Жогорку тазалыктагы иондук имплантация вольфрам жип

Кыска сүрөттөмө:

Жогорку тазалыктагы ион имплантациялоочу вольфрам жип - ион имплантациялоочу жабдууларда колдонулган жип. Ал иондорду имплантациялоо процессинин катаал шарттарына туруштук берүү үчүн иштелип чыккан, мында иондор ылдамдатылган жана максаттуу материалга сайылган.


Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Продукт сүрөттөмөлөрү

Иондук имплантация вольфрам зымы ион имплантациялоочу машиналарда, негизинен жарым өткөргүч өндүрүш процесстеринде колдонулган негизги компонент болуп саналат. Вольфрам зымынын бул түрү жарым өткөргүч жабдууларда маанилүү ролду ойнойт жана анын сапаты жана өндүрүмдүүлүгү IC процессинин линияларынын натыйжалуулугуна түздөн-түз таасир этет. Ион имплантациялоочу машина VLSI (Өтө чоң масштабдуу интегралдык схема) өндүрүш процессиндеги негизги жабдуу жана ион булагы катары вольфрам зымынын ролун эске албай коюуга болбойт. .

Продукт спецификациялары

Өлчөмдөр Сиздин чиймелериңиз катары
Келип чыккан жери Лоян, Хэнань
Бренд аты FGD
Колдонмо жарым өткөргүч
Surface Кара тери, щелоч жуугуч, унаа жылтылдаган, жылмаланган
Тазалык 99,95%
Материал W1
тыгыздыгы 19,3 г/см3
Аткаруу стандарттары GB/T 4181-2017
Эрүү чекити 3400℃
Таза эмес мазмун 0,005%
Вольфрам жиптерин иондук имплантациялоо

Химиялык состав

Негизги компоненттер

W>99,95%

Таза эместиктин мазмуну≤

Pb

0.0005

Fe

0.0020

S

0.0050

P

0.0005

C

0,01

Cr

0.0010

Al

0.0015

Cu

0.0015

K

0.0080

N

0,003

Sn

0.0015

Si

0.0020

Ca

0.0015

Na

0.0020

O

0,008

Ti

0.0010

Mg

0.0010

Отко чыдамдуу металлдардын буулануу ылдамдыгы

Отко чыдамдуу металлдардын буу басымы

Эмне үчүн бизди тандайсыз

1. Биздин фабрика Луоян шаарында, Хэнань провинциясында жайгашкан. Луоян - вольфрам жана молибден кендери үчүн өндүрүш аймагы, ошондуктан биз сапаты жана баасы боюнча абсолюттук артыкчылыктарга ээ;

2. Биздин компанияда 15 жылдан ашык тажрыйбасы бар техникалык персонал бар жана биз ар бир кардардын муктаждыктары үчүн максаттуу чечимдерди жана сунуштарды беребиз.

3. Биздин өнүмдөрдүн баары экспортко чейин катуу сапаты текшерүүдөн өтөт.

4. Эгерде сиз кемчиликтүү товар алсаңыз, акчаңызды кайтаруу үчүн биз менен байланыша аласыз.

Вольфрам жипти иондук имплантациялоо (2)

Өндүрүш агымы

1.Чийки затты тандоо

(Акыркы продуктунун тазалыгын жана механикалык касиеттерин камсыз кылуу үчүн жогорку сапаттагы вольфрам чийки затын тандаңыз. ‌)

2. Эрүү жана тазалоо

(Тандалган вольфрам чийки заттар аралашмаларды жок кылуу жана каалаган тазалыкка жетүү үчүн контролдонуучу чөйрөдө эрийт.)

3. Зым тартуу

(Тазаланган вольфрам материалы талап кылынган зым диаметрине жана механикалык касиеттерге жетүү үчүн бир катар калыптар аркылуу тартылат же тартылат.)

