Sputter pahu hopuHe mau mea i hoʻohana ʻia no ka waiho ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma luna o nā substrate i ka wā o ke kaʻina hana mahu kino (PVD).Hoʻopuka ʻia ka mea i hoʻopaʻa ʻia me nā ion ikehu kiʻekiʻe, e hoʻokuʻu ʻia nā atom mai ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia.Hoʻokomo ʻia kēia mau ʻātoma i hoʻoheheʻe ʻia ma luna o kahi substrate, e hana ana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi.Hoʻohana pinepine ʻia nā pahuhopu sputtering i ka hana ʻana i nā semiconductor, solar cell a me nā mea uila ʻē aʻe.Hana ʻia lākou me nā metala, nā mea hoʻohui a i ʻole nā ​​​​hui i koho ʻia ma muli o nā waiwai i makemake ʻia o ke kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia.

Hoʻopili ʻia ke kaʻina hana sputtering e kekahi mau ʻāpana, me:

1. Ka mana sputtering: ʻO ka nui o ka mana i hoʻohana ʻia i ka wā o ka sputtering kaʻina e pili i ka ikehu o nā ion sputtered, a laila e hoʻopili ai i ka helu sputtering.

2. Sputtering gas kaomi: ʻO ke kaomi o ke kinoea sputtering i loko o ke keʻena e pili ana i ka hoʻololi ʻana o ka manawa o nā ion sputtered, a laila e hoʻopili ai i ka helu sputtering a me ka hana kiʻiʻoniʻoni.

3. Nā waiwai i hoʻopaʻa ʻia: ʻO nā ʻano kino a me nā kinona o ka sputtering target, e like me kona haku mele ʻana, paʻakikī, melting point, etc., hiki ke hoʻopili i ke kaʻina sputtering a me ka hana o ke kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia.

4. ʻO ka mamao ma waena o ka pahu hopu a me ka substrate: ʻO ka mamao ma waena o ka pahu sputtering a me ka substrate e hoʻopili i ka trajectory a me ka ikehu o nā atoms sputtered, a laila e hoʻopili ai i ka helu deposition a me ke kūlike o ke kiʻi.

5. Manaʻo ikaika: ʻO ka mana o ka mana i hoʻopili ʻia i ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia e pili ana i ka helu sputtering a me ka pono o ke kaʻina sputtering.

Ma ka mālama pono ʻana a me ka noʻonoʻo ʻana i kēia mau ʻāpana, hiki ke hoʻopili ʻia ke kaʻina sputtering no ka loaʻa ʻana o nā waiwai kiʻiʻoniʻoni i makemake ʻia a me nā helu deposition.