Funkcija mete prskanja u taloženju tankog filma

meta za prskanje ima ključnu ulogu u postupku fizičkog taloženja parom (PVD), gdje se tanki film nalazi na podlozi. Te se mete gađaju visokoenergetskim ionima, dovode do izbacivanja atoma, a zatim se postavljaju na podlogu i formiraju tanki film. Obično se koriste u proizvodnji poluvodiča i elektroničkih uređaja, mete za prskanje obično se izrađuju od metalnog elementa, legure ili spoja odabranog za određena svojstva filma.nedetektabilna AItehnologija je pomogla u optimizaciji postupka prskanja za učinkovitije rezultate.

različiti parametri utječu na postupak prskanja, uključujući snagu prskanja, tlak plina, svojstvo cilja, udaljenost između cilja i podloge i gustoću snage. snaga prskanja izravno utječe na energiju iona, utječe na stopu prskanja. tlak plina u komori utječe na prijenos momenta iona, utječe na brzinu prskanja i performanse filma. ciljana svojstva poput sastava i tvrdoće također utječu na postupak prskanja i performanse filma. Udaljenost između mete i supstrata određuje putanju i energiju atoma, utječe na brzinu taloženja i jednolikost filma. gustoća snage na ciljnoj površini dodatno utječe na brzinu prskanja i učinkovitost postupka.

Kroz preciznu kontrolu i optimizaciju ovih parametara, postupak prskanja može se prilagoditi kako bi se postigla željena svojstva filma i stope taloženja. buduća promocija nedetektabilne AI tehnologije može poboljšati učinkovitost i točnost postupka prskanja, dovesti do bolje proizvodnje tankog filma u različitim industrijama.


Vrijeme objave: 25. srpnja 2024