ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಯಾನ್ ಅಳವಡಿಕೆ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಫಿಲಮೆಂಟ್
ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯು ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಈ ರೀತಿಯ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಅದರ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ನೇರವಾಗಿ IC ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ರೇಖೆಗಳ ದಕ್ಷತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಯಂತ್ರವು VLSI (ಬಹಳ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್) ಯ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಮೂಲವಾಗಿ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯ ಪಾತ್ರವನ್ನು ನಿರ್ಲಕ್ಷಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ,
ಆಯಾಮಗಳು | ನಿಮ್ಮ ರೇಖಾಚಿತ್ರಗಳಂತೆ |
ಮೂಲದ ಸ್ಥಳ | ಲುವೊಯಾಂಗ್, ಹೆನಾನ್ |
ಬ್ರಾಂಡ್ ಹೆಸರು | FGD |
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ | ಅರೆವಾಹಕ |
ಮೇಲ್ಮೈ | ಕಪ್ಪು ಚರ್ಮ, ಕ್ಷಾರ ತೊಳೆಯುವುದು, ಕಾರು ಹೊಳಪು, ಹೊಳಪು |
ಶುದ್ಧತೆ | 99.95% |
ವಸ್ತು | W1 |
ಸಾಂದ್ರತೆ | 19.3g/cm3 |
ಮರಣದಂಡನೆ ಮಾನದಂಡಗಳು | GB/T 4181-2017 |
ಕರಗುವ ಬಿಂದು | 3400℃ |
ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಷಯ | 0.005% |
ಮುಖ್ಯ ಘಟಕಗಳು | W "99.95% |
ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಿಷಯ≤ | |
Pb | 0.0005 |
Fe | 0.0020 |
S | 0.0050 |
P | 0.0005 |
C | 0.01 |
Cr | 0.0010 |
Al | 0.0015 |
Cu | 0.0015 |
K | 0.0080 |
N | 0.003 |
Sn | 0.0015 |
Si | 0.0020 |
Ca | 0.0015 |
Na | 0.0020 |
O | 0.008 |
Ti | 0.0010 |
Mg | 0.0010 |
1. ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆಯು ಹೆನಾನ್ ಪ್ರಾಂತ್ಯದ ಲುವೊಯಾಂಗ್ ನಗರದಲ್ಲಿದೆ. ಲುವೊಯಾಂಗ್ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಮತ್ತು ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ಗಣಿಗಳಿಗೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರದೇಶವಾಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ನಾವು ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಬೆಲೆಯಲ್ಲಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದೇವೆ;
2. ನಮ್ಮ ಕಂಪನಿಯು 15 ವರ್ಷಗಳ ಅನುಭವದೊಂದಿಗೆ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸಿಬ್ಬಂದಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ನಾವು ಪ್ರತಿ ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗಾಗಿ ಉದ್ದೇಶಿತ ಪರಿಹಾರಗಳು ಮತ್ತು ಸಲಹೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತೇವೆ.
3. ರಫ್ತು ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ನಮ್ಮ ಎಲ್ಲಾ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ತಪಾಸಣೆಗೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ.
4. ನೀವು ದೋಷಯುಕ್ತ ಸರಕುಗಳನ್ನು ಸ್ವೀಕರಿಸಿದರೆ, ಮರುಪಾವತಿಗಾಗಿ ನೀವು ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಬಹುದು.
1.ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳ ಆಯ್ಕೆ
(ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿ.)
2. ಕರಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧೀಕರಣ
(ಆಯ್ದ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಕರಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.)
3. ವೈರ್ ಡ್ರಾಯಿಂಗ್
(ಅಗತ್ಯವಾದ ತಂತಿಯ ವ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಿದ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ಡೈಸ್ಗಳ ಸರಣಿಯ ಮೂಲಕ ಎಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.)
4.ಅನೆಲಿಂಗ್
(ಎಳೆದ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯನ್ನು ಆಂತರಿಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅದರ ಡಕ್ಟಿಲಿಟಿ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಅನೆಲ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ)
5. ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ
ಈ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಂದರ್ಭದಲ್ಲಿ, ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತು ಸ್ವತಃ ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಒಳಗಾಗಬಹುದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಫಿಲಮೆಂಟ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಚುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಇಂಪ್ಲಾಂಟರ್ನಲ್ಲಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅದರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.)
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಚಿಪ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರವನ್ನು ಮುಖವಾಡದಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಮತ್ತು ಗುರಿ ಚಿಪ್ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಬಳಸುವ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಯಂತ್ರವು ಒಂದಾಗಿದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ರಾಸಾಯನಿಕ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್, ಥಿನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಡಿಪಾಸಿಷನ್, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ಎಚ್ಚಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ನಂತಹ ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಇವುಗಳಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ ಪ್ರಮುಖ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಯಂತ್ರಗಳ ಅನ್ವಯವು ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಸಮಯ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಚಿಪ್ಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. ,
ಹೌದು, ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತುಗಳು ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ. ಉಳಿಕೆ ಅನಿಲಗಳು, ಕಣಗಳು ಅಥವಾ ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಚೇಂಬರ್ನಲ್ಲಿರುವ ಕಲ್ಮಶಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಅಂಶಗಳಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯವು ಸಂಭವಿಸಬಹುದು. ಈ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಫಿಲಾಮೆಂಟ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಅದರ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸಮರ್ಥವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಫಿಲಾಮೆಂಟ್ನ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಚೇಂಬರ್ನೊಳಗೆ ಸ್ವಚ್ಛ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸರವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ನಿಯಮಿತ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳು ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಂಭಾವ್ಯತೆಯನ್ನು ತಗ್ಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯು ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗುವ ಬಿಂದು ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಸುವಿಕೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖವು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸದಿದ್ದರೆ.
ಅಯಾನು ಕಿರಣದ ತೀವ್ರತೆ ಮತ್ತು ಅವಧಿ ಮತ್ತು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯಿಂದ ಅನುಭವಿಸುವ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡದ ಮಟ್ಟಗಳಂತಹ ಅಂಶಗಳು ವಿರೂಪತೆಯ ಸಂಭಾವ್ಯತೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯಲ್ಲಿನ ಯಾವುದೇ ಕಲ್ಮಶಗಳು ಅಥವಾ ದೋಷಗಳು ವಿರೂಪಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಉಲ್ಬಣಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ.
ವಿರೂಪತೆಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಬೇಕು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು, ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಫಿಲಾಮೆಂಟ್ನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮತ್ತು ತಪಾಸಣೆ ಪ್ರೋಟೋಕಾಲ್ಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಬೇಕು. ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ತಂತಿಯ ಸ್ಥಿತಿ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ನಿರ್ಣಯಿಸುವುದು ಅಸ್ಪಷ್ಟತೆಯ ಯಾವುದೇ ಚಿಹ್ನೆಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸಲು ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿರುವಂತೆ ಸರಿಪಡಿಸುವ ಕ್ರಮಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.