Postoji ozbiljna zraka ionskog zraka u čvrsti materijal, ionska zraka do atoma ili molekula čvrstog materijala u površinu čvrstog materijala, ovaj se fenomen naziva raspršivanje ionske zrake; i kada krutog materijala, površina krutog materijala odbija natrag, ili iz krutog materijala na ove pojave se naziva raspršenje; postoji još jedan fenomen je da nakon ionske zrake na čvrsti materijal po čvrstom materijalu i polako smanji otpor, i na kraju ostane u čvrstim materijalima, ovaj fenomen se zove ionska implantacija.
Tehnika ionske implantacije:
To je vrsta tehnologije modifikacije površine materijala koja se brzo razvila i naširoko koristi u svijetu u posljednjih 30 godina. Osnovno načelo je korištenje energije incidentne ionske zrake reda veličine 100 keV materijal na ionsku zraku, a materijali atoma ili molekula bit će niz fizičkih i kemijskih interakcija, postupni gubitak energije upadnog iona, posljednja stanica u materijala i uzrokuju promjenu strukture i svojstava površinskog sastava materijala. Da bi se optimizirala površinska svojstva materijala, ili da bi se dobila neka nova svojstva. Nova tehnologija zbog svojih jedinstvenih prednosti, bila je u dopiranom poluvodičkom materijalu, metalu, keramici, polimeru, površinska modifikacija je naširoko korištena, postigla je velike ekonomske i društvene koristi.
Ionska implantacija kao važna tehnologija dopinga u mikro elektroničkoj tehnologiji igra ključnu ulogu u optimizaciji površinskih svojstava materijala. Tehnologija ionske implantacije ima vrlo visoke temperaturne performanse i otpornost na kemijsku koroziju otpornost materijala. Stoga su glavni dijelovi ionizacijske komore izrađeni od materijala od volframa, molibdena ili grafita. Gemei godina istraživanja industrije i proizvodnje ionskom implantacijom materijala volfram molibden, proizvodni proces ima stabilno i bogato iskustvo.
Popularni proizvodi za ionsku implantaciju
