វិធីសាស្រ្តនៃការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) នៃពេជ្រពាក់ព័ន្ធនឹងការប្រើប្រាស់ដំណើរការគីមីដើម្បីសំយោគខ្សែភាពយន្តពេជ្រ ឬថ្នាំកូតនៅក្នុងបរិយាកាសដែលបានគ្រប់គ្រង។ នៅក្នុងវិធីនេះ ល្បាយឧស្ម័ន ដែលជាធម្មតាមានផ្ទុកឧស្ម័នអ៊ីដ្រូកាបូន ដូចជា មេតាន ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្ម រួមជាមួយនឹងសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម ដូចជា ម៉ូលីបដិនម វ៉ាហ្វឺរ ឬ វ៉េហ្វ័រពេជ្រ។ បន្ទាប់មក ឧស្ម័នត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មដោយមធ្យោបាយផ្សេងៗ ដូចជាកំដៅ ឬប្លាស្មា ដើម្បីបំបែកម៉ូលេគុលអ៊ីដ្រូកាបូន និងដាក់អាតូមកាបូនទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលបណ្តាលឱ្យមានការរីកលូតលាស់នៃគ្រីស្តាល់ពេជ្រ។

ដំណើរការ CVD នៃពេជ្រផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិជាច្រើនរួមទាំងសមត្ថភាពក្នុងការផលិតថ្នាំកូតពេជ្រដែលមានគុណភាពខ្ពស់ជាមួយនឹងការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃកម្រាស់ ឯកសណ្ឋាន និងសមាសភាព។ វាក៏អនុញ្ញាតឱ្យដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រនៅលើសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមជាច្រើន ដែលអនុញ្ញាតឱ្យបង្កើតផ្នែកដែលស្រោបដោយពេជ្រសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្ម និងការស្រាវជ្រាវផ្សេងៗ។

សរុបមក វិធីសាស្ត្រ CVD នៃពេជ្រ គឺជាបច្ចេកទេសដ៏សម្បូរបែប និងត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ផលិតខ្សែភាពយន្តពេជ្រសំយោគ និងថ្នាំកូតជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទាល់ខ្លួន ដែលធ្វើឱ្យពួកវាមានតម្លៃនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដូចជាអេឡិចត្រូនិក ឧបករណ៍កាត់ និងថ្នាំកូតដែលធន់នឹងការពាក់។