מטרת קרז טיטניום בטוהר גבוה לציפוי ואקום
מטרות ספוטר הם חומרים בעלי טוהר גבוה המשמשים בתהליכי שקיעת אדים פיזית (PVD), במיוחד טכנולוגיית רטייה. חומרים אלו משמשים ליצירת סרטים דקים על מצעים במגוון תעשיות, כולל ייצור מוליכים למחצה, ציפויים אופטיים ותצהיר סרט דק עבור מכשירים אלקטרוניים.
ניתן לייצר חומרי מטרה לקפיצה ממגוון אלמנטים ותרכובות, כולל מתכות, סגסוגות, תחמוצות וניטרידים. הבחירה של חומר מטרת הקפיצה תלויה בתכונות הספציפיות הנדרשות לציפוי הסרט הדק, כגון מוליכות חשמלית, תכונות אופטיות, קשיות ועמידות כימית.
מטרות קיצוץ נפוצות כוללות מתכות כגון טיטניום, אלומיניום ונחושת, וכן תרכובות כגון אינדיום בדיל אוקסיד (ITO) ותחמוצות מתכות שונות. בחירת חומר מטרת הקפיצה המתאים היא קריטית להשגת המאפיינים והביצועים הרצויים של ציפויי סרט דק.
מטרות הקפיצה מגיעות בגדלים שונים בהתאם לדרישות הספציפיות של תהליך השקת הסרט הדק וציוד הקיזוז. גודל מטרת הקפיצה יכול לנוע בין סנטימטרים בודדים לקוטר של עשרות סנטימטרים, וגם העובי יכול להשתנות.
גודל מטרת הקפיצה נקבעת על ידי גורמים כגון גודל המצע המיועד לציפוי, תצורת מערכת הקיזוז וקצב השקיעה והאחידות הרצויים. בנוסף, גודל מטרת הקפיצה עשוי להיות מושפע מהדרישות הספציפיות של יישום הסרט הדק, כגון השטח המיועד לציפוי ופרמטרי התהליך הכוללים.
בסופו של דבר, גודל מטרת הקפיצה נבחר כדי להבטיח שקיעה יעילה ואחידה של הסרט על המצע, העונה על הצרכים הספציפיים של תהליך ציפוי הסרט הדק בייצור מוליכים למחצה, ציפויים אופטיים ויישומים קשורים אחרים.
ישנן מספר דרכים להגביר את קצב הקפיצה בתהליך הקזת:
1. אופטימיזציה של כוח ולחץ: התאמת פרמטרי ההספק והלחץ במערכת הקפיצה יכולה להשפיע על קצב הקפיצה. הגדלת ההספק ואופטימיזציה של תנאי הלחץ יכולים לשפר את קצב הקפיצה, מה שמוביל לתצהיר מהיר יותר של הסרט הדק.
2. חומרי מטרה וגיאומטריה: שימוש ביעדי קפיצה עם הרכב חומר וגיאומטריה אופטימליים יכול לשפר את קצב הקפיצה. מטרות קפיצה איכותיות ומתוכננות היטב יכולות לשפר את יעילות הקפיצה ולהוביל לשיעורי השקיעה גבוהים יותר.
3. הכנת משטח המטרה: ניקוי ומיזוג נכון של משטח המטרה המקרטעת יכולים לתרום להגברת שיעורי הקזת. הבטחת משטח המטרה נקי ממזהמים ותחמוצות יכולה לשפר את יעילות הקפיצה.
4. טמפרטורת המצע: שליטה בטמפרטורת המצע יכולה להשפיע על קצב הקפיצה. במקרים מסוימים, העלאת טמפרטורת המצע בטווח מסוים יכולה להוביל להגדלת שיעורי הקפיצה ולשיפור איכות הסרט.
5. זרימת גז והרכב: אופטימיזציה של זרימת הגז והרכבו בתא הקפיצה יכולה להשפיע על קצב הקפיצה. התאמת קצבי זרימת הגז ושימוש בתערובות הגז המקרטעות המתאימות יכולים לשפר את יעילות תהליך הקפיצה.
על ידי שיקול זהיר של גורמים אלה ואופטימיזציה של פרמטרי תהליך הקפיצה, ניתן להגדיל את קצב הקפיצה ולשפר את היעילות הכוללת של שקיעת סרט דק ביישומי הקזת.
Wechat:15138768150
WhatsApp: +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com