Filament tungsten implantation Ion àrd-ghlan
Tha uèir tungsten cuir a-steach ian na phrìomh phàirt a thathas a’ cleachdadh ann an innealan cuir a-steach ian, gu sònraichte ann am pròiseasan saothrachaidh semiconductor. Tha àite cudromach aig an t-seòrsa uèir tungsten seo ann an uidheamachd semiconductor, agus tha càileachd agus coileanadh a’ toirt buaidh dhìreach air èifeachdas loidhnichean pròiseas IC. Tha inneal cuir a-steach ian na phrìomh uidheamachd ann am pròiseas saothrachaidh VLSI (Ciorram Amalaichte Sgèile Fìor Mhòir), agus chan urrainnear dearmad a dhèanamh air àite uèir tungsten mar stòr ian. Tha
| Meudan | Mar na dealbhan agad |
| Àite Tùs | Luoyang, Henan |
| Ainm Brand | FGD |
| Iarrtas | leth-sheoladair |
| Uachdar | Craiceann dubh, nighe alkali, deàrrsadh càr, snasta |
| Purity | 99.95% |
| Stuth | W1 |
| Dùmhlachd | 19.3g/cm3 |
| Inbhean cur gu bàs | GB/T 4181-2017 |
| Puing leaghaidh | 3400 ℃ |
| Neo-dhìomhaireachd susbaint | 0.005% |
| Prìomh phàirtean | W＞ 99.95% |
| Susbaint neo-dhìomhaireachd ≤ | |
| Pb | 0.0005 |
| Fe | 0.0020 |
| S | 0.0050 |
| P | 0.0005 |
| C | 0.01 |
| Cr | 0.0010 |
| Al | 0.0015 |
| Cu | 0.0015 |
| K | 0.0080 |
| N | 0.003 |
| Sn | 0.0015 |
| Si | 0.0020 |
| Ca | 0.0015 |
| Na | 0.0020 |
| O | 0.008 |
| Ti | 0.0010 |
| Mg | 0.0010 |
1. Tha ar factaraidh suidhichte ann an Luoyang City, Henan Province. Tha Luoyang na raon cinneasachaidh airson mèinnean tungsten agus molybdenum, agus mar sin tha buannachdan iomlan againn ann an càileachd agus prìs;
2. Tha luchd-obrach teignigeach aig a 'chompanaidh againn le còrr air 15 bliadhna de eòlas, agus bidh sinn a' toirt seachad fuasglaidhean cuimsichte agus molaidhean airson feumalachdan gach neach-cleachdaidh.
3. Bidh na toraidhean againn uile a’ faighinn sgrùdadh càileachd teann mus tèid an às-mhalairt.
4. Ma gheibh thu bathar easbhaidheach, faodaidh tu fios a chuir thugainn airson ath-dhìoladh.
1.Raw stuth taghadh
(Tagh stuthan amh tungsten àrd-inbhe gus dèanamh cinnteach à purrachd agus feartan meacanaigeach an toraidh deireannach. )
2. A' leaghadh agus a' glanadh
(Tha stuthan amh tungsten taghte air an leaghadh ann an àrainneachd fo smachd gus neo-chunbhalachd a thoirt air falbh agus an purrachd a tha thu ag iarraidh a choileanadh.)
3. Dealbh uèir
(Tha stuth tungsten fìor-ghlan air a thoirt a-mach no air a tharraing tro shreath de bhàsan gus an trast-thomhas uèir riatanach agus na feartan meacanaigeach a choileanadh.)
4.Annealing
(Tha an uèir tungstain air a tharraing air a cheangal gus cuir às do chuideam a-staigh agus gus a ductility agus coileanadh giollachd adhartachadh )
5. Ion Implantation Pròiseas
Anns a’ chùis shònraichte seo, faodaidh am filament tungsten fhèin a dhol tro phròiseas cuir a-steach ian, anns am bi ions air an stealladh a-steach do uachdar an fhiolm tungstain gus na feartan aige atharrachadh gus coileanadh àrdachadh anns an inneal-ionachaidh ian.)
Anns a ’phròiseas cinneasachaidh chip semiconductor, is e inneal cuir a-steach ian aon de na prìomh uidheamachd a thathas a’ cleachdadh gus an diagram cuairteachaidh chip a ghluasad bhon masg chun an wafer silicon agus an gnìomh targaid chip a choileanadh. Tha am pròiseas seo a’ toirt a-steach ceumannan leithid snasadh meacanaigeach ceimigeach, tasgadh film tana, photolithography, etching, agus cuir a-steach ian, am measg a bheil cuir a-steach ian mar aon de na dòighean cudromach airson coileanadh wafers sileaconach a leasachadh. Bidh cleachdadh innealan cuir a-steach ian gu h-èifeachdach a’ cumail smachd air ùine agus cosgais cinneasachadh chip, agus aig an aon àm a’ leasachadh coileanadh agus earbsachd chips. Tha
Tha, tha filamentan tungsten buailteach do thruailleadh tron phròiseas cuir a-steach ian. Faodaidh truailleadh tachairt mar thoradh air grunn nithean, leithid gasaichean air fhàgail, gràineanan, no neo-chunbhalachd a tha an làthair anns an t-seòmar cuir a-steach ian. Faodaidh na truaillearan sin cumail ri uachdar an fhiolm tungstain, a’ toirt buaidh air a ghlanachd agus a dh’ fhaodadh buaidh a thoirt air coileanadh a’ phròiseas cuir a-steach ian. Mar sin, tha cumail suas àrainneachd ghlan agus fo smachd taobh a-staigh an t-seòmair cuir a-steach ian deatamach gus an cunnart bho thruailleadh a lughdachadh agus dèanamh cinnteach à ionracas an fhiolm tungstain. Faodaidh modhan glanaidh is cumail suas cunbhalach cuideachd cuideachadh le bhith a’ lughdachadh comas truailleadh nuair a thèid ian a chuir a-steach.
Tha uèir tungsten ainmeil airson a ìre leaghaidh àrd agus feartan meacanaigeach sàr-mhath, a tha ga dhèanamh seasmhach an aghaidh deformachadh fo chumhachan àbhaisteach cuir a-steach ian. Ach, faodaidh an teas a thig bho bhomadh ian àrd-lùth agus cuir a-steach ian saobhadh adhbhrachadh thar ùine, gu sònraichte mura h-eil smachd faiceallach air paramadairean pròiseas.
Faodaidh factaran leithid dian agus fad an t-seam ian agus an teòthachd agus ìrean cuideam a tha an uèir tungstain eòlas orra uile cur ris a’ chomas airson deformachadh. A bharrachd air an sin, bidh neo-chunbhalachd no uireasbhaidhean sam bith anns an uèir tungsten a’ fàs nas buailtiche do dhì-fhoirmeachadh.
Gus an cunnart bho dhì-fhoirmeachadh a lughdachadh, feumar sùil gheur a chumail air paramadairean pròiseas agus smachd a chumail orra, feumar dèanamh cinnteach à purrachd agus càileachd an fhiolm tungsten, agus feumar protocolaidhean cumail suas is sgrùdaidh iomchaidh a chuir an gnìomh airson an uidheamachd cuir a-steach ian. Le bhith a’ measadh suidheachadh agus coileanadh uèir tungstain gu cunbhalach cuidichidh sin le bhith ag aithneachadh comharran sam bith de shaobhadh agus gabh ceumannan ceartachaidh mar a dh’ fheumar.
