Filamen tungsten implantasi Ion kemurnian dhuwur
Kawat tungsten implantasi ion minangka komponen utama sing digunakake ing mesin implantasi ion, utamane ing proses manufaktur semikonduktor. Kabel tungsten jinis iki nduweni peran penting ing peralatan semikonduktor, lan kualitas lan kinerja langsung mengaruhi efisiensi garis proses IC. Mesin implantasi ion minangka peralatan utama ing proses manufaktur VLSI (Sirkuit Terpadu Skala Sangat Gedhe), lan peran kawat tungsten minangka sumber ion ora bisa diabaikan. |
| ukuran | Minangka gambar sampeyan |
| Panggonan Asal | Luoyang, Henan |
| Jeneng merek | FGD |
| Aplikasi | semikonduktor |
| lumahing | Kulit ireng, cuci alkali, kilap mobil, polesan |
| Kemurnian | 99,95% |
| Bahan | W1 |
| Kapadhetan | 19,3 g/cm3 |
| Standar eksekusi | GB / T 4181-2017 |
| Titik lebur | 3400 ℃ |
| Isi najis | 0,005% |
| Komponen utama | W＞99,95% |
| Isi pengotor≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Pabrik kita dumunung ing Kutha Luoyang, Provinsi Henan. Luoyang minangka wilayah produksi kanggo tambang tungsten lan molybdenum, saengga kita duwe kaluwihan mutlak ing kualitas lan rega;
2. Perusahaan kita duwe personel teknis kanthi pengalaman luwih saka 15 taun, lan kita nyedhiyakake solusi lan saran sing ditargetake kanggo kabutuhan saben pelanggan.
3. Kabeh produk kita ngalami pemeriksaan kualitas sing ketat sadurunge diekspor.
4. Yen sampeyan nampa barang risak, sampeyan bisa hubungi kita kanggo mbalekaken.
1. Pemilihan bahan baku
(Pilih bahan mentah tungsten berkualitas tinggi kanggo mesthekake kemurnian lan sifat mekanik produk pungkasan. )
2. Lebur lan Purifikasi
(Bahan mentahan tungsten sing dipilih dilebur ing lingkungan sing dikontrol kanggo mbusak impurities lan entuk kemurnian sing dikarepake.)
3. Wire drawing
(Material tungsten diresiki extruded utawa digambar liwat seri mati kanggo entuk diameteripun kabel dibutuhake lan sifat mechanical.)
4. Anil
(Kabel tungsten sing digambar disambungake kanggo ngilangi stres internal lan nambah daktilitas lan kinerja pangolahan)
5. Proses Implantasi Ion
Ing kasus khusus iki, filamen tungsten dhewe bisa ngalami proses implantasi ion, ing ngendi ion disuntikake menyang permukaan filamen tungsten kanggo ngganti sifate kanggo ningkatake kinerja ing implanter ion.)
Ing proses produksi chip semikonduktor, mesin implantasi ion minangka salah sawijining peralatan utama sing digunakake kanggo nransfer diagram sirkuit chip saka topeng menyang wafer silikon lan entuk fungsi target chip. Proses iki kalebu langkah-langkah kayata polishing mekanik kimia, deposisi film tipis, fotolitografi, etsa, lan implantasi ion, ing antarane implantasi ion minangka salah sawijining cara penting kanggo ningkatake kinerja wafer silikon. Aplikasi mesin implantasi ion kanthi efektif ngontrol wektu lan biaya produksi chip, nalika nambah kinerja lan linuwih Kripik. |
Ya, filamen tungsten rentan kanggo kontaminasi sajrone proses implantasi ion. Kontaminasi bisa kedadeyan amarga macem-macem faktor, kayata sisa gas, partikel, utawa impurities sing ana ing kamar implantasi ion. Kontaminasi kasebut bisa nempel ing permukaan filamen tungsten, mengaruhi kemurnian lan duweni potensi mengaruhi kinerja proses implantasi ion. Mulane, njaga lingkungan sing resik lan dikontrol ing ruang implantasi ion penting kanggo nyuda resiko kontaminasi lan njamin integritas filamen tungsten. Prosedur reresik lan pangopènan reguler uga bisa mbantu nyuda potensial kontaminasi sajrone implantasi ion.
Kawat tungsten dikenal kanthi titik leleh sing dhuwur lan sifat mekanik sing apik, sing nggawe tahan kanggo deformasi ing kahanan implantasi ion normal. Nanging, panas sing diasilake sajrone bombardment ion energi dhuwur lan implantasi ion bisa nyebabake distorsi liwat wektu, utamane yen paramèter proses ora dikontrol kanthi teliti.
Faktor kayata intensitas lan durasi sinar ion lan suhu lan tingkat stres sing dialami kabel tungsten kabeh bisa nyebabake potensial deformasi. Kajaba iku, sembarang impurities utawa cacat ing kabel tungsten bakal exacerbate kerentanan kanggo deformasi.
Kanggo nyuda resiko deformasi, paramèter proses kudu dipantau lan dikontrol kanthi ati-ati, kemurnian lan kualitas filamen tungsten kudu dipesthekake, lan protokol pangopènan lan pengawasan sing cocog kudu dileksanakake kanggo peralatan implantasi ion. Ajeg netepke kondisi lan kinerja kabel tungsten bisa bantuan ngenali pratandha saka distorsi lan njupuk tindakan mbenakake yen perlu.
