Segondè pite Ion implantation tengstèn filaman
Fil tengstèn Ion implantation se yon eleman kle yo itilize nan machin implantation ion, sitou nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs. Sa a ki kalite fil tengstèn jwe yon wòl enpòtan nan ekipman semi-conducteurs, ak bon jan kalite li yo ak pèfòmans dirèkteman afekte efikasite nan liy pwosesis IC. Ion implantation machin se yon ekipman kle nan pwosesis manifakti VLSI (Very Large Scale Integrated Circuit), epi wòl fil tengstène kòm yon sous ion pa ka inyore.
| Dimansyon | Kòm desen ou yo |
| Kote orijin | Luoyang, Henan |
| Non mak | FGD |
| Aplikasyon | semiconductor |
| Sifas | Po nwa, lave alkali, klere machin, poli |
| Pite | 99.95% |
| Materyèl | W1 |
| Dansite | 19.3g/cm3 |
| Estanda ekzekisyon | GB/T 4181-2017 |
| Pwen k ap fonn | 3400℃ |
| Kontni enpurte | 0.005% |
| Konpozan prensipal yo | W＞99.95% |
| Enpurte kontni≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Faktori nou an sitiye nan vil Luoyang, pwovens Henan. Luoyang se yon zòn pwodiksyon pou min tengstèn ak molybdène, kidonk nou gen avantaj absoli nan bon jan kalite ak pri;
2. Konpayi nou an gen pèsonèl teknik ki gen plis pase 15 ane eksperyans, epi nou bay solisyon vize ak sijesyon pou bezwen chak kliyan.
3. Tout pwodwi nou yo sibi enspeksyon kalite strik anvan yo ekspòte.
4. Si ou resevwa machandiz ki defektye, ou ka kontakte nou pou yon ranbousman.
1.Raw materyèl seleksyon
(Chwazi matyè premyè tengstèn kalite siperyè pou asire pite ak pwopriyete mekanik pwodwi final la. )
2. K ap fonn ak pirifikasyon
(Tungstène chwazi matyè premyè yo fonn nan yon anviwònman kontwole pou retire enpurte epi reyalize pite a vle.)
3. Fil fè desen
(Materyèl tengstèn pirifye ekstrè oswa trase nan yon seri mouri pou reyalize dyamèt fil obligatwa a ak pwopriyete mekanik.)
4.Annealing
(Se fil tengstèn trase a rkwit pou elimine estrès entèn ak amelyore duktilite li yo ak pèfòmans pwosesis )
5. Pwosesis Enplantasyon Ion
Nan ka patikilye sa a, filaman tengstèn nan tèt li ka sibi yon pwosesis implantation ion, nan ki iyon yo sou fòm piki nan sifas la nan filaman an tengstèn chanje pwopriyete li yo amelyore pèfòmans nan enplantè a ion.)
Nan pwosesis pwodiksyon chip semi-conducteurs, machin implantation ion se youn nan ekipman kle yo itilize pou transfere dyagram sikwi chip la soti nan mask la nan wafer Silisyòm lan epi reyalize fonksyon chip sib la. Pwosesis sa a gen ladan etap tankou polisaj chimik mekanik, depo fim mens, fotolitografi, grave, ak enplantasyon ion, nan mitan ki enplantasyon ion se youn nan mwayen enpòtan yo amelyore pèfòmans nan gaufre Silisyòm. Aplikasyon an nan machin implantation ion efektivman kontwole tan an ak pri nan pwodiksyon chip, pandan y ap amelyore pèfòmans nan ak fyab nan chips.
Wi, filaman tengstèn yo sansib a kontaminasyon pandan pwosesis enplantasyon iyon an. Kontaminasyon ka rive akòz yon varyete de faktè, tankou gaz rezidyèl, patikil, oswa enpurte ki prezan nan chanm enplantasyon iyon an. Kontaminan sa yo ka konfòme yo ak sifas filaman an tengstèn, ki afekte pite li yo ak potansyèlman afekte pèfòmans pwosesis enplantasyon ion yo. Se poutèt sa, kenbe yon anviwònman pwòp ak kontwole nan chanm enplantasyon iyon an se kritik pou minimize risk pou kontaminasyon ak asire entegrite nan filaman an tengstèn. Pwosedi netwayaj ak antretyen regilye yo ka ede tou bese potansyèl pou kontaminasyon pandan enplantasyon ion.
Se fil tengstèn li te ye pou pwen k ap fonn segondè li yo ak ekselan pwopriyete mekanik, ki fè li rezistan a deformation nan kondisyon nòmal enplantasyon ion. Sepandan, chalè ki te pwodwi pandan bonbadman ion ki gen gwo enèji ak enplantasyon ion ka lakòz deformation sou tan, espesyalman si paramèt pwosesis yo pa ak anpil atansyon kontwole.
Faktè tankou entansite ak dire gwo bout bwa a ion ak nivo tanperati ak estrès ki gen eksperyans nan fil tengstèn la ka tout kontribye nan potansyèl la pou deformation. Anplis de sa, nenpòt enpurte oswa domaj nan fil tengstèn la pral agrave sansiblite nan deformation.
Pou diminye risk pou yo deformation, paramèt pwosesis yo dwe ak anpil atansyon kontwole ak kontwole, pite a ak bon jan kalite nan filaman an tengstèn yo dwe asire, ak antretyen apwopriye ak pwotokòl enspeksyon yo dwe aplike pou ekipman an implantation ion. Regilyèman evalye kondisyon an ak pèfòmans nan fil tengstèn ka ede idantifye nenpòt siy deformation epi pran aksyon korektif jan sa nesesè.
