Hai un feixe de ións de aire grave nun material sólido, o feixe de ións a átomos de material sólido ou moléculas na superficie do material sólido, este fenómeno chámase pulverización catódica con feixe iónico; e cando o material sólido, a superficie do material sólido rebotou, ou fóra do material sólido a estes fenómenos chámase dispersión; Hai outro fenómeno é que despois do feixe de ións para o material sólido por material sólido e reducir a resistencia lentamente para abaixo, e, finalmente, permanecer en materiais sólidos, este fenómeno chámase implantación de ións.
Técnica de implantación iónica:
É un tipo de tecnoloxía de modificación da superficie do material que se desenvolveu de forma rápida e amplamente utilizada no mundo nos últimos 30 anos. O principio básico é usar a enerxía do feixe iónico incidente na orde de material de 100 keV ao feixe iónico e os materiais dos átomos ou moléculas serán unha serie de interaccións físicas e químicas, a perda de enerxía iónica incidente gradualmente, a última parada en o material, e facer que a estrutura e as propiedades da composición da superficie do material, cambien. Co fin de optimizar as propiedades superficiais dos materiais, ou para obter algunhas propiedades novas. A nova tecnoloxía, debido ás súas vantaxes únicas, foi no material semicondutor dopado, metal, cerámica, polímero, a modificación da superficie é amplamente utilizada, conseguiu grandes beneficios económicos e sociais.
A implantación iónica como tecnoloxía de dopaxe importante na tecnoloxía micro electrónica xoga un papel fundamental na optimización das propiedades de superficie dos materiais. A tecnoloxía de implantación de ións é un rendemento a temperatura moi elevada e resistencia á corrosión química do material. Polo tanto, as partes principais da cámara de ionización están feitas de materiais de wolframio, molibdeno ou grafito. Gemei anos de investigación e produción da industria por implantación iónica de material de molibdeno de wolframio, o proceso de produción ten unha experiencia estable e rica.
Produtos quentes para implantación iónica
