Ya, filamen tungsten rentan terhadap kontaminasi selama proses implantasi ion. Kontaminasi dapat terjadi karena berbagai faktor, seperti sisa gas, partikel, atau kotoran yang ada di ruang implantasi ion. Kontaminan ini dapat menempel pada permukaan filamen tungsten, mempengaruhi kemurniannya dan berpotensi mempengaruhi kinerja proses implantasi ion. Oleh karena itu, menjaga lingkungan yang bersih dan terkendali di dalam ruang implantasi ion sangat penting untuk meminimalkan risiko kontaminasi dan memastikan integritas filamen tungsten. Prosedur pembersihan dan pemeliharaan rutin juga dapat membantu mengurangi potensi kontaminasi selama implantasi ion.

Kawat tungsten dikenal dengan titik lelehnya yang tinggi dan sifat mekanik yang sangat baik, sehingga tahan terhadap deformasi dalam kondisi implantasi ion normal. Namun, panas yang dihasilkan selama pemboman ion berenergi tinggi dan implantasi ion dapat menyebabkan distorsi seiring waktu, terutama jika parameter proses tidak dikontrol dengan cermat.

Faktor-faktor seperti intensitas dan durasi pancaran ion serta suhu dan tingkat tegangan yang dialami kawat tungsten semuanya dapat berkontribusi terhadap potensi deformasi. Selain itu, segala kotoran atau cacat pada kawat tungsten akan memperburuk kerentanan terhadap deformasi.

Untuk mengurangi risiko deformasi, parameter proses harus dipantau dan dikontrol secara hati-hati, kemurnian dan kualitas filamen tungsten harus dipastikan, dan protokol pemeliharaan dan inspeksi yang tepat harus diterapkan untuk peralatan implantasi ion. Menilai kondisi dan kinerja kawat tungsten secara teratur dapat membantu mengidentifikasi tanda-tanda distorsi dan mengambil tindakan perbaikan sesuai kebutuhan.