Жогорку тазалыктагы иондук имплантация вольфрам жип
Иондук имплантация вольфрам зымы ион имплантациялоочу машиналарда, негизинен жарым өткөргүч өндүрүш процесстеринде колдонулган негизги компонент болуп саналат. Вольфрам зымынын бул түрү жарым өткөргүч жабдууларда маанилүү ролду ойнойт жана анын сапаты жана өндүрүмдүүлүгү IC процессинин линияларынын натыйжалуулугуна түздөн-түз таасир этет. Ион имплантациялоочу машина VLSI (Өтө чоң масштабдуу интегралдык схема) өндүрүш процессиндеги негизги жабдуу жана ион булагы катары вольфрам зымынын ролун эске албай коюуга болбойт. |
| Өлчөмдөр | Сиздин чиймелериңиз катары |
| Келип чыккан жери | Лоян, Хэнань |
| Бренд аты | FGD |
| Колдонмо | жарым өткөргүч |
| Surface | Кара тери, щелочный жуугуч, унаа жылтылдаган, жылмаланган |
| Тазалык | 99,95% |
| Материал | W1 |
| тыгыздыгы | 19,3 г/см3 |
| Аткаруу стандарттары | GB/T 4181-2017 |
| Эрүү чекити | 3400℃ |
| Тазасыздыктын мазмуну | 0,005% |
| Негизги компоненттер | W＞99,95% |
| Таза эместиктин мазмуну≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0,01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0,008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Биздин фабрика Луоян шаарында, Хэнань провинциясында жайгашкан. Луоян - вольфрам жана молибден кендери үчүн өндүрүш аймагы, ошондуктан биз сапаты жана баасы боюнча абсолюттук артыкчылыктарга ээ;
2. Биздин компанияда 15 жылдан ашык тажрыйбасы бар техникалык персонал бар жана биз ар бир кардардын муктаждыктары үчүн максаттуу чечимдерди жана сунуштарды беребиз.
3. Биздин өнүмдөрдүн баары экспортко чейин катуу сапаты текшерүүдөн өтөт.
4. Эгерде сиз кемчиликтүү товар алсаңыз, акчаңызды кайтаруу үчүн биз менен байланыша аласыз.
1.Чийки затты тандоо
(Акыркы продуктунун тазалыгын жана механикалык касиеттерин камсыз кылуу үчүн жогорку сапаттагы вольфрам чийки затын тандаңыз. )
2. Эрүү жана тазалоо
(Тандалган вольфрам чийки заттар аралашмаларды жок кылуу жана каалаган тазалыкка жетүү үчүн контролдонуучу чөйрөдө эрийт.)
3. Зым тартуу
(Тазаланган вольфрам материалы талап кылынган зым диаметрине жана механикалык касиеттерге жетүү үчүн бир катар калыптар аркылуу тартылат же тартылат.)
4.Annealing
(Чизилген вольфрам зымы ички стрессти жок кылуу жана анын ийкемдүүлүгүн жана иштетүү натыйжалуулугун жакшыртуу үчүн жылтырылган)
5. Иондук имплантация процесси
Бул өзгөчө учурда, вольфрам жиптин өзү ион имплантациялоо процессине дуушар болушу мүмкүн, мында ион имплантациялоочу жиптин иштешин жогорулатуу үчүн анын касиеттерин өзгөртүү үчүн вольфрам жиптин бетине иондор сайылат.)
Жарым өткөргүч чиптерин өндүрүү процессинде ион имплантациялоочу машина чиптин схемасын маскадан кремний пластинкасына өткөрүп берүү жана максаттуу чип функциясына жетүү үчүн колдонулган негизги жабдуулардын бири болуп саналат. Бул процесс химиялык механикалык жылтыратуу, ичке пленка коюу, фотолитография, оюу жана ион имплантациялоо сыяктуу кадамдарды камтыйт, алардын арасында ион имплантациялоо кремний пластинкаларынын иштешин жакшыртуунун маанилүү каражаттарынын бири болуп саналат. Ион имплантациялоочу машиналарды колдонуу микросхемалардын иштешин жана ишенимдүүлүгүн жогорулатуу менен бирге чипти өндүрүүнүн убактысын жана баасын эффективдүү көзөмөлдөйт. |
Ооба, вольфрам жиптери ион имплантациялоо процессинде булганууга дуушар болушат. Булгануу ион имплантациялоо камерасында болгон калдык газдар, бөлүкчөлөр же аралашмалар сыяктуу ар кандай факторлордон улам пайда болушу мүмкүн. Бул булгоочу заттар вольфрам жипчесинин бетине жабышып, анын тазалыгына таасир этет жана ион имплантация процессинин натыйжалуулугуна таасир этиши мүмкүн. Ошондуктан, ион имплантациялоочу камеранын ичинде таза жана көзөмөлдөнгөн чөйрөнү сактоо булгануу коркунучун азайтуу жана вольфрам жипчесинин бүтүндүгүн камсыз кылуу үчүн абдан маанилүү. Үзгүлтүксүз тазалоо жана тейлөө процедуралары ион имплантациялоо учурунда булгануу мүмкүнчүлүгүн азайтууга жардам берет.
Вольфрам зымы өзүнүн жогорку эрүү температурасы жана эң сонун механикалык касиеттери менен белгилүү, бул аны кадимки ион имплантациялоо шарттарында деформацияга туруктуу кылат. Бирок, жогорку энергиялуу иондук бомбалоо жана ион имплантациялоо учурунда пайда болгон жылуулук, айрыкча процесстин параметрлери кылдаттык менен көзөмөлдөнбөсө, убакыттын өтүшү менен бурмалоого алып келиши мүмкүн.
Иондук нурдун интенсивдүүлүгү жана узактыгы, вольфрам зымы башынан өткөргөн температура жана стресс деңгээли сыяктуу факторлордун бардыгы деформация потенциалына салым кошо алат. Кошумчалай кетсек, вольфрам зымындагы кандайдыр бир аралашмалар же кемчиликтер деформацияга кабылгандыкты күчөтөт.
Деформация коркунучун азайтуу үчүн процесстин параметрлерин кылдаттык менен көзөмөлдөө жана контролдоо, вольфрам жипчесинин тазалыгын жана сапатын камсыз кылуу жана ион имплантациялоочу жабдууларды тейлөө жана текшерүүнүн тийиштүү протоколдору ишке ашырылышы керек. Вольфрам зымынын абалын жана иштешин үзгүлтүксүз баалоо бурмалоонун белгилерин аныктоого жана зарыл болгон учурда оңдоо чараларды көрүүгө жардам берет.
