Қатты материалға қатты ауаның иондық сәулесі, қатты материалдың атомдарына немесе молекулаларына иондық сәуленің қатты материал бетіне өтуі бар, бұл құбылыс иондық сәуленің шашырауы деп аталады; ал қатты материал, қатты материалдың беті кері серпілгенде немесе қатты материалдан осы құбылыстарға шашырау деп аталады; тағы бір құбылыс, қатты материал арқылы иондар сәулесі қатты материалға өтіп, кедергіні баяу төмендетеді және ақырында қатты материалдарда қалады, бұл құбылыс иондық имплантация деп аталады.
Ионды имплантациялау техникасы:
Соңғы 30 жылда әлемде тез дамып, кеңінен қолданылған материалдың бетін өзгерту технологиясының бір түрі. Негізгі принцип - ион сәулесінің энергиясын 100кВ материалдан иондық сәулеге дейін пайдалану және атомдар немесе молекулалардың материалдары физикалық және химиялық өзара әрекеттесу сериясы болады, түскен ион энергиясының жоғалуы біртіндеп, соңғы аялдама материал, және материалдың бетінің құрамының құрылымы мен қасиеттерін, өзгеруін тудырады. Материалдардың беттік қасиеттерін оңтайландыру немесе кейбір жаңа қасиеттерді алу үшін. Жаңа технология өзінің бірегей артықшылықтарының арқасында жартылай өткізгіш материалда, металда, керамикада, полимерде болды, бетті модификациялау кеңінен қолданылады, үлкен экономикалық және әлеуметтік пайдаға қол жеткізді.
Микроэлектрондық технологиядағы маңызды допингтік технология ретінде иондық имплантация материалдардың беттік қасиеттерін оңтайландыруда шешуші рөл атқарады. Ионды имплантациялау технологиясы өте жоғары температуралық өнімділік және материалдың химиялық коррозияға төзімділігі. Сондықтан иондаушы камераның негізгі бөліктері вольфрам, молибден немесе графит материалдарынан жасалған. Вольфрам молибден материалын иондық имплантациялау арқылы салалық зерттеулер мен өндірістің Gemei жылдарында, өндіріс процесі тұрақты және бай тәжірибеге ие.
Иондық имплантацияға арналған ыстық өнімдер
