄດ້ຖືກສີດເຂົ້າໄປໃນຫນ້າດິນຂອງ filament tungsten ເພື່ອປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດຂອງຕົນເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບໃນ ion implanter).
ໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບ semiconductor, ເຄື່ອງປູກຝັງ ion ແມ່ນຫນຶ່ງໃນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນການໂອນແຜນວາດວົງຈອນຊິບຈາກຫນ້າກາກໄປຫາຊິລິໂຄນ wafer ແລະບັນລຸຫນ້າທີ່ຂອງຊິບເປົ້າຫມາຍ. ຂະບວນການນີ້ປະກອບມີຂັ້ນຕອນເຊັ່ນ: ການຂັດກົນຈັກເຄມີ, ການຫລໍ່ລື່ນຂອງຮູບເງົາບາງໆ, photolithography, etching, ແລະ implantation ion, ຊຶ່ງໃນນັ້ນ ion implantation ແມ່ນຫນຶ່ງໃນວິທີທີ່ສໍາຄັນເພື່ອປັບປຸງການປະຕິບັດຂອງ silicon wafers. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເຄື່ອງຈັກ ion implantation ປະສິດທິພາບການຄວບຄຸມທີ່ໃຊ້ເວລາແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງການຜະລິດ chip, ໃນຂະນະທີ່ການປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊິບ.
ແມ່ນແລ້ວ, filaments tungsten ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປູກຝັງ ion. ການປົນເປື້ອນສາມາດເກີດຂື້ນໄດ້ເນື່ອງຈາກປັດໃຈຕ່າງໆ, ເຊັ່ນ: ທາດອາຍຜິດທີ່ຕົກຄ້າງ, ອະນຸພາກ, ຫຼືສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ມີຢູ່ໃນຫ້ອງປູກຝັງ ion. ສິ່ງປົນເປື້ອນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຍຶດຕິດກັບດ້ານຂອງ filament tungsten, ຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມບໍລິສຸດຂອງມັນແລະອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງຂະບວນການປູກຝັງ ion. ດັ່ງນັ້ນ, ການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດແລະຄວບຄຸມພາຍໃນຫ້ອງປູກຝັງ ion ແມ່ນສໍາຄັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງ filament tungsten. ຂັ້ນຕອນການທໍາຄວາມສະອາດແລະບໍາລຸງຮັກສາເປັນປົກກະຕິຍັງສາມາດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນທ່າແຮງສໍາລັບການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງການປູກຝັງ ion.
ສາຍ Tungsten ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຈຸດລະລາຍສູງແລະຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການຝັງ ion ປົກກະຕິ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໃນລະຫວ່າງການລະເບີດ ion ພະລັງງານສູງແລະການຝັງ ion ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການບິດເບືອນໃນໄລຍະເວລາ, ໂດຍສະເພາະຖ້າຕົວກໍານົດການຂະບວນການບໍ່ໄດ້ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງ.
ປັດໃຈຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນແລະໄລຍະເວລາຂອງລໍາແສງ ion ແລະອຸນຫະພູມແລະລະດັບຄວາມກົດດັນທີ່ມີປະສົບການໂດຍສາຍ tungsten ທັງຫມົດສາມາດປະກອບສ່ວນກັບທ່າແຮງສໍາລັບການຜິດປົກກະຕິ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມບໍ່ສະອາດຫຼືຂໍ້ບົກພ່ອງໃນສາຍ tungsten ຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການຜິດປົກກະຕິຫຼາຍກວ່າເກົ່າ.
ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການຜິດປົກກະຕິ, ຕົວກໍານົດການຂະບວນການຕ້ອງໄດ້ຮັບການກວດສອບແລະຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງ, ຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງ filament tungsten ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຮັບປະກັນ, ແລະພິທີການບໍາລຸງຮັກສາແລະການກວດສອບທີ່ເຫມາະສົມຕ້ອງໄດ້ຮັບການປະຕິບັດສໍາລັບອຸປະກອນ ion implantation. ການປະເມີນສະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງສາຍ tungsten ເປັນປົກກະຕິສາມາດຊ່ວຍກໍານົດອາການຂອງການບິດເບືອນແລະດໍາເນີນການແກ້ໄຂຕາມຄວາມຕ້ອງການ.
