Վակուումային ծածկույթի համար բարձր մաքրության տիտանի ցողման թիրախ
Թրթռման թիրախները բարձր մաքրության նյութեր են, որոնք օգտագործվում են ֆիզիկական գոլորշիների նստեցման (PVD) գործընթացներում, մասնավորապես, ցողման տեխնոլոգիայի մեջ:Այս նյութերը օգտագործվում են տարբեր արդյունաբերություններում ենթաշերտերի վրա բարակ թաղանթներ ձևավորելու համար, ներառյալ կիսահաղորդչային արտադրության, օպտիկական ծածկույթների և էլեկտրոնային սարքերի բարակ թաղանթների տեղադրման համար:
Sputter թիրախային նյութերը կարող են պատրաստվել տարբեր տարրերից և միացություններից, ներառյալ մետաղներից, համաձուլվածքներից, օքսիդներից և նիտրիդներից:Թրթռման թիրախային նյութի ընտրությունը կախված է բարակ թաղանթի ծածկույթի համար պահանջվող հատուկ հատկություններից, ինչպիսիք են էլեկտրական հաղորդունակությունը, օպտիկական հատկությունները, կարծրությունը և քիմիական դիմադրությունը:
Ընդհանուր ցողման թիրախները ներառում են մետաղներ, ինչպիսիք են տիտանը, ալյումինը և պղինձը, ինչպես նաև այնպիսի միացություններ, ինչպիսիք են ինդիումի անագ օքսիդը (ITO) և տարբեր մետաղական օքսիդներ:Համապատասխան ցողման նպատակային նյութի ընտրությունը կարևոր է բարակ թաղանթապատման ցանկալի բնութագրերին և կատարողականությանը հասնելու համար:
Թրթռման թիրախները լինում են տարբեր չափերի՝ կախված բարակ թաղանթի նստեցման գործընթացի և ցողման սարքավորումների հատուկ պահանջներից:Թրթռող թիրախի չափերը կարող են տատանվել մի քանի սանտիմետրից մինչև տասնյակ սանտիմետր տրամագծով, իսկ հաստությունը նույնպես կարող է տարբեր լինել:
Թրթման թիրախի չափը որոշվում է այնպիսի գործոններով, ինչպիսիք են՝ պատման ենթակա ենթաշերտի չափը, ցողման համակարգի կոնֆիգուրացիան և նստվածքի ցանկալի արագությունն ու միատեսակությունը:Բացի այդ, ցողման թիրախի չափի վրա կարող են ազդել բարակ թաղանթի կիրառման հատուկ պահանջները, ինչպիսիք են ծածկման ենթակա տարածքը և գործընթացի ընդհանուր պարամետրերը:
Ի վերջո, ցողման թիրախի չափը ընտրվում է, որպեսզի ապահովի թաղանթի արդյունավետ և միատեսակ տեղադրումը ենթաշերտի վրա՝ բավարարելով բարակ թաղանթապատման գործընթացի հատուկ կարիքները կիսահաղորդիչների արտադրության, օպտիկական ծածկույթների և այլ հարակից կիրառություններում:
Թրթռման գործընթացում ցողման արագությունը բարձրացնելու մի քանի եղանակ կա.
1. Էլեկտրաէներգիայի և ճնշման օպտիմիզացում. հոսանքի և ճնշման պարամետրերի կարգավորումը ցողման համակարգում կարող է ազդել ցողման արագության վրա:Հզորության բարձրացումը և ճնշման պայմանների օպտիմալացումը կարող են մեծացնել ցողման արագությունը՝ հանգեցնելով բարակ թաղանթի ավելի արագ նստվածքի:
2. Թիրախային նյութ և երկրաչափություն. նյութի օպտիմիզացված կազմով և երկրաչափությամբ ցայտող թիրախների օգտագործումը կարող է բարելավել ցողման արագությունը:Բարձրորակ, լավ նախագծված ցողման թիրախները կարող են բարձրացնել ցողման արդյունավետությունը և հանգեցնել նստեցման ավելի բարձր արագության:
3. Թիրախային մակերևույթի պատրաստում. ցողման թիրախային մակերեսի պատշաճ մաքրումը և բարելավումը կարող է նպաստել ցողման արագության բարձրացմանը:Ապահովել, որ թիրախային մակերեսը զերծ է աղտոտիչներից և օքսիդներից, կարող է բարելավել ցողման արդյունավետությունը:
4. Ենթաշերտի ջերմաստիճանը. Ենթաշերտի ջերմաստիճանը վերահսկելը կարող է ազդել ցողման արագության վրա:Որոշ դեպքերում, հիմքի ջերմաստիճանի բարձրացումը որոշակի տիրույթում կարող է հանգեցնել ցողման արագության բարձրացման և ֆիլմի որակի բարելավմանը:
5. Գազի հոսքը և բաղադրությունը. գազի հոսքի և բաղադրության օպտիմալացումը ցողման պալատում կարող է ազդել ցողման արագության վրա:Գազի հոսքի արագության կարգավորումը և համապատասխան ցողման գազային խառնուրդների օգտագործումը կարող է բարձրացնել ցողման գործընթացի արդյունավետությունը:
Զգուշորեն հաշվի առնելով այս գործոնները և օպտիմիզացնելով ցողման գործընթացի պարամետրերը, հնարավոր է բարձրացնել ցողման արագությունը և բարելավել բարակ թաղանթի նստվածքի ընդհանուր արդյունավետությունը ցողման կիրառություններում:
Wechat: 15138768150
WhatsApp՝ +86 15838517324
E-mail : jiajia@forgedmoly.com
