ಸ್ಪಟ್ಟರ್ ಗುರಿಗಳುಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲೆ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಬಳಸುವ ವಸ್ತುಗಳು.ಗುರಿಯ ವಸ್ತುವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಅಯಾನುಗಳಿಂದ ಸ್ಫೋಟಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಪರಮಾಣುಗಳು ಗುರಿ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಹೊರಹಾಕಲ್ಪಡುತ್ತವೆ.ಈ ಸಿಂಪಡಿಸಿದ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ನಂತರ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳು, ಸೌರ ಕೋಶಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಲೋಹಗಳು, ಮಿಶ್ರಲೋಹಗಳು ಅಥವಾ ಸಂಯುಕ್ತಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಚಿತ್ರದ ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹಲವಾರು ನಿಯತಾಂಕಗಳಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:

1. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪವರ್: ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ಶಕ್ತಿಯ ಪ್ರಮಾಣವು ಚೆಲ್ಲುವ ಅಯಾನುಗಳ ಶಕ್ತಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ದರದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

2. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಪ್ರೆಶರ್: ಚೇಂಬರ್‌ನಲ್ಲಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗ್ಯಾಸ್‌ನ ಒತ್ತಡವು ಚೆಲ್ಲುವ ಅಯಾನುಗಳ ಆವೇಗ ವರ್ಗಾವಣೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ದರ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

3. ಗುರಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು: ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯ ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಅದರ ಸಂಯೋಜನೆ, ಗಡಸುತನ, ಕರಗುವ ಬಿಂದು, ಇತ್ಯಾದಿ, ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಚಿತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.

4. ಗುರಿ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂತರ: ಚುಚ್ಚುವ ಗುರಿ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂತರವು ಚೆಲ್ಲುವ ಪರಮಾಣುಗಳ ಪಥ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಚಿತ್ರದ ಶೇಖರಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

5. ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ: ಗುರಿ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ದರ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ದಕ್ಷತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಈ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಠೇವಣಿ ದರಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು.