モリブデンウエハー CVD法によるモリブデンダイヤモンドシート
ダイヤモンドの化学蒸着 (CVD) 法では、制御された環境で化学プロセスを使用してダイヤモンド フィルムまたはコーティングを合成します。この方法では、典型的にはメタンなどの炭化水素ガスを含むガス混合物が、モリブデンウエハやダイヤモンドウエハなどの基板材料とともに反応チャンバに導入される。次に、ガスは熱やプラズマなどのさまざまな手段によって活性化され、炭化水素分子が分解され、基板上に炭素原子が堆積し、ダイヤモンド結晶が成長します。
ダイヤモンドの CVD プロセスには、厚さ、均一性、組成を正確に制御して高品質のダイヤモンド コーティングを生成できるなど、いくつかの利点があります。また、さまざまな基板材料上にダイヤモンド フィルムを蒸着できるため、さまざまな産業および研究用途向けのダイヤモンド コーティングされた部品の作成が可能になります。
全体として、ダイヤモンドの CVD 法は、カスタマイズされた特性を持つ合成ダイヤモンド フィルムやコーティングを製造するための多用途で広く使用されている技術であり、エレクトロニクス、切削工具、耐摩耗性コーティングなどの業界で価値のあるものとなっています。
化学気相成長 (CVD) コーティングの硬度は、堆積される特定の材料と使用されるプロセス パラメーターによって異なります。ただし、CVD コーティングはその並外れた硬度で知られており、多くの場合、従来の物理蒸着 (PVD) コーティングの硬度を上回ります。
ダイヤモンド CVD コーティングの場合、硬度は特に注目に値します。ダイヤモンドは知られている中で最も硬い材料の 1 つであり、CVD ダイヤモンド コーティングは他のタイプのコーティングを上回る優れた硬度を備えています。 CVD ダイヤモンド コーティングの硬度は通常、ビッカース硬度スケールを使用して測定され、8000 HV から 10000 HV 以上の範囲にあり、最も硬く、最も耐摩耗性の高い材料の 1 つとなります。
炭化物や窒化物ベースのコーティングなどの他の CVD コーティングの場合も硬度が高く、さまざまな産業用途で優れた耐摩耗性と耐久性を実現します。
全体として、CVD コーティングはその卓越した硬度で評価されており、耐摩耗性、高温安定性、長期性能が重要な用途に適しています。
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