Sputter doelenbinne materialen dy't brûkt wurde om tinne films op substraten te deponearje tidens it fysike dampdeposysje (PVD) proses.It doelmateriaal wurdt bombardearre mei hege-enerzjy-ionen, wêrtroch't atomen út it doelflak útstutsen wurde.Dizze spuite atomen wurde dan op in substraat dellein, en foarmje in tinne film.Sputterende doelen wurde faak brûkt yn 'e produksje fan semiconductors, sinnesellen en oare elektroanyske apparaten.Se wurde meastentiids makke fan metalen, alloys of ferbiningen dy't selektearre basearre op de winske eigenskippen fan deponearre film.

It sputterproses wurdt beynfloede troch ferskate parameters, ynklusyf:

1. Sputtering macht: De hoemannichte macht tapast tidens it sputtering proses sil beynfloedzje de enerzjy fan de sputtered ioanen, dêrmei ynfloed op de sputtering taryf.

2. Sputtering gas druk: De druk fan it sputtering gas yn 'e keamer beynfloedet de momentum oerdracht fan sputtered ioanen, dêrmei ynfloed op de sputtering taryf en film prestaasjes.

3. Doeleigenskippen: De fysike en gemyske eigenskippen fan it sputterende doel, lykas har gearstalling, hurdens, smeltpunt, ensfh., kinne ynfloed hawwe op it sputterproses en de prestaasjes fan 'e deponearre film.

4. De ôfstân tusken it doel en it substraat: De ôfstân tusken it sputterende doel en it substraat sil ynfloed hawwe op 'e trajekt en enerzjy fan' e sputtered atomen, wêrtroch't de ôfsettingsrate en uniformiteit fan 'e film beynfloedzje.

5. Power tichtens: De krêft tichtens tapast oan it doel oerflak beynfloedet de sputtering taryf en de effisjinsje fan it sputter proses.

Troch dizze parameters soarchfâldich te kontrolearjen en te optimalisearjen, kin it sputterproses wurde oanpast om winske filmeigenskippen en ôfsettingsraten te berikken.