고순도 이온주입 텅스텐 필라멘트
이온 주입 텅스텐 와이어는 주로 반도체 제조 공정에서 이온 주입 기계에 사용되는 핵심 부품입니다. 이러한 유형의 텅스텐 와이어는 반도체 장비에서 중요한 역할을 하며 품질과 성능은 IC 공정 라인의 효율성에 직접적인 영향을 미칩니다. 이온 주입기는 VLSI(Very Large Scale Integrated Circuit) 제조 공정의 핵심 장비로, 이온 소스로서 텅스텐 와이어의 역할을 무시할 수 없습니다.
| 치수 | 당신의 그림으로 |
| 원산지 | 뤄양, 허난 |
| 브랜드 이름 | FGD |
| 애플리케이션 | 반도체 |
| 표면 | 블랙스킨,알칼리워시,카샤인,광택 |
| 청정 | 99.95% |
| 재료 | W1 |
| 밀도 | 19.3g/cm3 |
| 실행기준 | GB/T 4181-2017 |
| 녹는점 | 3400℃ |
| 불순물 함량 | 0.005% |
| 주요 구성품 | W>99.95% |
| 불순물 함량 ≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. 저희 공장은 허난성 낙양시에 위치하고 있습니다. 낙양은 텅스텐, 몰리브덴 광산의 생산지이므로 품질과 가격면에서 절대우위를 갖고 있습니다.
2. 우리 회사는 15년 이상의 경험을 가진 기술 인력을 보유하고 있으며 각 고객의 요구에 맞는 솔루션과 제안을 제공합니다.
3. 당사의 모든 제품은 수출되기 전에 엄격한 품질 검사를 거칩니다.
4. 결함이 있는 상품을 받은 경우 당사에 연락하여 환불을 요청할 수 있습니다.
1.원료 선택
(최종 제품의 순도와 기계적 특성을 보장하려면 고품질 텅스텐 원료를 선택하십시오. )
2. 용해 및 정제
(선택된 텅스텐 원료를 통제된 환경에서 녹여 불순물을 제거하고 원하는 순도를 달성합니다.)
3. 와이어 드로잉
(정제된 텅스텐 재료는 일련의 다이를 통해 압출되거나 인발되어 필요한 와이어 직경과 기계적 특성을 얻습니다.)
4.어닐링
(인발된 텅스텐 와이어를 어닐링하여 내부 응력을 제거하고 연성과 가공 성능을 향상시킵니다.)
5. 이온 주입 과정
이 특별한 경우에는 텅스텐 필라멘트 자체가 이온 주입 공정을 거칠 수 있는데, 이 공정에서는 텅스텐 필라멘트의 표면에 이온을 주입하여 그 특성을 변화시켜 이온 주입기의 성능을 향상시키는 것입니다.)
반도체 칩 생산 공정에서 이온 주입기는 칩 회로도를 마스크에서 실리콘 웨이퍼로 전송하고 목표 칩 기능을 달성하는 데 사용되는 핵심 장비 중 하나입니다. 이 공정에는 화학적 기계적 연마, 박막 증착, 포토리소그래피, 에칭, 이온 주입 등의 단계가 포함되며, 그 중 이온 주입은 실리콘 웨이퍼의 성능을 향상시키는 중요한 수단 중 하나입니다. 이온 주입 기계를 적용하면 칩 생산 시간과 비용을 효과적으로 제어하는 동시에 칩의 성능과 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다.
예, 텅스텐 필라멘트는 이온 주입 과정에서 오염되기 쉽습니다. 이온 주입 챔버에 존재하는 잔류 가스, 입자 또는 불순물과 같은 다양한 요인으로 인해 오염이 발생할 수 있습니다. 이러한 오염 물질은 텅스텐 필라멘트의 표면에 부착되어 순도에 영향을 미치고 잠재적으로 이온 주입 공정의 성능에 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 이온 주입 챔버 내에서 깨끗하고 통제된 환경을 유지하는 것은 오염 위험을 최소화하고 텅스텐 필라멘트의 무결성을 보장하는 데 중요합니다. 정기적인 청소 및 유지 관리 절차도 이온 주입 중 오염 가능성을 완화하는 데 도움이 될 수 있습니다.
텅스텐 와이어는 높은 융점과 우수한 기계적 특성으로 알려져 있어 정상적인 이온 주입 조건에서 변형에 강합니다. 그러나 고에너지 이온 충격 및 이온 주입 중에 발생하는 열은 시간이 지남에 따라 왜곡을 일으킬 수 있으며, 특히 공정 매개변수를 주의 깊게 제어하지 않는 경우 더욱 그렇습니다.
이온 빔의 강도와 지속 시간, 텅스텐 와이어가 경험하는 온도 및 응력 수준과 같은 요소는 모두 변형 가능성에 영향을 줄 수 있습니다. 또한 텅스텐 와이어의 불순물이나 결함은 변형에 대한 민감성을 악화시킵니다.
변형 위험을 줄이려면 공정 매개변수를 주의 깊게 모니터링하고 제어해야 하며, 텅스텐 필라멘트의 순도와 품질을 보장해야 하며, 이온 주입 장비에 대해 적절한 유지 관리 및 검사 프로토콜을 구현해야 합니다. 텅스텐 와이어의 상태와 성능을 정기적으로 평가하면 왜곡 징후를 식별하고 필요에 따라 시정 조치를 취하는 데 도움이 될 수 있습니다.
