Hár hreinleiki Ion ígræðsla wolfram þráður
Jónaígræðsla wolframvír er lykilþáttur sem notaður er í jónaígræðsluvélum, aðallega í framleiðsluferli hálfleiðara. Þessi tegund af wolframvír gegnir mikilvægu hlutverki í hálfleiðarabúnaði og gæði hans og afköst hafa bein áhrif á skilvirkni IC vinnslulína. Jónaígræðsluvél er lykilbúnaður í framleiðsluferli VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit) og ekki er hægt að hunsa hlutverk wolframvíra sem jónagjafa.
Mál | Sem teikningar þínar |
Upprunastaður | Luoyang, Henan |
Vörumerki | FGD |
Umsókn | hálfleiðari |
Yfirborð | Svart húð, alkalíþvottur, bílgljái, fáður |
Hreinleiki | 99,95% |
Efni | W1 |
Þéttleiki | 19,3g/cm3 |
Framkvæmdarstaðlar | GB/T 4181-2017 |
Bræðslumark | 3400 ℃ |
Innihald óhreininda | 0,005% |
Helstu þættir | W>99,95% |
Innihald óhreininda≤ | |
Pb | 0,0005 |
Fe | 0,0020 |
S | 0,0050 |
P | 0,0005 |
C | 0,01 |
Cr | 0,0010 |
Al | 0,0015 |
Cu | 0,0015 |
K | 0,0080 |
N | 0,003 |
Sn | 0,0015 |
Si | 0,0020 |
Ca | 0,0015 |
Na | 0,0020 |
O | 0,008 |
Ti | 0,0010 |
Mg | 0,0010 |
1. Verksmiðjan okkar er staðsett í Luoyang City, Henan héraði. Luoyang er framleiðslusvæði fyrir wolfram- og mólýbdennámur, þannig að við höfum algera kosti í gæðum og verði;
2. Fyrirtækið okkar hefur tæknifólk með yfir 15 ára reynslu og við bjóðum upp á markvissar lausnir og tillögur fyrir þarfir hvers viðskiptavinar.
3. Allar vörur okkar gangast undir stranga gæðaskoðun áður en þær eru fluttar út.
4. Ef þú færð gallaða vöru geturðu haft samband við okkur til að fá endurgreiðslu.
1.Hráefnisval
(Veldu hágæða wolfram hráefni til að tryggja hreinleika og vélrænni eiginleika lokaafurðarinnar. )
2. Bræðsla og hreinsun
(Valið wolfram hráefni eru brætt í stýrðu umhverfi til að fjarlægja óhreinindi og ná tilætluðum hreinleika.)
3. Vírteikning
(Hreinsað wolfram efni er pressað eða dregið í gegnum röð af deyjum til að ná nauðsynlegum vírþvermáli og vélrænum eiginleikum.)
4. Glæðing
(Dreginn wolframvír er glæður til að útrýma innri streitu og bæta sveigjanleika hans og vinnsluafköst )
5. Ígræðsluferli jóna
Í þessu tiltekna tilviki getur wolframþráðurinn sjálfur farið í gegnum jónaígræðsluferli, þar sem jónum er sprautað inn í yfirborð wolframþráðarins til að breyta eiginleikum hans til að auka frammistöðu í jónaígræðslunni.)
Í framleiðsluferli hálfleiðara flís er jónaígræðsluvél einn af lykilbúnaðinum sem notaður er til að flytja flís hringrás skýringarmynd frá grímunni til kísilskífunnar og ná markmið flís virkni. Þetta ferli felur í sér skref eins og efnafræðilega fægingu, þunnfilmuútfellingu, ljóslithography, ætingu og jónaígræðslu, þar á meðal er jónaígræðsla ein mikilvægasta leiðin til að bæta frammistöðu kísilþráða. Notkun jónaígræðsluvéla stjórnar í raun tíma og kostnaði við flísframleiðslu, en bætir afköst og áreiðanleika flísanna.
Já, wolframþræðir eru viðkvæmir fyrir mengun meðan á jónaígræðslu stendur. Mengun getur átt sér stað vegna margvíslegra þátta, svo sem leifar af lofttegundum, ögnum eða óhreinindum í jónaígræðsluhólfinu. Þessi aðskotaefni geta fest sig við yfirborð wolframþráðarins, haft áhrif á hreinleika þess og hugsanlega haft áhrif á frammistöðu jónaígræðsluferlisins. Þess vegna er mikilvægt að viðhalda hreinu og stýrðu umhverfi innan jónaígræðsluhólfsins til að lágmarka hættu á mengun og tryggja heilleika wolframþráðarins. Regluleg þrif og viðhaldsaðferðir geta einnig hjálpað til við að draga úr hættu á mengun við ígræðslu jóna.
Volframvír er þekktur fyrir hátt bræðslumark og framúrskarandi vélræna eiginleika, sem gera það ónæmt fyrir aflögun við venjulegar jónaígræðsluskilyrði. Hins vegar getur hitinn sem myndast við háorku jónasprengjuárás og jónaígræðslu valdið röskun með tímanum, sérstaklega ef ferlibreytum er ekki stjórnað vandlega.
Þættir eins og styrkleiki og lengd jónageislans og hitastig og streitustig sem wolframvírinn upplifir geta allir stuðlað að möguleikanum á aflögun. Að auki munu öll óhreinindi eða gallar í wolframvírnum auka viðkvæmni fyrir aflögun.
Til að draga úr hættu á aflögun verður að fylgjast vel með og stjórna ferlibreytum, tryggja hreinleika og gæði wolframþráðarins og innleiða viðeigandi viðhalds- og skoðunarreglur fyrir jónaígræðslubúnaðinn. Að meta ástand og frammistöðu wolframvír reglulega getur hjálpað til við að bera kennsl á öll merki um röskun og grípa til úrbóta eftir þörfum.