Ebumnuche sputterbụ ihe ndị a na-eji na-etinye ihe nkiri ndị dị mkpa n'ime ihe ndị dị n'ime ala n'oge usoro ntinye nke ikuku anụ ahụ (PVD). A na-eji ion ume dị elu na-ejupụta ihe a na-achọsi ike, na-eme ka atọm pụta n'elu ebe a na-achọsi ike. A na-etinyezi atọm ndị a fesa n'ime mkpụrụ, na-akpụ ihe nkiri dị mkpa. A na-ejikarị achụmnta ego eme ihe na mmepụta nke semiconductor, sel anyanwụ na ngwaọrụ eletrọnịkị ndị ọzọ. A na-ejikarị ọla, alloys ma ọ bụ ogige ndị a na-ahọrọ dabere na ihe ndị a chọrọ nke ihe nkiri a na-edebe.

A na-emetụta usoro mgbasa ozi site na ọtụtụ paramita, gụnyere:

1. Ike ịgbasa: Ọnụ ọgụgụ nke ike a na-etinye n'oge usoro mgbasa ozi ga-emetụta ike nke ions ndị na-agbapụta, si otú ahụ na-emetụta ọnụ ọgụgụ.

2. Nrụgide ikuku gas: Nrụgide nke gas na-agbapụta n'ime ụlọ na-emetụta ngwa ngwa nke ions na-agbapụta, si otú ahụ na-emetụta ọnụ ọgụgụ na-agbapụta na ihe nkiri.

3. Njirimara ebumnuche: Njirimara anụ ahụ na kemịkalụ nke ebumnuche sputtering, dị ka ihe mejupụtara ya, ike siri ike, ebe mgbaze, wdg, nwere ike imetụta usoro ịgbasa na arụmọrụ nke ihe nkiri ahụ etinyere.

4. Ebe dị anya n'etiti ihe mgbaru ọsọ na mkpụrụ: Ebe dị anya n'etiti ihe na-agbapụta agbapụ na ihe nkedo ga-emetụta trajectory na ike nke atom ndị na-agbapụta, si otú ahụ na-emetụta ọnụ ọgụgụ nkwụnye ego na ịdị n'otu nke ihe nkiri ahụ.

5. Ike ike: Ike ike etinyere n'elu ihe mgbaru ọsọ na-emetụta ọnụ ọgụgụ sputtering na arụmọrụ nke usoro mgbasa ozi.

Site n'iji nlezianya na-achịkwa ma na-emeziwanye paramita ndị a, enwere ike ịhazi usoro ịgbasa iji nweta ihe nkiri a na-achọsi ike na ọnụego nkwụnye ego.