ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង tungsten filament

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គឺជាសរសៃអំបោះដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ផ្សាំអ៊ីយ៉ុង។ វាត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌដ៏អាក្រក់នៃដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ដែលអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានពន្លឿន និងចាក់ចូលទៅក្នុងសម្ភារៈគោលដៅ។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ការពិពណ៌នាអំពីផលិតផល

ខ្សែ tungsten implantation អ៊ីយ៉ុង គឺជាធាតុផ្សំសំខាន់ដែលប្រើក្នុងម៉ាស៊ីន implantation ion ជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ។ ប្រភេទនៃខ្សែ tungsten នេះដើរតួយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងឧបករណ៍ semiconductor ហើយគុណភាព និងដំណើរការរបស់វាប៉ះពាល់ដល់ប្រសិទ្ធភាពនៃដំណើរការ IC ដោយផ្ទាល់។ ម៉ាស៊ីនផ្សាំអ៊ីយ៉ុងគឺជាឧបករណ៍សំខាន់នៅក្នុងដំណើរការផលិតនៃ VLSI (សៀគ្វីរួមបញ្ចូលខ្នាតធំខ្លាំងណាស់) ហើយតួនាទីរបស់ខ្សែ tungsten ដែលជាប្រភពអ៊ីយ៉ុងមិនអាចត្រូវបានគេអើពើឡើយ។ ប

លក្ខណៈបច្ចេកទេសផលិតផល

វិមាត្រ ជាគំនូររបស់អ្នក។
ទីកន្លែងដើម Luoyang, Henan
ឈ្មោះម៉ាក FGD
ការដាក់ពាក្យ សារធាតុ semiconductor
ផ្ទៃ ស្បែកខ្មៅ, អាល់កាឡាំង, លាងរថយន្ត, ប៉ូលា
ភាពបរិសុទ្ធ 99.95%
សម្ភារៈ W1
ដង់ស៊ីតេ 19.3 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3
ស្តង់ដារប្រតិបត្តិ GB/T 4181-2017
ចំណុចរលាយ 3400 ℃
មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ 0.005%
ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងនៃសរសៃ tungsten

សមាសធាតុគីមី

សមាសធាតុសំខាន់ៗ

W>99.95%

មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ≤

Pb

0.0005

Fe

0.0020

S

0.0050

P

0.0005

C

0.01

Cr

0.0010

Al

0.0015

Cu

0.0015

K

0.0080

N

0.003

Sn

0.0015

Si

0.0020

Ca

0.0015

Na

0.0020

O

0.008

Ti

0.0010

Mg

0.0010

អត្រាហួតនៃលោហធាតុ Refractory

សម្ពាធចំហាយនៃលោហៈធាតុចំណាំងផ្លាត

ហេតុអ្វីជ្រើសរើសយើង

1. រោងចក្ររបស់យើងមានទីតាំងនៅទីក្រុង Luoyang ខេត្ត Henan ។ Luoyang គឺជាតំបន់ផលិតសម្រាប់អណ្តូងរ៉ែ tungsten និង molybdenum ដូច្នេះយើងមានគុណសម្បត្តិទាំងស្រុងក្នុងគុណភាព និងតម្លៃ។

2. ក្រុមហ៊ុនរបស់យើងមានបុគ្គលិកបច្ចេកទេសដែលមានបទពិសោធន៍ជាង 15 ឆ្នាំ ហើយយើងផ្តល់នូវដំណោះស្រាយគោលដៅ និងការផ្តល់យោបល់សម្រាប់តម្រូវការរបស់អតិថិជននីមួយៗ។

3. ផលិតផលទាំងអស់របស់យើងឆ្លងកាត់ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពយ៉ាងតឹងរឹងមុនពេលនាំចេញ។

4. ប្រសិនបើអ្នកទទួលបានទំនិញដែលមានបញ្ហា អ្នកអាចទាក់ទងមកយើងសម្រាប់ការសងប្រាក់វិញ។

ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងនៃសរសៃតង់ស្តែន (២)

លំហូរផលិតកម្ម

1. ការជ្រើសរើសវត្ថុធាតុដើម

(ជ្រើសរើសវត្ថុធាតុដើម tungsten ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចនៃផលិតផលចុងក្រោយ។ )

2. ការរលាយនិងការបន្សុត

(វត្ថុធាតុដើម tungsten ដែលបានជ្រើសរើសត្រូវបានរលាយក្នុងបរិយាកាសគ្រប់គ្រងដើម្បីលុបភាពមិនបរិសុទ្ធ និងសម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធដែលចង់បាន។ )

3. គំនូរខ្សែ

(សម្ភារៈ tungsten បន្សុតត្រូវបាន extruded ឬគូរតាមរយៈស៊េរីនៃការស្លាប់ដើម្បីសម្រេចបាននូវអង្កត់ផ្ចិតលួសដែលត្រូវការនិងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច។ )

4. Annealing

(ខ្សែ tungsten ដែលត្រូវបានទាញត្រូវបាន annealed ដើម្បីលុបបំបាត់ភាពតានតឹងខាងក្នុងនិងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវ ductility និងដំណើរការដំណើរការរបស់វា ​)

5. ដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង

ក្នុងករណីពិសេសនេះ សរសៃតង់ស្តែនខ្លួនឯងអាចឆ្លងកាត់ដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ដែលក្នុងនោះអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានចាក់ចូលទៅក្នុងផ្ទៃនៃសរសៃតង់ស្តែន ដើម្បីផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់វា ដើម្បីបង្កើនដំណើរការនៅក្នុងឧបករណ៍ដាំអ៊ីយ៉ុង។ )

កម្មវិធី

នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប semiconductor ម៉ាស៊ីនផ្សាំអ៊ីយ៉ុងគឺជាឧបករណ៍សំខាន់មួយដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីផ្ទេរដ្យាក្រាមសៀគ្វីបន្ទះឈីបពីម៉ាសទៅស៊ីលីកុន wafer និងសម្រេចបាននូវមុខងារបន្ទះឈីបគោលដៅ។ ដំណើរការនេះរួមមានជំហានដូចជាការប៉ូលាមេកានិកគីមី ការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ការថតរូបភាព ការផ្សាំ និងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ដែលក្នុងនោះការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងគឺជាមធ្យោបាយសំខាន់មួយដើម្បីកែលម្អដំណើរការនៃស៊ីលីកុន wafers ។ ការអនុវត្តម៉ាស៊ីនផ្សាំអ៊ីយ៉ុងមានប្រសិទ្ធភាពគ្រប់គ្រងពេលវេលា និងថ្លៃដើមនៃការផលិតបន្ទះឈីប ខណៈពេលដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការ និងភាពជឿជាក់នៃបន្ទះសៀគ្វី។ ប

ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងនៃសរសៃ tungsten (3)

វិញ្ញាបនបត្រ

ទីបន្ទាល់

水印 ១
水印 ២

ដ្យាក្រាមដឹកជញ្ជូន

១
២
៣
ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងនៃសរសៃ tungsten (4)

សំណួរគេសួរញឹកញាប់

តើខ្សែ tungsten នឹងមានភាពកខ្វក់ក្នុងអំឡុងពេលដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងដែរឬទេ?

បាទ/ចាស៎ សរសៃ tungsten ងាយនឹងឆ្លងមេរោគក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង។ ការចម្លងរោគអាចកើតឡើងដោយសារកត្តាជាច្រើនដូចជា ឧស្ម័នសំណល់ ភាគល្អិត ឬភាពមិនបរិសុទ្ធដែលមានវត្តមាននៅក្នុងបន្ទប់ដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង។ សារធាតុកខ្វក់ទាំងនេះអាចជាប់នឹងផ្ទៃនៃសរសៃ tungsten ដែលប៉ះពាល់ដល់ភាពបរិសុទ្ធរបស់វា និងអាចប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការនៃដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង។ ដូច្នេះ ការរក្សាបាននូវបរិស្ថានស្អាត និងគ្រប់គ្រងនៅក្នុងបន្ទប់ដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការចម្លងរោគ និងធានានូវភាពសុចរិតនៃសរសៃតង់ស្តែន។ នីតិវិធីសម្អាត និងថែទាំជាទៀងទាត់ក៏អាចជួយកាត់បន្ថយសក្តានុពលនៃការចម្លងរោគក្នុងអំឡុងពេលដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងផងដែរ។

តើខ្សែ tungsten នឹងខូចកំឡុងពេលបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងដែរឬទេ?

ខ្សែ Tungsten ត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់ចំណុចរលាយខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលធ្វើឱ្យវាមានភាពធន់នឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងធម្មតា។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ កំដៅដែលបានបង្កើតកំឡុងពេលទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ និងការបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងអាចបណ្តាលឱ្យមានការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយតាមពេលវេលា ជាពិសេសប្រសិនបើប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការមិនត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ន។

កត្តាដូចជាអាំងតង់ស៊ីតេ និងរយៈពេលនៃធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងសីតុណ្ហភាព និងកម្រិតស្ត្រេសដែលឆ្លងកាត់ដោយខ្សែ tungsten ទាំងអស់អាចរួមចំណែកដល់សក្តានុពលសម្រាប់ការខូចទ្រង់ទ្រាយ។ លើសពីនេះ ភាពមិនបរិសុទ្ធ ឬពិការភាពនៅក្នុងខ្សែ tungsten នឹងធ្វើឱ្យកាន់តែងាយនឹងខូចទ្រង់ទ្រាយ។

ដើម្បីកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចទ្រង់ទ្រាយ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការត្រូវតែត្រួតពិនិត្យ និងគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ន ភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពនៃសរសៃតង់ស្តែនត្រូវតែត្រូវបានធានា ហើយពិធីការការថែទាំ និងការត្រួតពិនិត្យសមស្របត្រូវតែអនុវត្តសម្រាប់ឧបករណ៍ដាំអ៊ីយ៉ុង។ ការវាយតម្លៃជាទៀងទាត់នូវស្ថានភាព និងដំណើរការនៃខ្សែ tungsten អាចជួយកំណត់សញ្ញាណាមួយនៃការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយ និងចាត់វិធានការកែតម្រូវតាមតម្រូវការ។


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង