ઉચ્ચ શુદ્ધતા આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટ
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ટંગસ્ટન વાયર એ મુખ્ય ઘટક છે જેનો ઉપયોગ આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન મશીનોમાં થાય છે, મુખ્યત્વે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં. આ પ્રકારના ટંગસ્ટન વાયર સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં મહત્વની ભૂમિકા ભજવે છે અને તેની ગુણવત્તા અને કામગીરી IC પ્રોસેસ લાઇનની કાર્યક્ષમતાને સીધી અસર કરે છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન મશીન એ VLSI (વેરી લાર્જ સ્કેલ ઇન્ટીગ્રેટેડ સર્કિટ) ની ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં મુખ્ય સાધન છે અને આયન સ્ત્રોત તરીકે ટંગસ્ટન વાયરની ભૂમિકાને અવગણી શકાય નહીં. ના
| પરિમાણો | તમારા રેખાંકનો તરીકે |
| મૂળ સ્થાન | લુઓયાંગ, હેનાન |
| બ્રાન્ડ નામ | FGD |
| અરજી | સેમિકન્ડક્ટર |
| સપાટી | કાળી ચામડી, આલ્કલી ધોવા, કારની ચમક, પોલિશ્ડ |
| શુદ્ધતા | 99.95% |
| સામગ્રી | W1 |
| ઘનતા | 19.3g/cm3 |
| અમલના ધોરણો | GB/T 4181-2017 |
| ગલનબિંદુ | 3400℃ |
| અશુદ્ધિ સામગ્રી | 0.005% |
| મુખ્ય ઘટકો | W > 99.95% |
| અશુદ્ધિ સામગ્રી≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. અમારી ફેક્ટરી હેનાન પ્રાંતના લુઓયાંગ શહેરમાં સ્થિત છે. લુઓયાંગ એ ટંગસ્ટન અને મોલીબડેનમ ખાણો માટે ઉત્પાદન ક્ષેત્ર છે, તેથી ગુણવત્તા અને કિંમતમાં અમારે ચોક્કસ ફાયદા છે;
2. અમારી કંપની પાસે 15 વર્ષથી વધુનો અનુભવ ધરાવતા ટેકનિકલ કર્મચારીઓ છે અને અમે દરેક ગ્રાહકની જરૂરિયાતો માટે લક્ષિત ઉકેલો અને સૂચનો પ્રદાન કરીએ છીએ.
3. નિકાસ કરતા પહેલા અમારા તમામ ઉત્પાદનો કડક ગુણવત્તા નિરીક્ષણમાંથી પસાર થાય છે.
4. જો તમે ખામીયુક્ત માલ પ્રાપ્ત કરો છો, તો તમે રિફંડ માટે અમારો સંપર્ક કરી શકો છો.
1.કાચા માલની પસંદગી
(અંતિમ ઉત્પાદનની શુદ્ધતા અને યાંત્રિક ગુણધર્મોને સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઉચ્ચ ગુણવત્તાની ટંગસ્ટન કાચી સામગ્રી પસંદ કરો. )
2. ગલન અને શુદ્ધિકરણ
(પસંદ કરેલ ટંગસ્ટન કાચો માલ અશુદ્ધિઓ દૂર કરવા અને ઇચ્છિત શુદ્ધતા પ્રાપ્ત કરવા માટે નિયંત્રિત વાતાવરણમાં ઓગળવામાં આવે છે.)
3. વાયર ડ્રોઇંગ
(જરૂરી વાયર વ્યાસ અને યાંત્રિક ગુણધર્મો હાંસલ કરવા માટે શુદ્ધ કરેલ ટંગસ્ટન સામગ્રીને ડાઈઝની શ્રેણી દ્વારા બહાર કાઢવામાં આવે છે અથવા દોરવામાં આવે છે.)
4. એનેલીંગ
(આંતરિક તણાવને દૂર કરવા અને તેની નમ્રતા અને પ્રોસેસિંગ કામગીરીને સુધારવા માટે દોરેલા ટંગસ્ટન વાયરને એન્નીલ કરવામાં આવે છે )
5. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયા
આ ચોક્કસ કિસ્સામાં, ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટ પોતે આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયામાંથી પસાર થઈ શકે છે, જેમાં આયન ઇમ્પ્લાન્ટરમાં કાર્યક્ષમતા વધારવા માટે તેના ગુણધર્મોને બદલવા માટે આયનોને ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટની સપાટીમાં ઇન્જેક્ટ કરવામાં આવે છે.)
