חוט טונגסטן להשתלת יונים בטוהר גבוה
חוט טונגסטן להשתלת יונים הוא מרכיב מרכזי המשמש במכונות השתלת יונים, בעיקר בתהליכי ייצור מוליכים למחצה. סוג זה של חוטי טונגסטן ממלא תפקיד חשוב בציוד מוליכים למחצה, ואיכותו וביצועיו משפיעים ישירות על היעילות של קווי תהליך IC. מכונת השתלת יונים היא ציוד מפתח בתהליך הייצור של VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), ולא ניתן להתעלם מתפקידו של חוט טונגסטן כמקור יונים.
| מידות | בתור הציורים שלך |
| מקום מוצא | לואויאנג, הנאן |
| שם מותג | FGD |
| בַּקָשָׁה | מוֹלִיך לְמֶחֱצָה |
| מִשׁטָח | עור שחור, שטיפה אלקלית, ברק לרכב, מלוטש |
| טוֹהַר | 99.95% |
| חוֹמֶר | W1 |
| צְפִיפוּת | 19.3 גרם/סמ"ק |
| תקני ביצוע | GB/T 4181-2017 |
| נקודת התכה | 3400℃ |
| תוכן טומאה | 0.005% |
| מרכיבים עיקריים | W＞99.95% |
| תוכן טומאה≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. המפעל שלנו ממוקם בעיר לואויאנג, מחוז הנאן. Luoyang הוא אזור ייצור למכרות טונגסטן ומוליבדן, כך שיש לנו יתרונות מוחלטים באיכות ובמחיר;
2. לחברתנו צוותים טכניים בעלי ניסיון של למעלה מ-15 שנה, ואנו מספקים פתרונות והצעות ממוקדות לצרכיו של כל לקוח.
3. כל המוצרים שלנו עוברים בדיקת איכות קפדנית לפני היצוא.
4. אם אתה מקבל סחורה פגומה, אתה יכול לפנות אלינו לקבלת החזר.
1. בחירת חומרי גלם
(בחר חומרי גלם טונגסטן איכותיים כדי להבטיח את הטוהר והתכונות המכניות של המוצר הסופי. )
2. התכה וטיהור
(חומרי גלם נבחרים של טונגסטן מומסים בסביבה מבוקרת כדי להסיר זיהומים ולהשיג את הטוהר הרצוי.)
3. ציור תיל
(חומר טונגסטן מטוהר מוחל או נמשך דרך סדרה של מתלים כדי להשיג את קוטר החוט והתכונות המכניות הנדרשות.)
4. חישול
(חוט הטונגסטן הנמשך מחושל כדי למנוע מתח פנימי ולשפר את משיכותו וביצועי העיבוד שלו )
5. תהליך השתלת יונים
במקרה הספציפי הזה, חוט הטונגסטן עצמו עשוי לעבור תהליך השתלת יונים, שבו יונים מוזרקים לתוך פני השטח של חוט הטונגסטן כדי לשנות את תכונותיו כדי לשפר את הביצועים במשתל היונים.)
בתהליך ייצור שבב מוליכים למחצה, מכונת השתלת יונים היא אחד הציוד המרכזי המשמש להעברת דיאגרמת מעגל השבב מהמסכה לפריסת הסיליקון ולהשגת פונקציית שבב המטרה. תהליך זה כולל שלבים כמו ליטוש מכני כימי, שקיעת סרט דק, פוטוליטוגרפיה, תחריט והשתלת יונים, ביניהם השתלת יונים היא אחד האמצעים החשובים לשיפור הביצועים של פרוסות סיליקון. היישום של מכונות השתלת יונים שולט ביעילות על הזמן ועלות ייצור השבבים, תוך שיפור הביצועים והאמינות של השבבים.
כן, חוטי טונגסטן רגישים לזיהום במהלך תהליך השתלת היונים. זיהום יכול להתרחש עקב מגוון גורמים, כגון שאריות גזים, חלקיקים או זיהומים הנמצאים בתא השתלת היונים. מזהמים אלו עלולים להיצמד לפני השטח של חוט הטונגסטן, להשפיע על טוהרתו ועלול להשפיע על הביצועים של תהליך השתלת היונים. לכן, שמירה על סביבה נקייה ומבוקרת בתוך תא השתלת היונים היא קריטית כדי למזער את הסיכון לזיהום ולהבטחת שלמות חוט הטונגסטן. הליכי ניקוי ותחזוקה רגילים יכולים גם לעזור להפחית את הפוטנציאל לזיהום במהלך השתלת יונים.
חוט טונגסטן ידוע בנקודת ההיתוך הגבוהה שלו ובתכונות המכניות המצוינות שלו, ההופכות אותו לעמיד בפני דפורמציה בתנאי השתלת יונים רגילים. עם זאת, החום שנוצר במהלך הפצצת יונים באנרגיה גבוהה והשתלת יונים עלול לגרום לעיוות לאורך זמן, במיוחד אם פרמטרי התהליך אינם נשלטים בקפידה.
גורמים כגון עוצמת ומשך קרן היונים ורמות הטמפרטורה והלחץ שחווים חוט הטונגסטן יכולים כולם לתרום לפוטנציאל לעיוות. בנוסף, כל זיהומים או פגמים בחוט הטונגסטן יחמירו את הרגישות לעיוותים.
כדי להפחית את הסיכון לעיוות, יש לפקח ולבקר בקפידה את פרמטרי התהליך, להבטיח את הטוהר והאיכות של חוט הטונגסטן, וליישם פרוטוקולי תחזוקה ובדיקה מתאימים עבור ציוד השתלת יונים. הערכה קבועה של המצב והביצועים של חוטי טונגסטן יכולה לעזור לזהות כל סימן של עיוות ולנקוט בפעולה מתקנת לפי הצורך.
