Катуу материалга олуттуу аба ион нуру бар, ион нуру катуу материалдык атомдорго же молекулаларга катуу материалдын бетине, бул кубулуш ион нурунун чачырашы деп аталат; ал эми катуу материал, катуу материалдын бети кайра секирип же катуу материалдан бул кубулуштарга чачыратуу деп аталат; дагы бир кубулуш бар, ион нуру катуу материал менен катуу материалга тийгенден кийин жана каршылыкты акырындап азайтып, акыры катуу материалдарда калып, бул кубулуш ион имплантациясы деп аталат.
Иондук имплантациялоо техникасы:
Акыркы 30 жылда дүйнөдө тез жана кеңири колдонулган материалдын үстүн өзгөртүү технологиясынын бир түрү. Негизги принцип - ион нурунун энергиясын 100 кВ материалдан ион нуруна чейин колдонуу жана атомдордун же молекулалардын материалдары физикалык жана химиялык өз ара аракеттешүүлөрдүн сериясы болот, иондун энергиясын жоготуу акырындык менен, акыркы аялдама материал, ошондой эле материалдын бетинин курамынын түзүлүшүн жана касиеттерин, өзгөрүшүн шарттайт. Материалдардын беттик касиеттерин оптималдаштыруу же кээ бир жаңы касиеттерди алуу үчүн. Жаңы технология өзүнүн уникалдуу артыкчылыктарынан улам жарым өткөргүч материалда, металлда, керамикада, полимерде болгон, беттик модификация кеңири колдонулган, экономикалык жана социалдык чоң пайдаларга жетишкен.
Микроэлектрондук технологияда маанилүү допинг технологиясы катары иондук имплантация материалдардын беттик касиеттерин оптималдаштырууда негизги ролду ойнойт. Иондук имплантация технологиясы материалдын химиялык коррозияга туруктуулугуна өтө жогорку температуралык көрсөткүч жана туруктуулук. Демек, иондоштуруу камерасынын негизги бөлүктөрүн вольфрам, молибден же графит материалдары түзөт. Gemei жыл өнөр жай изилдөө жана өндүрүш вольфрам молибден материалды ион имплантациялоо менен, өндүрүш жараяны туруктуу жана бай тажрыйбага ээ.
Иондук имплантация үчүн ысык продуктылар
