Вакуумдук каптоо үчүн жогорку тазалыктагы титан чачыратуу максаты
Чачыратуу максаттары - бул физикалык бууларды түшүрүү (PVD) процесстеринде, өзгөчө чачыратуу технологиясында колдонулган жогорку тазалыктагы материалдар. Бул материалдар ар түрдүү тармактарда, анын ичинде жарым өткөргүч өндүрүшүндө, оптикалык каптоодо жана электрондук аппараттар үчүн жука пленка коюуда субстраттарда жука пленкаларды түзүү үчүн колдонулат.
Чачуучу максаттуу материалдар ар кандай элементтерден жана бирикмелерден, анын ичинде металлдардан, эритмелерден, оксиддерден жана нитриддерден жасалышы мүмкүн. Чачуучу максаттуу материалды тандоо электр өткөргүчтүгү, оптикалык касиеттери, катуулугу жана химиялык каршылыгы сыяктуу жука пленка каптоо үчүн талап кылынган өзгөчө касиеттерге жараша болот.
Жалпы чачыратуу максаттарына титан, алюминий жана жез сыяктуу металлдар, ошондой эле индий калайынын оксиди (ITO) жана ар кандай металл оксиддери сыяктуу кошулмалар кирет. Тиешелүү чачыратуу максаттуу материалды тандоо жука пленка каптоолордун керектүү мүнөздөмөлөрүнө жана аткаруусуна жетишүү үчүн абдан маанилүү.
Чачыратуу максаттары жука пленканы жайгаштыруу процессинин жана чачыратуу жабдууларынын өзгөчө талаптарына жараша ар кандай өлчөмдө болот. Чачыратуу бутанын өлчөмү диаметри бир нече сантиметрден ондогон сантиметрге чейин болушу мүмкүн жана калыңдыгы да ар кандай болушу мүмкүн.
Чачыратуу бутасынын өлчөмү капталуучу субстраттын өлчөмү, чачыратуу тутумунун конфигурациясы жана каалаган чөктүрүүнүн ылдамдыгы жана бирдейлиги сыяктуу факторлор менен аныкталат. Кошумчалай кетсек, чачыратуучу бутанын өлчөмүнө капталуучу аймак жана процесстин жалпы параметрлери сыяктуу жука пленканын атайын талаптары таасир этиши мүмкүн.
Акыр-аягы, чачыратуучу максаттын өлчөмү пленканын субстраттын үстүнө эффективдүү жана бир калыпта жайгаштырылышын камсыз кылуу үчүн тандалып алынат, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө, оптикалык каптоодо жана башка тиешелүү тиркемелерде жука пленка менен каптоо процессинин өзгөчө муктаждыктарына жооп берет.
Чачыратуу процессинде чачыратуу ылдамдыгын жогорулатуунун бир нече жолдору бар:
1. Кубат жана басымды оптималдаштыруу: чачыратуу системасындагы күч жана басым параметрлерин тууралоо чачуу ылдамдыгына таасир этиши мүмкүн. Кубатты жогорулатуу жана басым шарттарын оптималдаштыруу чачуу ылдамдыгын жогорулатып, жука пленканын тезирээк чөктүрүлүшүнө алып келет.
2. Максаттуу материал жана геометрия: оптималдаштырылган материалдык курамы жана геометриясы менен чачыратуу максаттарын колдонуу чачуу ылдамдыгын жакшыртат. Сапаттуу, жакшы иштелип чыккан чачуу максаттары чачуунун эффективдүүлүгүн жогорулатып, чөктүрүүнүн жогорку ылдамдыгына алып келиши мүмкүн.
3. Максаттуу бетти даярдоо: чачыратуучу максаттуу бетти туура тазалоо жана кондициялоо чачуу ылдамдыгын жогорулатат. Максаттуу беттин булгоочу заттардан жана оксиддерден таза болушун камсыз кылуу чачуунун эффективдүүлүгүн жакшыртат.
4. Субстраттын температурасы: субстраттын температурасын көзөмөлдөө чачыратуу ылдамдыгына таасир этиши мүмкүн. Кээ бир учурларда, белгилүү бир диапазондо субстраттын температурасын жогорулатуу чачуу ылдамдыгын жогорулатууга жана пленканын сапатын жакшыртууга алып келиши мүмкүн.
5. Газдын агымы жана курамы: чачыратуу камерасындагы газдын агымын жана курамын оптималдаштыруу чачуу ылдамдыгына таасир этиши мүмкүн. Газдын агымынын ылдамдыгын тууралоо жана тиешелүү чачыраткыч газ аралашмаларын колдонуу чачуу процессинин натыйжалуулугун жогорулатат.
Бул факторлорду кылдаттык менен карап чыгуу жана чачуу процессинин параметрлерин оптималдаштыруу менен чачуу ылдамдыгын жогорулатууга жана чачыратуу колдонмолорунда жука пленка катмарынын жалпы эффективдүүлүгүн жогорулатууга болот.
Wechat: 15138768150
Ватсап: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
