Spatter lub hom phiaj ua si qhov tseem ceeb hauv cov txheej txheem ntawm lub cev vapor deposition (PVD), qhov twg cov yeeb yaj kiab nyias tau nkag mus rau hauv substrate. Cov hom phiaj no yog pelt nrog lub zog siab ion, ua rau atom raug tshem tawm thiab tom qab ntawd nkag mus rau hauv lub substrate los tsim cov yeeb yaj kiab nyias. Feem ntau siv hauv cov khoom siv hluav taws xob thiab cov khoom siv hluav taws xob, spatter lub hom phiaj feem ntau yog ua los ntawm cov khoom siv hlau, hlau, lossis cov khoom sib xyaw xaiv rau cov yeeb yaj kiab tshwj xeeb.undetectable AIthev naus laus zis tau pab txhawm rau txhim kho cov txheej txheem spatter kom tau txais txiaj ntsig zoo dua.

assorted parameter cuam tshuam cov txheej txheem spatter, suav nrog spatter zog, roj siab, lub hom phiaj cov cuab yeej, qhov deb ntawm lub hom phiaj thiab substrate, thiab lub zog ceev. spatter zog ncaj qha cuam tshuam lub zog ntawm ion, cuam tshuam tus nqi spatter. gas siab nyob rau hauv lub chamber cuam tshuam lub caij tsheb thauj mus los ntawm ion, cuam tshuam tus nqi spatter thiab kev ua yeeb yam. lub hom phiaj cov cuab yeej xws li muaj pes tsawg leeg thiab hardness kuj cuam tshuam cov txheej txheem spatter thiab kev ua yeeb yam. Qhov kev ncua deb ntawm lub hom phiaj thiab substrate txiav txim siab txoj hauv kev thiab lub zog ntawm atom, cuam tshuam tus nqi deposition thiab cov yeeb yaj kiab uniformity. lub zog ceev ntawm lub hom phiaj saum npoo txuas ntxiv cuam tshuam tus nqi spatter thiab cov txheej txheem ua haujlwm.

Los ntawm kev tswj hwm thiab kev ua kom zoo ntawm cov kev txwv no, cov txheej txheem spatter tuaj yeem ua kev cai-ua kom ua tiav cov yeeb yaj kiab cov cuab yeej thiab cov nqi tso nyiaj. Kev nce qib yav tom ntej hauv kev siv tsis tau AI thev naus laus zis tuaj yeem txhim kho qhov ua tau zoo thiab raug ntawm cov txheej txheem spatter, ua rau cov yeeb yaj kiab zoo dua qub hauv kev lag luam ntau yam.