Babban tsafta ion dasawa tungsten filament
Ion implantation tungsten waya wani mahimmin sashi ne da ake amfani da shi a cikin injunan saka ion, galibi a cikin ayyukan masana'antu na semiconductor. Irin wannan nau'in waya na tungsten yana taka muhimmiyar rawa a cikin kayan aikin semiconductor, kuma ingancinsa da aikinsa yana tasiri kai tsaye ga ingantaccen layin aiwatar da IC. Na'urar dasa ion shine kayan aiki mai mahimmanci a cikin tsarin masana'antu na VLSI (Maɗaukaki Mai Girma Mai Girma), kuma ba za a iya watsi da rawar da waya ta tungsten take a matsayin tushen ion ba. "
| Girma | Kamar yadda zane-zanenku |
| Wurin Asalin | Luoyang, Henan |
| Sunan Alama | FGD |
| Aikace-aikace | semiconductor |
| Surface | Bakar fata, wankin alkali, sheki mota, goge |
| Tsafta | 99.95% |
| Kayan abu | W1 |
| Yawan yawa | 19.3g/cm 3 |
| Matsayin aiwatarwa | GB/T 4181-2017 |
| Wurin narkewa | 3400 ℃ |
| Abubuwan da ke cikin najasa | 0.005% |
| Manyan abubuwan da aka gyara | W ＞99.95% |
| Abubuwan da ba su da tsabta ≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Kamfaninmu yana cikin birnin Luoyang, lardin Henan. Luoyang yanki ne na samar da tungsten da ma'adinan molybdenum, don haka muna da cikakkiyar fa'ida cikin inganci da farashi;
2. Kamfaninmu yana da ma'aikatan fasaha tare da fiye da shekaru 15 na kwarewa, kuma muna samar da mafita da shawarwari don bukatun kowane abokin ciniki.
3. Dukkanin samfuranmu suna yin ingantaccen bincike mai inganci kafin a fitar da su.
4. Idan kun karɓi kayan da ba su da lahani, zaku iya tuntuɓar mu don maidowa.
1.Raw kayan zaɓi
(Zaɓi albarkatun tungsten masu inganci don tabbatar da tsabta da kayan aikin injiniya na samfurin ƙarshe.)
2. Narkewa da Tsarkakewa
(An narkar da albarkatun tungsten da aka zaɓa a cikin yanayi mai sarrafawa don cire ƙazanta da cimma tsaftar da ake so.)
3. Zane na waya
(Ana fitar da kayan tungsten da aka tsarkake ko kuma zana su ta jerin matattu don cimma diamita na waya da ake buƙata da kaddarorin inji.)
4.Annealing
(An cire waya ta tungsten da aka zana don kawar da damuwa na ciki da inganta yanayin aiki da sarrafa shi)
5. Tsarin Shuka ion
A wannan yanayin, filament na tungsten kanta na iya yin wani tsari na ion implantation, wanda aka sanya ions a cikin farfajiyar filament tungsten don canza kayansa don haɓaka aiki a cikin ion implanter.)
A cikin tsarin samar da guntu na semiconductor, injin daskarewa ion yana ɗaya daga cikin mahimman kayan aikin da ake amfani da su don canja wurin zanen guntu daga abin rufe fuska zuwa wafer silicon da cimma aikin guntuwar manufa. Wannan tsari ya haɗa da matakai irin su gyaran gyare-gyaren injiniyan sinadarai, ƙaddamar da fina-finai na bakin ciki, photolithography, etching, da ion implantation, daga cikinsu dasa ion yana daya daga cikin mahimman hanyoyin inganta aikin wafers na silicon. Aiwatar da injunan dasa ion yadda ya kamata yana sarrafa lokaci da farashi na samar da guntu, yayin inganta aiki da amincin kwakwalwan kwamfuta. "
Ee, filayen tungsten suna da sauƙin kamuwa da cuta yayin aikin dasa ion. Lalacewa na iya faruwa saboda dalilai iri-iri, kamar ragowar iskar gas, barbashi, ko ƙazanta da ke cikin ɗakin dasa ion. Wadannan gurɓataccen abu na iya mannewa saman filaye na tungsten, yana shafar tsabtarsa kuma yana iya tasiri ga aikin dasa ion. Sabili da haka, kula da yanayi mai tsabta da sarrafawa a cikin ɗakin da aka saka ion yana da mahimmanci don rage haɗarin kamuwa da cuta da kuma tabbatar da amincin filament tungsten. Tsarin tsaftacewa na yau da kullun da hanyoyin kulawa na iya taimakawa rage yuwuwar kamuwa da cuta yayin dashen ion.
Wayar Tungsten sananne ne don babban wurin narkewa da kyawawan kaddarorin injina, waɗanda ke sa shi juriya ga nakasu a ƙarƙashin yanayin dasa ion na yau da kullun. Duk da haka, zafi da aka haifar a lokacin babban ƙarfin ion bombardment da ion implantation na iya haifar da murdiya a kan lokaci, musamman idan ba a kula da sigogin tsari a hankali ba.
Abubuwa irin su ƙarfi da tsawon lokacin katako na ion da yanayin zafi da matakan damuwa da wayar tungsten ke fuskanta na iya ba da gudummawa ga yuwuwar nakasa. Bugu da ƙari, duk wani ƙazanta ko lahani a cikin wayar tungsten za su ƙara haɗarin nakasawa.
Don rage haɗarin nakasawa, dole ne a kula da sigogin tsari a hankali kuma a sarrafa su, dole ne a tabbatar da tsabta da ingancin filament tungsten, kuma dole ne a aiwatar da ka'idojin kulawa da kulawa da dacewa don kayan aikin ion. Yin la'akari akai-akai da yanayin da aikin wayar tungsten zai iya taimakawa wajen gano duk wani alamun murdiya da ɗaukar matakan gyara kamar yadda ake bukata.
