ઘન પદાર્થમાં ગંભીર હવા આયન બીમ હોય છે, આયન બીમ ઘન પદાર્થના અણુઓ અથવા અણુઓ ઘન પદાર્થની સપાટીમાં હોય છે, આ ઘટનાને આયન બીમ સ્પુટરીંગ કહેવાય છે; અને જ્યારે નક્કર સામગ્રી, નક્કર સામગ્રીની સપાટી પાછી ઉછળે છે, અથવા આ ઘટનામાં નક્કર સામગ્રી બહાર આવે છે ત્યારે તેને સ્કેટરિંગ કહેવામાં આવે છે; બીજી એક ઘટના એ છે કે આયન બીમ ઘન પદાર્થ દ્વારા ઘન પદાર્થમાં જાય છે અને પ્રતિકાર ધીમે ધીમે ઘટે છે અને છેવટે ઘન પદાર્થોમાં રહે છે, આ ઘટનાને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન કહેવામાં આવે છે.
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન તકનીક:
એક પ્રકારની મટીરીયલ સરફેસ મોડિફિકેશન ટેક્નોલોજી છે જે છેલ્લા 30 વર્ષોમાં વિશ્વમાં ઝડપથી અને વ્યાપકપણે વિકસિત થઈ છે. મૂળ સિદ્ધાંત એ છે કે આયન બીમ ઘટનાની ઉર્જાનો ઉપયોગ 100keV સામગ્રીને આયન બીમના ક્રમમાં કરવાનો છે અને અણુઓ અથવા પરમાણુઓની સામગ્રી ભૌતિક અને રાસાયણિક ક્રિયાપ્રતિક્રિયાઓની શ્રેણી હશે, ઘટના આયન ઊર્જાનું નુકસાન ધીમે ધીમે, છેલ્લા સ્ટોપમાં સામગ્રી, અને સામગ્રીની સપાટીની રચનાની રચના અને ગુણધર્મો, ફેરફારનું કારણ બને છે. સામગ્રીની સપાટીના ગુણધર્મોને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવા અથવા કેટલાક નવા ગુણધર્મો મેળવવા માટે. નવી ટેક્નોલોજી તેના અનન્ય ફાયદાઓને કારણે, ડોપ્ડ સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી, ધાતુ, સિરામિક, પોલિમરમાં છે, સપાટીના ફેરફારનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે, તેણે મહાન આર્થિક અને સામાજિક લાભો પ્રાપ્ત કર્યા છે.
માઈક્રો ઈલેક્ટ્રોનિક ટેક્નોલોજીમાં મહત્વની ડોપિંગ ટેક્નોલોજી તરીકે આયન ઈમ્પ્લાન્ટેશન સામગ્રીની સપાટીના ગુણધર્મોને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવામાં મુખ્ય ભૂમિકા ભજવે છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ટેક્નોલોજી એ ખૂબ જ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રદર્શન અને સામગ્રીના રાસાયણિક કાટ પ્રતિકાર સામે પ્રતિકાર છે. તેથી, આયનીકરણ ચેમ્બરના મુખ્ય ભાગો ટંગસ્ટન, મોલિબડેનમ અથવા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલા છે. ટંગસ્ટન મોલિબ્ડેનમ સામગ્રીના આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન દ્વારા ઉદ્યોગ સંશોધન અને ઉત્પાદનના Gemei વર્ષો, ઉત્પાદન પ્રક્રિયા સ્થિર અને સમૃદ્ધ અનુભવ ધરાવે છે.
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન માટે ગરમ ઉત્પાદનો
