Ịdị ọcha nke ion tungsten filament
Ion implantation tungsten waya bụ isi akụrụngwa eji na ion implantation igwe, tumadi na semiconductor mmepụta usoro. Ụdị waya tungsten a na-arụ ọrụ dị mkpa na akụrụngwa semiconductor, na àgwà ya na arụmọrụ ya na-emetụta arụmọrụ nke ahịrị usoro IC ozugbo. Igwe ntinye ion bụ akụrụngwa dị mkpa na usoro nrụpụta nke VLSI (Security Integrated Securities) na ọrụ tungsten dị ka isi iyi ion enweghị ike ileghara ọrụ ya anya. ;
| Akụkụ | Dị ka eserese gị |
| Ebe Mmalite | Luoyang, Henan |
| Aha ika | FGD |
| Ngwa | semiconductor |
| Elu | Akpụkpọ anụ ojii, ịsa alkali, ọkụ ụgbọ ala, na-egbu maramara |
| Ịdị ọcha | 99.95% |
| Ihe onwunwe | W1 |
| Njupụta | 19.3g / cm3 |
| Ụkpụrụ ogbugbu | GB/T 4181-2017 |
| Ebe mgbaze | 3400 ℃ |
| Ọdịnaya adịghị ọcha | 0.005% |
| Isi ihe | W 99.95% |
| Ọdịnaya adịghị ọcha ≤ | |
| Pb | 0,0005 |
| Fe | 0,0020 |
| S | 0,0050 |
| P | 0,0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0,0010 |
| Al | 0,0015 |
| Cu | 0,0015 |
| K | 0,0080 |
| N | 0,003 |
| Sn | 0,0015 |
| Si | 0,0020 |
| Ca | 0,0015 |
| Na | 0,0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0,0010 |
| Mg | 0,0010 |
1. Ụlọ ọrụ anyị dị na Luoyang City, Henan Province. Luoyang bụ mpaghara mmepụta maka tungsten na molybdenum mines, yabụ anyị nwere uru zuru oke na ịdị mma na ọnụahịa;
2. Ụlọ ọrụ anyị nwere ndị ọrụ nkà na ụzụ nke nwere ahụmahụ karịrị afọ 15, anyị na-enyekwa ngwọta na aro ezubere iche maka mkpa onye ahịa ọ bụla.
3. Ngwaahịa anyị niile na-enyocha nyocha nke ọma tupu ebupụ ya.
4. Ọ bụrụ na ị nweta ngwongwo ndị na-adịghị mma, ị nwere ike ịkpọtụrụ anyị maka nkwụghachi.
1.Raw ihe nhọrọ
(Họrọ akụrụngwa tungsten dị elu iji hụ na ịdị ọcha na akụrụngwa nke ngwaahịa ikpeazụ.)
2. Na-agbaze na ịdị ọcha
(A na-agbaze akụrụngwa tungsten ahọpụtara na gburugburu ebe a na-achịkwa iji wepụ adịghị ọcha ma nweta ịdị ọcha achọrọ.)
3. Ihe osise waya
(A na-ebupụ ma ọ bụ dọpụta ihe tungsten dị ọcha site na usoro ọnwụ iji nweta dayameta waya achọrọ na akụrụngwa arụ ọrụ.)
4.Annealing
(A na-ehichapụ waya tungsten a dọtara iji kpochapụ nchekasị dị n'ime ma melite arụmọrụ ya na nhazi ya)
5. Usoro ntinye nke ion
N'okwu a, tungsten filament n'onwe ya nwere ike ịmalite usoro ntinye ion, nke a na-agbanye ion n'ime elu nke tungsten filament iji gbanwee ihe onwunwe ya iji kwalite arụmọrụ na ion implanter.)
N'ime usoro mmepụta ihe mgbawa nke semiconductor, igwe ntinye ion bụ otu n'ime akụrụngwa eji ebufe eserese sekit mgbawa site na nkpuchi gaa na wafer silicon wee nweta ọrụ mgbawa ebumnuche. Usoro a na-agụnye usoro ndị dị ka ihicha igwe kemịkalụ, ntinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, fotolithography, etching, na ntinye ion, n'ime nke ntinye ion bụ otu n'ime ụzọ dị mkpa iji melite arụmọrụ nke silicon wafers. Ngwa nke igwe ntinye ion na-achịkwa nke ọma oge na ọnụ ahịa nke mmepụta mgbawa, na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ibe. ;
Ee, tungsten filaments na-enwe ike ibute mmetọ n'oge usoro ntinye ion. Mmetọ nwere ike ime n'ihi ihe dị iche iche, dị ka gas fọdụrụnụ, ahụ, ma ọ bụ adịghị ọcha dị na ụlọ ntinye ion. Ihe mmetọ ndị a nwere ike ịrapara na elu nke tungsten filament, na-emetụta ịdị ọcha ya ma nwee ike imetụta arụmọrụ nke usoro ntinye ion. Ya mere, idobe ebe dị ọcha na nke a na-achịkwa n'ime ụlọ ntinye ion dị oke mkpa iji belata ihe ize ndụ nke mmetọ ma hụ na iguzosi ike n'ezi ihe nke tungsten filament. Usoro nhicha na mmezi mgbe niile nwekwara ike inye aka belata ohere nke mmetọ n'oge ntinye ion.
A maara waya Tungsten maka ebe mgbaze ya dị elu yana ihe ndị na-arụ ọrụ nke ọma, nke na-eme ka ọ na-eguzogide nrụrụ n'okpuru ọnọdụ ntinye ion nkịtị. Otú ọ dị, okpomọkụ a na-emepụta n'oge ion bombardment dị elu na ntinye ion nwere ike ime ka mgbagwoju anya na oge, karịsịa ma ọ bụrụ na ejighị nlezianya na-achịkwa usoro usoro.
Ihe ndị dị ka ike na ogologo oge nke ion beam na ọnọdụ okpomọkụ na nrụgide nke waya tungsten na-enweta nwere ike inye aka n'ikike nke nrụrụ. Na mgbakwunye, adịghị ọcha ma ọ bụ ntụpọ ọ bụla dị na waya tungsten ga-eme ka ọ dịkwuo mfe nrụrụ.
Iji belata ihe ize ndụ nke nrụrụ, a ghaghị iji nlezianya nyochaa ma na-achịkwa usoro usoro, ịdị ọcha na ịdị mma nke tungsten filament ga-emerịrị, a ghaghị imejuputa nhazi na nyocha nke kwesịrị ekwesị maka ngwa ntinye ion. Ịtụle ọnọdụ na ịrụ ọrụ nke waya tungsten mgbe nile nwere ike inye aka chọpụta ihe ọ bụla nke mgbagwoju anya ma mee ihe mgbazi dịka ọ dị mkpa.
