Sputter targetyaiku bahan sing digunakake kanggo nyimpen film tipis ing substrat sajrone proses deposisi uap fisik (PVD).Materi target dibombardir karo ion berenergi dhuwur, nyebabake atom diusir saka permukaan target.Atom-atom sing disemprotake iki banjur disimpen ing substrat, mbentuk film tipis.Target sputtering umume digunakake ing produksi semikonduktor, sel surya lan piranti elektronik liyane.Biasane digawe saka logam, wesi utawa senyawa sing dipilih adhedhasar sifat sing dikarepake saka film sing disimpen.

Proses sputtering kena pengaruh sawetara paramèter, kalebu:

1. Daya sputtering: Jumlah daya Applied sak proses sputtering bakal mengaruhi energi saka ion sputtered, mangkono mengaruhi tingkat sputtering.

2. Tekanan gas sputtering: Tekanan gas sputtering ing kamar mengaruhi transfer momentum ion sputtered, mangkono mengaruhi tingkat sputtering lan kinerja film.

3. Sifat target: Sifat fisik lan kimia saka target sputtering, kayata komposisi, atose, titik leleh, lan liya-liyane, bisa mengaruhi proses sputtering lan kinerja film sing disimpen.

4. Jarak antarane target lan landasan: Jarak antarane target sputtering lan landasan bakal mengaruhi lintasan lan energi saka atom sputtered, mangkono mengaruhi tingkat Deposition lan uniformity saka film.

5. Kapadhetan daya: Kapadhetan daya sing ditrapake ing permukaan target mengaruhi tingkat sputtering lan efisiensi proses sputtering.

Kanthi ngontrol lan ngoptimalake paramèter kasebut kanthi teliti, proses sputtering bisa dicocogake kanggo entuk sifat film lan tingkat deposisi sing dikarepake.