સેમિકન્ડક્ટર ચિપ ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન મશીન એ મુખ્ય સાધન પૈકી એક છે જેનો ઉપયોગ ચિપ સર્કિટ ડાયાગ્રામને માસ્કમાંથી સિલિકોન વેફરમાં સ્થાનાંતરિત કરવા અને લક્ષ્ય ચિપ કાર્યને પ્રાપ્ત કરવા માટે થાય છે. આ પ્રક્રિયામાં રાસાયણિક મિકેનિકલ પોલિશિંગ, પાતળી ફિલ્મ ડિપોઝિશન, ફોટોલિથોગ્રાફી, એચિંગ અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન જેવા પગલાંનો સમાવેશ થાય છે, જેમાંથી સિલિકોન વેફર્સની કામગીરીને સુધારવા માટે આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન એ એક મહત્વપૂર્ણ માધ્યમ છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન મશીનનો ઉપયોગ અસરકારક રીતે ચિપ ઉત્પાદનના સમય અને ખર્ચને નિયંત્રિત કરે છે, જ્યારે ચિપ્સની કામગીરી અને વિશ્વસનીયતામાં સુધારો કરે છે. ના
હા, ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટ્સ આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયા દરમિયાન દૂષિત થવા માટે સંવેદનશીલ હોય છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ચેમ્બરમાં રહેલા શેષ વાયુઓ, કણો અથવા અશુદ્ધિઓ જેવા વિવિધ પરિબળોને કારણે દૂષણ થઈ શકે છે. આ દૂષકો ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટની સપાટીને વળગી શકે છે, તેની શુદ્ધતાને અસર કરે છે અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયાના પ્રભાવને સંભવિતપણે અસર કરે છે. તેથી, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ચેમ્બરમાં સ્વચ્છ અને નિયંત્રિત વાતાવરણ જાળવવું એ દૂષણના જોખમને ઘટાડવા અને ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટની અખંડિતતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે. નિયમિત સફાઈ અને જાળવણી પ્રક્રિયાઓ આયન ઈમ્પ્લાન્ટેશન દરમિયાન દૂષિત થવાની સંભાવનાને ઘટાડવામાં પણ મદદ કરી શકે છે.
ટંગસ્ટન વાયર તેના ઉચ્ચ ગલનબિંદુ અને ઉત્કૃષ્ટ યાંત્રિક ગુણધર્મો માટે જાણીતું છે, જે તેને સામાન્ય આયન પ્રત્યારોપણની સ્થિતિમાં વિરૂપતા માટે પ્રતિરોધક બનાવે છે. જો કે, ઉચ્ચ-ઊર્જા આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટ અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન દરમિયાન ઉત્પન્ન થતી ગરમી સમય જતાં વિકૃતિનું કારણ બની શકે છે, ખાસ કરીને જો પ્રક્રિયાના પરિમાણોને કાળજીપૂર્વક નિયંત્રિત કરવામાં ન આવે.
આયન બીમની તીવ્રતા અને અવધિ અને ટંગસ્ટન વાયર દ્વારા અનુભવાતા તાપમાન અને તાણના સ્તરો જેવા પરિબળો વિકૃતિની સંભાવનામાં ફાળો આપી શકે છે. વધુમાં, ટંગસ્ટન વાયરમાં કોઈપણ અશુદ્ધિઓ અથવા ખામીઓ વિરૂપતા માટે સંવેદનશીલતાને વધારે છે.
વિરૂપતાના જોખમને ઘટાડવા માટે, પ્રક્રિયાના પરિમાણોનું કાળજીપૂર્વક નિરીક્ષણ અને નિયંત્રણ કરવું આવશ્યક છે, ટંગસ્ટન ફિલામેન્ટની શુદ્ધતા અને ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવી આવશ્યક છે, અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન સાધનો માટે યોગ્ય જાળવણી અને નિરીક્ષણ પ્રોટોકોલનો અમલ કરવો આવશ્યક છે. ટંગસ્ટન વાયરની સ્થિતિ અને કામગીરીનું નિયમિત મૂલ્યાંકન કરવાથી વિકૃતિના કોઈપણ ચિહ્નોને ઓળખવામાં અને જરૂરિયાત મુજબ સુધારાત્મક પગલાં લેવામાં મદદ મળી શકે છે.