4.Annealing

(Чизилген вольфрам зымы ички стрессти жок кылуу жана анын ийкемдүүлүгүн жана иштетүү натыйжалуулугун жакшыртуу үчүн жылтырылган)

5. Иондук имплантация процесси

Бул өзгөчө учурда, вольфрам жиптин өзү ион имплантациялоо процессине дуушар болушу мүмкүн, мында ион имплантациялоочу жиптин иштешин жогорулатуу үчүн анын касиеттерин өзгөртүү үчүн вольфрам жиптин бетине иондор сайылат.)

Тиркемелер

Жарым өткөргүч чиптерин өндүрүү процессинде ион имплантациялоочу машина чиптин схемасын маскадан кремний пластинкасына өткөрүп берүү жана максаттуу чип функциясына жетүү үчүн колдонулган негизги жабдуулардын бири болуп саналат. Бул процесс химиялык механикалык жылтыратуу, ичке пленка коюу, фотолитография, оюу жана ион имплантациялоо сыяктуу кадамдарды камтыйт, алардын арасында ион имплантациялоо кремний пластинкаларынын иштешин жакшыртуунун маанилүү каражаттарынын бири болуп саналат. Ион имплантациялоочу машиналарды колдонуу микросхемалардын иштешин жана ишенимдүүлүгүн жогорулатуу менен бирге чипти өндүрүүнүн убактысын жана баасын эффективдүү көзөмөлдөйт. .

Вольфрам жипти иондук имплантациялоо (3)

Сертификаттар

Күбөлөр

水印1
水印2

Жеткирүү диаграммасы

1
2
3
Вольфрам жипти иондук имплантациялоо (4)

КБС

Вольфрам зымы иондук имплантация учурунда булганып калабы?

Ооба, вольфрам жиптери ион имплантациялоо процессинде булганууга дуушар болушат. Булгануу ион имплантациялоо камерасында болгон калдык газдар, бөлүкчөлөр же аралашмалар сыяктуу ар кандай факторлордон улам пайда болушу мүмкүн. Бул булгоочу заттар вольфрам жипчесинин бетине жабышып, анын тазалыгына таасир этет жана ион имплантация процессинин натыйжалуулугуна таасир этиши мүмкүн. Ошондуктан, ион имплантациялоочу камеранын ичинде таза жана көзөмөлдөнгөн чөйрөнү сактоо булгануу коркунучун азайтуу жана вольфрам жипчесинин бүтүндүгүн камсыз кылуу үчүн абдан маанилүү. Үзгүлтүксүз тазалоо жана тейлөө процедуралары ион имплантациялоо учурунда булгануу мүмкүнчүлүгүн азайтууга жардам берет.

Вольфрам зымы иондук имплантация учурунда деформацияланабы?

Вольфрам зымы өзүнүн жогорку эрүү температурасы жана эң сонун механикалык касиеттери менен белгилүү, бул аны кадимки ион имплантациялоо шарттарында деформацияга туруктуу кылат. Бирок, жогорку энергиялуу иондук бомбалоо жана ион имплантациялоо учурунда пайда болгон жылуулук, айрыкча процесстин параметрлери кылдаттык менен көзөмөлдөнбөсө, убакыттын өтүшү менен бурмалоого алып келиши мүмкүн.

Иондук нурдун интенсивдүүлүгү жана узактыгы, вольфрам зымы башынан өткөргөн температура жана стресс деңгээли сыяктуу факторлордун бардыгы деформация потенциалына салым кошо алат. Кошумчалай кетсек, вольфрам зымындагы кандайдыр бир аралашмалар же кемчиликтер деформацияга ийкемдүүлүктү күчөтөт.

Деформация коркунучун азайтуу үчүн процесстин параметрлерин кылдаттык менен көзөмөлдөө жана контролдоо, вольфрам жипчесинин тазалыгын жана сапатын камсыз кылуу жана ион имплантациялоочу жабдууларды тейлөө жана текшерүүнүн тийиштүү протоколдору ишке ашырылышы керек. Вольфрам зымынын абалын жана иштешин үзгүлтүксүз баалоо бурмалоонун белгилерин аныктоого жана зарыл болгон учурда оңдоо чараларды көрүүгө жардам берет.


  • Мурунку:
  • Кийинки:

  • Бул жерге билдирүүңүздү жазып, бизге жөнөтүңүз